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4.4 Bake-Out

When a bake-out of the vacuum chamber is performed with the VSL being moun-
ted to the chamber, the temperature at the sensor flange must not exceed 125

◦

C.

The transducer’s voltage supply must be switched-off while the
chamber is heated. Otherwise a damage of the electronics can be
the result!

VSL-RS485-200116

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Summary of Contents for VSL53D

Page 1: ...V a c u u m I n s t r u m e n t s VSL53D VSL54D VSL53DL VSL54DL Vakuum Transmitter Vacuum Transducer Betriebsanleitung Operating Instructions...

Page 2: ......

Page 3: ...des VSL 12 4 3 Nachjustieren 13 4 4 Ausheizen 16 5 Kommunikation 17 5 1 Die serielle Schnittstelle des VSL 17 5 2 Parameter bersicht 18 5 3 Ger te Parameter und Information 19 5 4 Messwertabfrage 20 5...

Page 4: ...schl gigen Vorschriften und Schutzma nahmen Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien z B infolge der Eigenerw rmung des Produkts Ger t nicht eigenm chtig umbauen...

Page 5: ...beh rset Smartline SLZUB Schutzkoffer Schnittstellenkonverter RS485 USB Steckernetzteil 24 V Zentrierdichtring DN16KF mit Metall Drahtfilter ZZDF016 Stecker und Messkabel Messkabel 2m f r Anzeigeger t...

Page 6: ...gem e Verwendung Das VSL dient ausschlie lich der Messung von Absolut und Relativdruck in gas f rmigen Medien Es darf nur an geeignete und hierf r vorgesehene Komponenten angeschlossen werden Die zul...

Page 7: ...recht ber KF Kleinflansch CF Flansch herstellen F r Kleinflansch Verbindung Metall Spannelemente verwenden die sich nur mit einem Werkzeug ffnen und schlie en lassen Dichtringe mit Zentrierring verwen...

Page 8: ...hr standhalten Dies kann zu Gesundheitssch den durch ausstr mende Prozessmedien f hren 3 3 Elektrischer Anschluss 3 3 1 Anschluss an Thyracont Anzeigeger te Wird der Transmitter an einem Thyracont Anz...

Page 9: ...g m nnlich Pin1 Identifikation 22 k Pin2 Signal Output 0 10 VDC Pin3 AGND Pin4 Voltage Supply 24 VDC Pin5 Supply GND Pin6 Relay 1 N O Pin7 Relay 1 Common Pin8 Relay 1 N C Pin9 Adjust Pin10 RS485 Pin11...

Page 10: ...von 1 0x10 4 1200 mbar logarithmisch vom Druck abh ngig Die Umrechnung erfolgt gem folgendem Zusammenhang Vout V log p mbar 5 5 p mbar 10 Vout V 5 5 Die Ausgangs Kennlinie kann per Softwarebefehl skal...

Page 11: ...Piranisensors ist gasartabh ngig Das Ger t ist auf N2 bzw trockene Luft abgeglichen F r andere Gase k nnen Korrekturfaktoren gesetzt werden so dass unterhalb 0 1 mbar eine korrekte Druckausgabe result...

Page 12: ...eigt den aktuell gemessenen Ist Druck Liegt ein Fehler im Betrieb des Transmitters vor wird dies durch ein rot hinterleuch tetes Display signalisiert Zum ndern der Anzeigeeinheit mbar Torr hPa w hrend...

Page 13: ...druck oder Nulldruck ist digital ber den Taster Adj m glich siehe Bedienschema unten Der Transmitter erkennt automatisch um welchen Justierpunkt es sich handelt Beim Nullabgleich werden interner Piezo...

Page 14: ...stopfen ber dem Taster Adj entfernen 1 dann mit einem d nnen Schraubendreher oder hnlichem Hilfsmittel mehrmals kurz auf den Taster dr cken 2 bis die Status LED schnell orange zu blinken beginnt Nach...

Page 15: ...9 a kurzzeitig auf GND Parameterwert 0 active low oder b kurzzeitig auf 3 24 VDC gelegt wird Parameterwert 1 active high Stan dardeinstellung ab Werk Die Justierung mithilfe des externen Spannungssign...

Page 16: ...ausgeheizt werden so darf die Temperatur am Sensorflansch 125 C keinesfalls berschreiten Die Spannungsversorgung des Transmitters muss w hrend des Ausheizens der Kammer ausgeschaltet sein Anderenfalls...

Page 17: ...koll Versi on V2 als ASCII Code bertragen Ausf hrliche Informationen hierzu finden Sie in der gesonderten Beschreibung Thyracont Communication Protocol Download unter www thyracont vacuum com unterstu...

