第
5
章
保守・点検
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第
5
章
保守・点検
重
要
•
クリーンルーム外で保護シートを敷いて作業を行ってください。
•
集塵物によっては、交換時に、粉塵が飛散する場合がございます。保護メガネ・保
護マスクを着用して作業を行って下さい。
5.1
フィルタのメンテナンス・交換
目詰まりした場合、「
WARN2
」の警告が表示されますので、
1
次フィルタを交換してください。
5.1.1
1次フィルタのメンテナンス・交換
重
要
•
1
次フィルタの交換は、十分なスペースがある場所で行ってください。
1.
2
本のチューブとパッチン錠
2
個を取り外しま
す。(パッチン錠は反対側にもあります。)
2.
レンチを取り付け、ブロワー室を上昇させま
す。
4.
注
意
•
保守・点検時は必ず電源を切り、コンセントからプラグを抜いて、電路遮断を行っ
てください。
•
作業は
2
人以上で行い、必ず保護具を着用してください。
•
摩耗や破損したフィルタをそのまま使用すると、内部の電気部品が損傷いたしま
す。故障、事故の原因を未然に防ぐ為、保守・点検は必ず行ってください。
•
フィルタの交換は十分なスペースがある場所で行ってください。
また、フィルタの取り付け時は、裏・表を間違えないでください。
注
意
パッキン部に付いたゴミは、ウエス等で綺麗に拭取り、清掃して下さい。
吸引力低下、粉塵漏れ等といった、トラブルの原因になります。
Содержание CHP-5000AT3-DSA-UD
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Страница 38: ...第 7 章 付録 34 7 3 電気回路図 7 3 1 CHP 5000AT3 DSA UD ...
Страница 40: ...36 ...
Страница 76: ...Chapter 7 Appendix 72 English 7 3 Electrical Diagram 7 3 1 CHP 5000AT3 DSA UD ...