30
3.3 De generator in werking stellen
Er wordt verondersteld dat het systeem geconfigureerd is met
afsluitkleppen aan de uitlaat van de generator en aan de inlaat van het
toepassingsinstrument, zoals afgebeeld in “Aanbevolen systeemlay-out”
op pagina 28.
1
Controleer of de systeemleidingen zijn aangesloten op de N
2
MFC-
uitlaatpoort van de generator en dat de afsluitklep gesloten is.
2
Koppel het toepassingsinstrument los van de afsluitklep en sluit de
klep.
3
Schakel de generator in met de hoofdschakelaar en wacht tot hij in
stand-by staat.
4
Druk op de knop
op het bedieningspaneel om de generator op
te starten.
Opmerking.
Als het gas stroomt van de N2 Uit-poort in plaats van de
N
2
MFC-poort, moet de generator worden gestopt en de stroom
worden losgekoppeld. Verwijder het zijpaneel van de generator en
zoek de MFC-omloopklep. Draai de hendel van de klep naar stand
om het gas naar de N
2
MFC-uitlaat te leiden. Plaats het zijpaneel
terug om toegang tot de elektrische installatie te vermijden wanneer
de generator ingeschakeld is. Herhaal stappan 1 - 4 voordat u
doorgaat.
5
Controleer de drukmeters aan de voorkant van de generator en controleer of de generator druk opbouwt.
6
Controleer de Mist-X-uitlaat om na te gaan of de afvoerklep regelmatig werkt. Als de afvoerklep geblokkeerd is, zal de generator niet de
gewenste zuiverheid bereiken.
7
Zodra u zeker bent dat de generator correct werkt, draait u langzaam de afsluitklep van de uitlaat van de generator open om de
systeemleidingen onder druk te zetten. Controleer op lekkages en repareer indien nodig.
8
Open de afsluitklep, normaal gezien aangesloten op het toepassingsinstrument, en laat de gas naar de atmosfeer stromen.
9
Zodra de generator de gespecifieerde zuiverheid heeft bereikt en het systeem is gespoeld, mag het toepassingsinstrument worden
aangesloten op het systeem. Sluit de afsluitklep aan de uitlaat van het systeem en sluit het toepassingsinstrument aan.
10
Als het toepassingsinstrument zijn eigen MFC gebruikt, moet de systeemleiding worden aangesloten op de N
2
uitlaatpoort, niet op de N
2
MFC-uitlaatpoort. Sluit de afsluitklep op de N
2
MFC-uitlaatpoort en druk op
om de generator in stand-by te zetten.
De generator zal nog tot 10 minuten blijven draaien om ervoor te zorgen dat de cyclus voltooid is en dat de inlaatleidingen en de CMS-
kolommen volledig onder druk staan. Zodra dit voltooid is, zal de generator terugschakelen in stand-by.
11
Schakel de generator uit via de hoofdstroomschakelaar en haal de stekker uit het stopcontact.
12
Koppel de afsluitklep los uit de N
2
MFC-uitlaatpoort en sluit hem aan op de N
2
-uitlaat. Plaats de afdichtplug op de N
2
MFC-uitlaatpoort.
13
Configureer de MFC-omloopklep zo, dat het gas naar de N
2
wordt geleid. Verwijder het zijpaneel van de generator en zoek de MFC-
omloopklep. Draai de hendel van de klep naar stand
om het gas naar de N
2
MFC-uitlaat te leiden, en plaats het zijpaneel terug.
14
Sluit de generator opnieuw aan op de netvoeding en wacht. Zodra de generator in stand-by schakelt, drukt u op
.
Zorg ervoor dat de ruimte voldoende verlucht is tijdens de inwerkingstelling, want stikstof zal uit de open systeemleidingen vloeien.
Het duurt ongeveer 6 uur voor de generator de zuiverheid bereikt die vermeld is in “Technische specificatie” op pagina 23. Bovendien moeten
de systeemleidingen worden gespoeld en dit gedurende 1 uur voor iedere 10 meter leiding. Zo niet kan het toepassingsinstrument worden
beschadigd.
