Varian Turbo-V 2000 ICE Instructions For Use Manual Download Page 17

GEBRUIKSAANWIJZINGEN 

 12 

87-900-915-01(E) 

 

 
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in 
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden 
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten 
met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar. 
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities 
aanwezig zijn: 

max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk 

temperatuur:  van +5°C tot +35°C 

relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). 

Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op 
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical 
Information” voor meer informatie. 
De turbomoleculaire pompen van de serie V2000 ICE mogen 
alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale 
Varian controllers (serie 969-9448, 969-9449) en moeten 
aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in 
"Technical information"). 
De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd.  
Controleer, indien de controller in horizontale positie is 
bevestigd, of deze ook is ingesteld voor "werking in horizontale 
positie". 
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de 
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een 
koppel van 20000 Nm rondom de eigen as kan verdragen. 
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer 
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige 
klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke maat flens of 
klemtype, het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel 
waarmee ze vastgezet moeten worden. 
 

FLENS

 

KLEMTYPE

 

NR.

 

AANHAAL-

KOPPEL

 

ISO K 250  Dubbele  klem  met  M10 

schroefdraad 

12 22 

Nm 

 

Enkelvoudige klem met 
M10 schroefdraad 

12 22 

Nm 

 
De turbopomp met ISO F250 (geboute) inlaatflens moet aan de 
vacuümkamer worden bevestigd met behulp van 12 M10 
bouten. 
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de 
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale 
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer 
informatie de bijlage "Technical information". 

Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires 

die als optie verkrijgbaar zijn. 

GEBRUIK 

Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp 
zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees 
aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door. 
Om een betere grensdruk te bereiken, kan het pomphuis 
verwarmd worden met behulp van een optionele 
verwarmingsunit. Tijdens het eventuele verwarmen van de 
vacuümkamer, mag de temperatuur van de ingangsflens en de 
rotor niet meer dan 120 °C bedragen. Pas tijdens het 
verwarmen altijd waterkoeling toe. 
 

,

GEVAAR!

 

Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het 
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel 
veroorzaken. 

 

ATTENTIE

Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas 
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor 
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de 
atmsoferische druk) bedragen. 

 

ATTENTIE

Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de 
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen 
anders beschadigd raken. 

 

ATTENTIE

Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van 
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom 
inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt 
geleverd (zie bijlage “Technical Information"). 
 

,

GEVAAR!

 

Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van 
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de 
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn 
opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van 
explosieve gassen. 

ONDERHOUD 

De pompen van de serie Turbo-V2000 ICE zijn onderhoudsvrij. 
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel 
worden uitgevoerd. 
 

,

GEVAAR!

 

Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de 
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor 
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig 
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een 
temperatuur van 50 °C is gezakt . 
 
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van 
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te 
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de 
defecte pomp. 

OPMERKING

 

Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te 
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid 
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke 
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart 
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden 
gevoegd. 

Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de 
specifieke nationale wetgeving te werk. 

,

 

GEVAAR!

 

Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen 
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening 
van de turbopomp worden gestoken. Men raadt gebruik 
van het beschermgaasje aan (optional). Als een 
trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de 
inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan 
de basis bevestigen. 

NEE

!

 

Summary of Contents for Turbo-V 2000 ICE

Page 1: ...9127 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK SIKIRJA...

Page 2: ...Turbo V 2000 ICE...

Page 3: ......

Page 4: ......

Page 5: ...9 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 VENT DEVICE INSTALLATION 31 VENT VALVE INSTALLATION 32 PUMP USED WITH CORROSIVE GASES 33 Gas Purge 33 Gas Purge Vent Device Description 33 Solid State Flowmeter Ins...

Page 6: ...azzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali temperatura da 20 C a 70 C umidit relativa 0 95 non condensante Se il tempo di immagazzinamento molto lungo avviare...

Page 7: ...raffreddamento ad acqua durante le operazioni di riscaldamento PERICOLO Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura pu causare...

Page 8: ...und bei der Lagerung der Pumpen m ssen folgende klimatische Verh ltnisse vorliegen Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Luftfeuchtigkeit 0 95 nicht kondensierend Nach extrem langer Lagerung mu die P...

Page 9: ...akuumkammer darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors 120 C nicht berschreiten Vakuumsystemen die TP mit Was serk hlung arbeiten GEFAHR W hrend des Ausheizens d rfen weder die Pumpe noch...

Page 10: ...il faudra veiller respecter les conditions environnementales suivantes temp rature de 20 C 70 C humidit relative 0 95 non condensante Si le temps d emmagasinage est tr s long mettre la pompe en marche...

Page 11: ...urs le refroidissement par eau pendant les op rations de chauffage DANGER viter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peu...

Page 12: ...n las condiciones ambientales siguientes temperatura de 20 C a 70 C humedad relativa 0 95 no condensadora Si el periodo de almacenamiento es muy largo poner en marcha la bomba en modalidad SOFT START...

Page 13: ...empre la refrigeraci n por agua durante las operaciones de calentamiento PELIGRO No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede pro...

Page 14: ...evem ser superadas as seguintes condi es ambientais temperatura de 20 C a 70 C humidade relativa 0 95 n o condensante Se o tempo de armazenagem for muito longo accionar a bomba em SOFT START ver manua...