Page 18: ...alue 7 Relative Pressure M7 Display Datasource DD1 Display Unit DU1 Display Orientation DO1 Relay 1 R1 Relay 2 R2 Adjust High Atmosphere Pressure AH Adjust Low Zero Pressure AL Sensor Transition ST Di...

Page 19: ...gen der Hardware Versionsnummer des Ger ts Version Firmware VF Abfragen der Firmware Versionsnummer des Ger ts Version Bootloader VB Abfragen der Bootloader Version des Ger ts Baud Rate BR Einstellen...

Page 20: ...es aktuell vom Piezosensor gemessenen Druckwertes Measurement Value M7 Abfragen des aktuellen Relativ Druckwertes 5 5 Displayfunktionen Display Unit DU Abfragen und Einstellen der f r das LCD Display...

Page 21: ...g am Anschluss Stecker nach au en gef hrt Relay R1 R2 Die Relais k nnen unabh ngig voneinander f r verschiedene Schaltmodi konfigu riert werden der Parameter dient zum Abfragen und Einstellen dieser S...

Page 22: ...er Einstellung E Relais f llt ab bei Ger tefehler Einstellung U Relais zieht an bei Messbereichsunterschreitung Einstellung U Relais f llt ab Messbereichsunterschreitung Einstellung O Relais zieht an...

Page 23: ...kleiner 5 0x10 5 mbar sein Der Umgebungsdrucksensor wird hierbei nicht abgeglichen Adjust Low AL p Der Pirani Sensor kann auch auf einen beliebigen Referenzdruck im Bereich 1 0x10 4 1 0x10 1 mbar abge...

Page 24: ...zwischen den Sensoren wird somit auch der Druckbereich ver ndert in dem das Mess Signal des VSL gasart unabh ngig ist In der Standardeinstellung ab Werk ST 1 ist dies z B oberhalb 15 mbar der Fall Sch...

Page 25: ...den Erfordernissen der Anwendung anpassen Beispielsweise kann die Ausgangscharakteristik so eingestellt werden dass das Signal zu Ger ten anderer Hersteller kompatibel ist Eine denkbar einfache Anpass...

Page 26: ...Auch als Set SLZUB mit Schutzkoffer Schnittstellen adapter RS485 USB und 24 V Steckernetzteil f r den Transmitter erh ltlich Download VacuGraph www vacugraph com Plotten Analysieren und Speichern von...

Page 27: ...sensoren ausgetauscht werden Ersatzteile B_VSL53A und B_VSL54A Fehlfunktionen des Ger tes die auf Verschmutzung oder Ver schlei zur ckzuf hren sind fallen nicht unter die Gew hrleistung Fehlersignal u...

Page 28: ...28 VSL RS485 200116...

Page 29: ...olutdruck 1200 40 mbar 0 3 v Skalenendwert 40 2 0x10 3 mbar 10 v Messwert Relativdruck 0 25 der Mess Spanne Wiederholbarkeit 1200 40 mbar 0 1 v Skalenendwert 40 1 0x10 2 mbar 2 v Messwert Materialien...

Page 30: ...Serielle Schnittstelle RS485 9 6 115 kBd 8 databit 1 stopbit no parity Schaltausg nge 2x Relais potentialfrei 50 VAC 2 A bzw 30 VDC 2 A max 60 VA Elektrischer Anschluss Sub D 15polig m nnl verschraubb...

Page 31: ...31 8 Konformit tserkl rung VSL RS485 200116...

Page 32: ...32 VSL RS485 200116...

Page 33: ...of the VSL 42 4 3 Readjustment 43 4 4 Bake Out 46 5 Communication 47 5 1 The Serial Interface of the VSL 47 5 2 Survey of Commands 48 5 3 Device Parameters and Information 49 5 4 Measurement Query 50...

Page 34: ...cautions for the pro cess media used Consider possible reactions between materials and process media e g due to the heat generated by the product Do not carry out any unauthorized conversions or modif...

Page 35: ...ructions Available Accessories Accessory Set Smartline SLZUB Protective case Interface converter RS485 USB Plug in power supply 24 V Centering ring DN16KF with metal wire filter ZZDF016 Connectors and...

Page 36: ...he gauge operates a piezo resistive sensor for measuring ambient pressure Proper Use The VSL serves exclusively to provide absolute and relative pressure measure ments in gaseous media It may only be...

Page 37: ...se clamps that can be opened and closed with appropriate tools only use sealing rings with a centering ring Make sure that the sensor flange is connected to ground e g by having electrical contact to...

Page 38: ...Unit For operation of the transducer with a Thyracont display and control unit a suitable measurement cable must be used see accessories Do not connect or disconnect the transducer when the cable is...

