Thyracont VSH87E, Operating Instructions Manual

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7 Technische Daten
Messprinzip Wärmeleitfähigkeit Pirani / Heißkathode
Bayard Alpert, gasartabhängig
Messbereich 1000 - 5,0x10
-10
mbar (750 - 5,0x10
-10
Torr)
Max. Überlast 4 bar abs.
Genauigkeit 1000 ... 10 mbar: ca. 30% v. Messwert
10 ... 1,0x10
-8
mbar: 10% v. Messwert
Wiederholbarkeit 10 ... 1,0x10
-2
mbar: 2% v. Messwert
1,0x10
-2
... 1,0x10
-8
mbar: 5% v. Messwert
Materialien mit
Vakuumkontakt Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas,
Platin, Iridium, Yttriumoxid
Filamente Bayard Alpert yttriertes Iridium
Emissionsstrom 9 µA, 100 µA, 1,0 mA, 2,0 mA
Degas Methode ohmsche Heizung der Anode
Reaktionszeit 50 ms (Ein-/Umschalten Emissionsstrom < 2 s)
Betriebstemperatur 5 ... 60
◦
C
Lagertemperatur -40 ... +65
◦
C
VSH-EtherCAT-200116