Laserscale BS75A-R, Manual

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項 目
有 効 長
最 大 測 定 長
全 長
精 度 (20℃にて)
繰 返 精 度 (2σ)
も ど り 誤 差
位 置
繰 返 精 度
方 向
温 度 膨 張 係 数
使 用 温 度 範 囲
保 存 温 度 範 囲
ケ ー ブ ル 長
光 源
検 出 方 式
5-7. 原点検出位置
6. 仕様
BS75A-R/RS
30〜410 mm (9種類)
有効長＋10 mm (左右各5 mmずつ)
有効長＋36 mm
0.05＋0.2 L/100 µ mp-p (RS)
0.1＋0.4 L/100 µ mp-p (R)
L＝有効長 (mm)
0.05 µ m (BD60接続時)
0.05 µ m (BD60接続時)
中心および中心から左右へ50 mmごと
±0.1 µ m（検出速度変動0.2mm/s以下）
片方向
−0.7×10 −6 ℃ −1
10〜30℃ (結露不可)
−10〜50℃
3 m
半導体レーザ (インクリ, 原点各1)
回折格子走査式
原
点
LN
―
―
1
1
2
2
3
3
3
RN
―
―
―
1
1
2
2
2
3
BS75A-30R/RS
BS75A-60R/RS
BS75A-110R/RS
BS75A-160R/RS
BS75A-210R/RS
BS75A-260R/RS
BS75A-310R/RS
BS75A-360R/RS
BS75A-410R/RS
原点数
中央 1
中央 1
2
3
4
5
6
6
7
スケール全長L (mm)
66
96
146
196
246
296
346
396
446
中央
30
1
0
1
4
2
4
2
1
1
5
1
1
60
1
0
2
6
2
6
2
1
1
5
1
1
110
1
2
3
8
2
8
2
1
1
5
1
1
160
1
2
3
8
2
8
2
1
1
5
1
1
210
1
2
3
8
2
8
2
1
1
5
1
1
260
1
2
4
10
2
10
2
1
1
5
1
1
310
1
2
4
10
2
10
2
1
1
5
1
1
410
1
4
5
12
2
12
2
1
1
10
1
1
360
1
4
5
12
2
12
2
1
1
10
1
1
有 効 長
基準プレート
スペーサ
スケールクランプ
六角穴付ボルト M4×8
六角穴付ボルト M5×40
平座金 (呼び4)
平座金 (呼び5)
ケーブルクランプ
小ネジ M4×8
原点マスクラベル
取扱説明書
精度表
付属品
× 50 RN × 50 LN
L