Page 39: ...own below Socket Sub D 15 pole male Pin1 Identification 22 k Pin2 Signal Output 0 10 VDC Pin3 AGND Pin4 Voltage Supply 24 VDC Pin5 Supply GND Pin6 Relay 1 N O Pin7 Relay 1 Common Pin8 Relay 1 N C Pin9...

Page 40: ...surement range 1 0x10 4 1200 mbar Conversion of voltage signal and pressure is done according to the fol lowing formula Vout V log p mbar 5 5 p mbar 10 Vout V 5 5 The output voltage characteristic can...

Page 41: ...r depends on composition and type of the gas being measured The unit is adjusted for N2 and dry air For other gases correction factors can be set see section 5 8 This will result in a correct pressure...

Page 42: ...ow backlight that displays the measured actual pressure In case of an operation error or malfunction the display is illuminated by a red back ground color In order to change the display unit mbar Torr...

Page 43: ...the Adj pushbutton see operation scheme below The transducer will notice auto matically which adjustment point is relevant Zero adjustment by the pushbutton will apply to the Piezo as well as the Pir...

Page 44: ...t first remove the rubber cap above the Adj button 1 then press the pushbutton several times by means of a screwdriver or other suitable tool 2 until the status LED starts quickly flashing orange Afte...

Page 45: ...ogic DL the sensors are being adjusted as soon as pin 9 is set to a GND parameter value 0 active low or to b 3 24 VDC parameter value 1 active high standard ex works Adjustment by external voltage sig...

Page 46: ...ormed with the VSL being moun ted to the chamber the temperature at the sensor flange must not exceed 125 C The transducer s voltage supply must be switched off while the chamber is heated Otherwise a...

Page 47: ...e Thyra cont protocol version V2 Detailed information is provided in the separate descrip tion Thyracont Communication Protocol Download link www thyracont vacuum com en support downloadcenter Interfa...

Page 48: ...asurement Value 7 Relative Pressure M7 Display Datasource DD1 Display Unit DU1 Display Orientation DO1 Relay 1 R1 Relay 2 R2 Adjust High Atmosphere Pressure AH Adjust Low Zero Pressure AL Sensor Trans...

Page 49: ...e VD Query of the device s hardware version Version Firmware VF Query of the device s firmware version Version Bootloader VB Query of the device s bootloader version Baud Rate BR Set the baud rate for...

Page 50: ...ment of the piezo sensor Measurement Value M7 Query current relative pressure 5 5 Display Functions Display Unit DU Query and set the pressure unit used for the LCD display of the transducer Value ran...

Page 51: ...R1 R2 The relays can be configured independently for various switching modes The pa rameter is used to query and set these switching modes Setting T p1 F p2 D optional In this case 2 pressure threshol...

Page 52: ...Setting E Relay closes in case of a device error Setting E Relay opens in case of a device error Setting U Relay closes in case of pressure underrange Setting U Relay opens in case of pressure underr...

Page 53: ...0 5 mbar The ambient pressure sensor will not be affected Adjust Low AL p It is also possible to adjust the Pirani sensor at a certain reference pressure in the range 1 0x10 4 1 0x10 1 mbar Command AL...

Page 54: ...ion range of the sensors or the pres sure for direct switch over will also affect the range where the VSL output is independent of the gas type For the default setting ST 1 this will be the case if th...

Page 55: ...via software command The voltage output cur ve can for example be modified to become compatible with transducers of other brand labels A very comfortable way of scaling the output curve with graphica...

Page 56: ...e parameters Also available as set SLZUB with protective case interface adapter RS485 USB and 24 V plug in power supply for the transducer Download VacuGraph www vacugraph com Plot analyze and save me...

Page 57: ...eplacement sensors spare parts B_VSL53A and B_VSL54A Malfunction of the unit which is caused by contamination or wear and tear is not covered by warranty Error Messages and Malfunction Problem Possibl...

Page 58: ...58 VSL RS485 200116...

Page 59: ...cy absolute pressure 1200 40 mbar 0 3 f scale end 40 2 0x10 3 mbar 10 f reading relative pressure 0 25 f span Repeatability 1200 40 mbar 0 1 f scale end 40 1 0x10 2 mbar 2 f reading Materials in conta...

Page 60: ...Serial interface RS485 9 6 115 kBd 8 databit 1 stopbit no parity Switchpoints 2x relay potential free 50 VAC 2 A or 30 VDC 2 A max 60 VA Electrical connection Sub D 15 pole male lockable Vacuum connec...

Page 61: ...61 8 Declaration of Conformity VSL RS485 200116...

Page 62: ...62 VSL RS485 200116...

Page 63: ...VSL RS485 200116...

Page 64: ...VSL RS485 200116...

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