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4.2 Status LED

Die Status LED des VSH signalisiert folgende Betriebszustände:

4.3 Ausheizen

Soll die Vakuumkammer mit angeflanschtem VSH ausgeheizt werden, so darf die
Temperatur am Sensorflansch 180

◦

C keinesfalls überschreiten.

Die Spannungsversorgung des Transmitters muss während des
Ausheizens der Kammer ausgeschaltet sein. Anderenfalls kann es
zu Schäden an der Elektronik kommen!

VSH-EtherCAT-200116

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Summary of Contents for VSH87E

Page 1: ...V a c u u m I n s t r u m e n t s VSH87E VSH88E VSH89E Vakuum Transmitter Vacuum Transducer Registered trademark of Beckhoff Automation GmbH Betriebsanleitung Operating Instructions...

Page 2: ......

Page 3: ...gemeines 10 4 2 Status LED 11 4 3 Ausheizen 11 5 Kommunikation 12 5 1 Die serielle Schnittstelle des VSH 12 5 2 Die EtherCAT Schnittstelle des VSH 13 5 3 Parameter bersicht 14 5 4 Ger te Parameter und...

Page 4: ...ichtigen Sie m gliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien z B infolge der Eigenerw rmung des Produkts Ger t nicht eigenm chtig umbauen oder ver ndern Informieren Sie sich vor Aufnahme de...

Page 5: ...etall Schutzblende ZZCH025 Zentrierdichtring DN40KF mit Metall Schutzblende ZZCH040 Metall Schutzblende f r DN40CF ZZCH040CF Stecker und Messkabel Kabel 3m f r Stromversorgung WE0012003 Kabel 5m f r S...

Page 6: ...hlossen werden Nicht bestimmungsgem e Verwendung Als nicht bestimmungsgem gilt der Einsatz zu Zwecken die von oben genannten abweichen insbesondere Anschluss an Ger te oder Komponenten die laut ihrer...

Page 7: ...Verbindung Metall Spannelemente verwenden die sich nur mit einem Werkzeug ffnen und schlie en lassen Dichtringe mit Zentrierring verwenden Sicherstellen dass der Sensorflansch mit dem Schutzleiter ve...

Page 8: ...ies kann zu Gesundheitssch den durch ausstr mende Prozessmedien f hren 3 3 Elektrischer Anschluss 3 3 1 Spannungsversorgung RS485 Schnittstelle Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeignet...

Page 9: ...ng geeigneter Kabel EMV gerecht gem untenstehender Pinbelegung herzustellen Stecker 2x M12 D kodiert 4polig weiblich Pin1 Tx Transmit Data Pin2 Rx Receive Data Pin3 Tx Transmit Data Pin4 Rx Receive Da...

Page 10: ...ar ber hinaus k nnen verschiedene Parameter wie Gasart Korrekturfaktoren program miert werden Weitere Informationen hierzu finden Sie in Kapitel 5 Stabilisierungszeit Die Ausgabe des Mess Signals erfo...

Page 11: ...Vakuumkammer mit angeflanschtem VSH ausgeheizt werden so darf die Temperatur am Sensorflansch 180 C keinesfalls berschreiten Die Spannungsversorgung des Transmitters muss w hrend des Ausheizens der K...

Page 12: ...die Telegramme gem Thyracont Protokoll Versi on V2 als ASCII Code bertragen Ausf hrliche Informationen hierzu finden Sie in der gesonderten Beschreibung Thyracont Communication Protocol Download unte...

Page 13: ...trang an linked physikalische Verbindung zum vorhergehenden EtherCAT Sla ve vorhanden blinkt aktiv Kommunikation mit vorherge hendem EtherCAT Teilnehmer L A OUT gr n aus keine Verbindung auf dem wei t...

Page 14: ...de M31 Adjust High Atmosphere Pressure AH x Adjust Low Zero Pressure AL x Sensor Transition ST x Degas DG x Cathode Control CC x Filament Control FC Filament Number FN x Filament Status FS x Gas Corre...

Page 15: ...Versionsnummer des Ger ts Version Firmware VF Abfragen der Firmware Versionsnummer des Ger ts Version Bootloader VB Abfragen der Bootloader Version des Ger ts Baud Rate BR Einstellen der Baudrate zur...

Page 16: ...deren klimatischen Bedingungen extreme Temperaturschwankungen Alterung oder Verschmutzung k nnen ein Nachjustie ren des Pirani Sensors erforderlich machen Adjust High AH Nachjustieren des Pirani Senso...

Page 17: ...al anzupas sen k nnen mit dem Parameter Sensor Transition ST folgende Optionen kon figuriert werden 0 Keine Wertangleichung d h direktes Umschalten zwischen Pirani und Hei kathode bei 4 0x10 4 mbar He...

Page 18: ...das Ger t immer im Modus Hei kathode ak tiv Filament Control FC Nicht ber EtherCAT ansprechbar Der Bayard Alpert Hei kathoden Sensor des VSH ist mit zwei Heiz Filamenten ausgestattet Dieser Parameter...

Page 19: ...ren f r beide Sensortypen gesetzt werden Die Messwerte der Sensoren werden dann bereits im Ger t mit den jeweiligen Korrekturfaktoren multipliziert so dass am digitalen Ausgang des Transmitters ein ko...

