Thyracont VSL53D, Operating Instructions Manual

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7 Technische Daten
Messprinzip Piezoresistiv / Wärmeleitfähigkeit Pirani
(Pirani gasartabhängig)
Messbereich Absolutdruck: 1200 - 1,0x10
-4
mbar (900 -
1,0x10
-4
Torr)
Relativdruck: -1060 ... +340 mbar (-795 ...
+255 Torr) (abhängig vom Umgebungsdruck)
Max. Überlast 4 bar abs.
Genauigkeit Absolutdruck:
1200 ... 40 mbar: 0,3% v. Skalenendwert
40 ... 2,0x10
-3
mbar: 10% v. Messwert
Relativdruck:
0,25% der Mess-Spanne
Wiederholbarkeit 1200 ... 40 mbar: 0,1% v. Skalenendwert
40 ... 1,0x10
-2
mbar: 2% v. Messwert
Materialien mit
Vakuumkontakt Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas, Gold,
Siliziumoxid
Reaktionszeit 40 ms
Betriebstemperatur 5 ... 60
◦
C
Lagertemperatur -40 ... +65
◦
C
Ausheiztemperatur max. 125
◦
C am Flansch
(Spannungsversorgung ausgeschaltet)
Spannungsversorgung 20 - 30 VDC
VSL-RS485-200116