Varian Turbo-V 2000 ICE Instructions For Use Manual Download Page 14

INSTRUÇÕES PARA O USO 

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87-900-915-01(E) 

INFORMAÇÕES GERAIS 

Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador 
deve ler atentamente o presente manual de instruções e 
qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian 
antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza 
pela eventual inobservância total ou parcial das instruções, 
pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por 
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas 
nacionais específicas. 
As bombas da série Turbo-V2000 ICE são bombas 
turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, e 
são capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto 
gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou 
partículas sólidas. 
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de 
alta velocidade (33000 r.p.m. máx.) movida por um motor 
eléctrico de três fases de alto rendimento. As bombas Turbo-
V2000 ICE são totalmente sem agentes contaminadores e, 
portanto, são adequadas para aplicações que requerem um 
vácuo "limpo". 
Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações 
necessárias para garantir a segurança do técnico durante o 
uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas 
no apêndice "Technical Information". 

Este manual utiliza as seguintes convenções:  

 

,

 

PERIGO!

 

As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para 
um procedimento ou uma prática específica que, se não 
efectuada correctamente, poderia provocar graves lesões 
pessoais. 

 

ATENÇÃO

As mensagens de atenção são visualizadas antes de 
procedimentos que, se não observados, poderiam causar 
danos à aparelhagem. 

NOTA

 

As notas contêm informações importantes destacadas do texto. 

ARMAZENAGEM 

Durante o transporte e a armazenagem das bombas não 
devem ser superadas as seguintes condições ambientais: 

temperatura: de -20ºC a +70ºC 

humidade relativa: 0 - 95% (não condensante) 

Se o tempo de armazenagem for muito longo, accionar a 
bomba em SOFT START (ver manual da unidade de controlo). 

PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO 

A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se 
apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se 
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de 
vendas local. 
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para 
não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou 
vibrações. 
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é 
completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399 
para a protecção do meio ambiente. 

 

ATENÇÃO

Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as 
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. 
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. 

 

NOTA

 

A bomba não pode ser danificada permanecendo 
simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, 
mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para 
evitar que se suje com poeiras. 

 

INSTALAÇÃO 

,

PERIGO!

 

A bomba, devido ao seu peso, deve ser manejada utilizando 
ferramentas específicas de levantamento e deslocamento. Se 
for preciso, utilizar os pinos de olhal a aparafusar nos furos 
com rosca M8 posicionados na embalagem da bomba. 
Assegure-se de que a bomba é idónea para o tipo de aplicação 
desejado. A bomba foi concebida para o uso em sistema de 
bombeamento para PVD ou, em geral, para aplicações que 
necessitam de vácuo “limpo”. Para quaisquer outros tipos de 
aplicação, contacte a Varian Vacuum Technologies ou o seu 
fornecedor de confiança. 
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a 
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases 
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou 
com elevado risco de incêndio. 

 

ATENÇÃO

!

 

Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no 

momento da ligação da turbobomba ao sistema

 

 

Summary of Contents for Turbo-V 2000 ICE

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Page 34: ...h a 120 Vac power supplied controller mod 969 9449 CAUTION The use of a wrong supply voltage heating jacket model may cause a serious damage to both heat ing jacket and controller It is applied to the...

Page 35: ...338 metallic model and 969 9348 plastic model Model 969 9338 Two 6 mm 1 4 internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles NOTE These hoses must be hel...

Page 36: ...LATION Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure adjust...

Page 37: ...e mod 969 9843 allows to avoid un desired venting of the pump during a temporary power failure 5 sec maximum and enables an automatic vent operation Unscrew the threaded plug see figure below Tighten...

Page 38: ...ing figure or model 969 9115 operating in the range from 0 to 150 SCCM with Nitrogen and from 0 to 125 SCCM with Argon that connected to the controller can monitor the flow of the protective gas purge...

Page 39: ...for refer ence Ask VARIAN for proper temperature set ting Heater jacket must be always on even during start up and shutdown 1 Turbo V controller 2 Vent valve 3 Vacuum pump shut off valve optional Fil...

Page 40: ...mospheric pressure for a better bearing pro tection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo V pump with the chamber or the Turbo V vent valve opened to avoid system overpressures...

Page 41: ...Inlet screen ISO 250 969 9350 Heating jacket 120 Vac 969 9821 Heating jacket 220 Vac 969 9820 Water cooling kit for American fractional tubes 969 9338 Water cooling kit for Metric tubes 969 9348 Pump...

Page 42: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Page 43: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

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