Page 15: ...deve ultrapassar 120 C Utilizar sempre o resfriamento com gua durante as opera es de aquecimento PERIGO N o tocar a turbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A eleva...

Page 16: ...belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve v...

Page 17: ...sunit Tijdens het eventuele verwarmen van de vacu mkamer mag de temperatuur van de ingangsflens en de rotor niet meer dan 120 C bedragen Pas tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe GEVAAR Raak d...

Page 18: ...ade p udstyret BEM RK Bem rkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger OPLAGRING Under transport og oplagring af pumperne skal f lgende omgivelsesbetingelser v re overholdt temperatur fra 20 C...

Page 19: ...en og rotoren ikke overskride 120 C Brug altid vandafk ling under opvarmningen ADVARSEL R r ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbeh r under opvarmningsman vrerne Den h je temperatur kan for rsage...

Page 20: ...ARING F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid transport och f rvaring av pumpen temperatur fr n 20 C till 70 C relativ luftfuktighet 0 95 utan kondens Efter l ng f rvaring skall pumpen start...

Page 21: ...en ska temperaturen f r ing ngsfl nsen och rotorn inte verstiga 120 C Under uppv rmningen m ste vattenkylningen anv ndas VARNING Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r a...

Page 22: ...pfylles temperatur fra 20 C til 70 C relativ fuktighet 0 95 uten kondens Skal utstyret lagres lengre m pumpen MYKSTARTES se kontrollenhetens manual KLARGJ RE TIL INSTALLASJON Pumpen leveres i en spesi...

Page 23: ...ling under oppvarmingen ADVARSEL Ikke ber r turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen De h ye temperaturene kan f re til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller...

Page 24: ...stoinnin aikana t ytyy seuraavien ymp rist koskevien ehtojen olla t ytettyin l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Jos varastointiaika on hyvin pitk tulee pumppu k ynnist SOFT STA...

Page 25: ...120 C K ytt k aina kuumentamisen aikana vett j hdytykseen VAARA lk koskeko turbopumppuun tai sen lis osiin kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P...

Page 26: ...louqej periballontik j sunq kej qermokras a ap 20 C m cri 70 C scetik ugras a 0 95 asump knwth An o cr noj apoq keushj e nai pol makr j h antl a qa pr pei na teqe se k nhsh me tr po SOFT START bl pe...

Page 27: ...ta ugr y xh KINDUNOS KINDUNOS KINDUNOS KINDUNOS Mhn agg zete thn tourmpoantl a kai ta di fora exart mat thj kat tij ergas ej q rmanshj H uyhl qermokras a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH...

Page 28: ...TORAGE When transporting and storing the pumps the following envi ronmental requirements should not be exceeded temperature from 20 to 70 C relative humidity 0 95 non condensing If the storage time is...

Page 29: ...nd of the rotor must not exceed 120 C Always use the water cooling system during the heating operations WARNING Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high...

Page 30: ...rced air cooling A water cooling kit is available to cool the pump in the cases where it is used under heavy load or when forced air is insufficient for cooling purposes Two thermistor sensors are mou...

Page 31: ...TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION The following figure shows the Turbo V2000 ICE outline dimensions The dimensions arte indicated in mm inches 26 87 900 915 01 E...

Page 32: ...5 bar 45 to 75 Psi Bakeout tempera ture 80 C at inlet flange ISO flange 120 C at inlet flange CF flange Max rotor temperature 120 C Vibration level displacement 0 01 m at inlet flange Motor supplied...

Page 33: ...CAL INFORMATION Graph of compression ratio vs foreline pressure measured with vertical axis Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 28 87 900 91...

Page 34: ...h a 120 Vac power supplied controller mod 969 9449 CAUTION The use of a wrong supply voltage heating jacket model may cause a serious damage to both heat ing jacket and controller It is applied to the...

Page 35: ...338 metallic model and 969 9348 plastic model Model 969 9338 Two 6 mm 1 4 internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles NOTE These hoses must be hel...

Page 36: ...LATION Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure adjust...

Page 37: ...e mod 969 9843 allows to avoid un desired venting of the pump during a temporary power failure 5 sec maximum and enables an automatic vent operation Unscrew the threaded plug see figure below Tighten...

Page 38: ...ing figure or model 969 9115 operating in the range from 0 to 150 SCCM with Nitrogen and from 0 to 125 SCCM with Argon that connected to the controller can monitor the flow of the protective gas purge...

Page 39: ...for refer ence Ask VARIAN for proper temperature set ting Heater jacket must be always on even during start up and shutdown 1 Turbo V controller 2 Vent valve 3 Vacuum pump shut off valve optional Fil...

Page 40: ...mospheric pressure for a better bearing pro tection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo V pump with the chamber or the Turbo V vent valve opened to avoid system overpressures...

Page 41: ...Inlet screen ISO 250 969 9350 Heating jacket 120 Vac 969 9821 Heating jacket 220 Vac 969 9820 Water cooling kit for American fractional tubes 969 9338 Water cooling kit for Metric tubes 969 9348 Pump...

Page 42: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Page 43: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Page 44: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

Reviews: