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VSP63-de-120207
4
Betrieb
4.1
Allgemeines
Messprinzip
Der Vakuum Messumformer VSP63 besitzt einen internen Piranisensor, der die
Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt. Eine Wendel wird
dabei im Pulsbetrieb bis zu einem bestimmten Temperatur-Schwellwert
aufgeheizt. Die notwendige Aufheizzeit ist ein Maß für den Absolutdruck.
Ausgangssignal
Das Mess-Signal 1,5 – 8,5 V des VSP63 ist über den gesamten Messbereich
von 1,0x10
-4
- 1000 mbar logarithmisch vom Druck abhängig (1V pro Dekade).
Die Umrechnung erfolgt gemäß folgendem Zusammenhang:
Stabilisierungszeit
Die Ausgabe des Mess-Signals erfolgt direkt nach Einschalten des Geräts. Zur
Ausnutzung der vollen Genauigkeit des VSP63 kann es -insbesondere nach
extremen Drucksprüngen- angebracht sein, eine Stabilisierungszeit von 2min zu
beachten.
Messgenauigkeit
Das Gerät ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von
24VDC abgeglichen. Verschmutzung, Alterung, extreme klimatische
Bedingungen oder andere Einbaulagen können ein Nachjustieren erforderlich
machen.
Im Bereich oberhalb 20mbar und unterhalb 10
-3
mbar ist die Messgenauigkeit
reduziert.
Gasartabhängigkeit
Das Mess-Signal ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N
2
bzw. trockene Luft
abgeglichen. Für He und CO sind die Abweichungen unterhalb 0,5mbar zu
vernachlässigen. Für andere Gase kann die Druckausgabe bei Anschluss an ein
Thyracont Anzeigegerät unterhalb 0,5 mbar korrigiert werden.
Korrekturfaktor (wird mit dem unkorrigierten Messwert multipliziert):
Ar
1,6
H2
0,57
Ne
1,4
CO
1,0
He
1,0
Kr
2,4
CO2
0,89
N2
1,0
V
out
(V) = log (p(mbar)) + 5.5
p (mbar) = 10
(Vout(V) - 5.5)
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