Page 20: ...erden Ersatzteile B_VSH87A B_VSH88A und B_VSH89A Fehlfunktionen des Ger tes die auf Verschmutzung oder Ver schlei zur ckzuf hren sind fallen nicht unter die Gew hrleistung Fehlersignal und St rungen P...

Page 21: ...21 VSH EtherCAT 200116...

Page 22: ...v Messwert Wiederholbarkeit 10 1 0x10 2 mbar 2 v Messwert 1 0x10 2 1 0x10 8 mbar 5 v Messwert Materialien mit Vakuumkontakt Edelstahl 1 4307 Wolfram Nickel Glas Platin Iridium Yttriumoxid Filamente B...

Page 23: ...Schnittstelle 9 6 115 kBd 8 databit 1 stopbit no parity Anschluss M12 Rundsteckverbinder A codiert 5polig weibl verschraubbar EtherCAT Schnittstelle Anschluss M12 Rundsteckverbinder D codiert 4polig w...

Page 24: ...24 8 Konformit tserkl rung VSH EtherCAT 200116...

Page 25: ...4 2 Status LED 33 4 3 Bake Out 33 5 Communication 34 5 1 The Serial Interface of the VSH 34 5 2 The EtherCAT Interface of the VSH 35 5 3 Survey of Commands 36 5 4 Device Parameters and Information 37...

Page 26: ...onsider possible reactions between materials and process media e g due to the heat generated by the product Do not carry out any unauthorized conversions or modifications on the unit Before you start...

Page 27: ...Available Accessories Centering ring DN25KF with metal baffle ZZCH025 Centering ring DN40KF with metal baffle ZZCH040 Metal baffle for DN40CF ZZCH040CF Connectors and Cables Cable 3m for power supply...

Page 28: ...ecifically provided for such purpose Improper Use The use for purposes not covered above is regarded as improper in particular connection to components which are not specified for in their operating i...

Page 29: ...via ISO KF small flange or CF conflat flange For small flange connection use clamps that can be opened and closed with appropriate tools only use sealing rings with a centering ring Make sure that th...

Page 30: ...such pressures Process media thus can leak and possibly damage your health 3 3 Electrical Connection 3 3 1 Voltage Supply RS485 Interface The electrical connection is to be made by means of suitable c...

Page 31: ...bles considering EMI demands and according to the pin description shown below Socket 2x M12 D coded 4 pole female Pin1 Tx Transmit Data Pin2 Rx Receive Data Pin3 Tx Transmit Data Pin4 Rx Receive Data...

Page 32: ...ly you can set various parameters like gas correction factors For further information see chapter 5 Warm Up Time The signal output is available approx 2 s after the unit is switched on To take advanta...

Page 33: ...a bake out of the vacuum chamber is performed with the VSH being moun ted to the chamber the temperature at the sensor flange must not exceed 180 C The transducer s voltage supply must be switched of...

Page 34: ...tted as ASCII text according to the Thyra cont protocol version V2 Detailed information is provided in the separate descrip tion Thyracont Communication Protocol Download link www thyracont vacuum com...

Page 35: ...inked Physical connection to the pre vious EtherCAT slave available flashing active Communication with the pre vious EtherCAT partner L A OUT green off No connection on the outgoing EtherCAT line on l...

Page 36: ...Value 3 Hot Cathode M31 Adjust High Atmosphere Pressure AH x Adjust Low Zero Pressure AL x Sensor Transition ST x Degas DG x Cathode Control CC x Filament Control FC Filament Number FN x Filament Stat...

Page 37: ...he device s hardware version Version Firmware VF Query of the device s firmware version Version Bootloader VB Query of the device s bootloader version Baud Rate BR Set the baud rate for data transmiss...

Page 38: ...under different climatic conditions extreme tempera ture changes ageing or contamination can result in the need for readjustment of the Pirani sensor Adjust High AH Adjustment of the Pirani sensor at...

Page 39: ...he following options can be configured by means of parameter Sensor Transition ST 0 no transition but direct switch over between Pirani and hot ca thode sensor at 4 0x10 4 mbar hot cathode on at 4 0x1...

Page 40: ...accessible via EtherCAT The Bayard Alpert hot cathode sensor of the VSH is equipped with two heating filaments This parameter defines in which manner these filaments will be used 0 filament 1 active i...

Page 41: ...ctors for both sensor types The measurement results of each sensor are then individually multiplied with the corresponding correction factors by the unit s microcontroller thereby providing a correcte...

Page 42: ...rts B_VSH87A B_VSH88A and B_VSH89A Malfunction of the unit which is caused by contamination or wear and tear is not covered by warranty Error Messages and Malfunction Problem Possible Cause Correction...

Page 43: ...43 VSH EtherCAT 200116...

Page 44: ...0 f reading Repeatability 10 1 0x10 2 mbar 2 f reading 1 0x10 2 1 0x10 8 mbar 5 f reading Materials in contact with vacuum stainl steel 1 4307 tungsten nickel glass platinum iridium yttria oxide Filam...

Page 45: ...herCAT RS485 interface 9 6 115 kBd 8 databit 1 stopbit no parity Connector M12 round type A coded 5 pole female lockable EtherCAT interface Connector M12 round type D coded 4 pole female lockable Vacu...

Page 46: ...46 8 Declaration of Conformity VSH EtherCAT 200116...

Page 47: ...VSH EtherCAT 200116...

Page 48: ...VSH EtherCAT 200116...

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