ISVT IVC3100 Instruction Manual Download

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CONTENTS

Chapter One: General Information

Introduction

Product Specifications

Chapter Two : Installation

Unpack & Unpacking Check List

Mounting

Cutting size

Installation Environment

Control Applications

Chapter Three : Overview

Front Panel

Front Panel Components

Front Panel Display

Local & Remote Operation

Control Mode (Self-Tuning & PID control)

Rear Panel

Rear Panel Components

Electrical Connections

Labels

Chapter Four : System Setup

Overview

Menu Map

Setup

Sensor Setup

Sensor Unit Setup

Sensor Range Setup

Sensor Zeroing

Valve Setup

Valve Stream Direct Setup

Initial Position Set

Initial Scan Setup

Valve Control Mode Set

Set-point Setup

Summary of Contents for IVC3100

Page 1: ...Instruction Manual IVC3100 Pressure Flow Controller Tel 82 31 284 0791 Fax 82 31 284 0792 Home Page www isvt co kr E mail sales isvt co kr ...

Page 2: ...간을 1년으로 한다 단 사용자의 부주의로 인한 고장일 경우 보증수리기간에 관계없이 유상 수리를 원칙으로 한다 실 사용자는 제품에 하자가 있거나 이상한 증상을 발견하였을 경우 임의로 제품을 분해 할 수 없으며 임의로 제품을 분해 할 경우 보증수리기간은 자동으로 말소되므로 당 사에 문의하여 적절한 조치 및 무상 수리를 받도록 한다 그리고 제품에 대한 Interface Demo Program이나 기타 정보 및 자료들은 Internet Home Page를 통해 제공 받을 수 있다 ...

Page 3: ...00 Pressure Flow Controller IVC3100 Pressure Flow Controller Setup Menu Esc System SP1 SP2 SP3 SP4 SP5 Stop Open Close Valve Control Set Point MFC Control On Off Set Enter Intelligent Solution Vacuum Technology WWW ISVT CO KR ...

Page 4: ...십시오 IVC3100 Pressure Flow Controller는 기본적으로 195 265VAC 50 60Hz 에 서 동작하도록 되었습니다 110VAC 전원을 사용 할 경우에는 당사로 문의 바람 WARNING Throttle Valve를 Controller에서 분리 할 경우 반드시 전원이 OFF 된 것을 확인하시고 Connector에서 분리 하십시오 Valve의 Motor부분에 있는 Coil에서 역기전력이 발생하여 Controller에 전기 적인 충격이나 오 동작의 원인이 됩니다 SAFETY WARNING 감전의 위험이 있으므로 임의로 Controller를 분해 하지 마십시오 NOTE 당사의 제품과 Manual을 더 향상시키기 위하여 항상 노력하고 있습니다 사용 중에 발생하는 어떠한 불편한 점이라도 알려 ...

Page 5: ...는 당사로 연락을 주시고 필요한 조치를 받으십시오 그리고 IVC3100 Pressure Flow Controller는 내부에 고압이 흐르고 있으므로 사용자 임의로 분해하여 수리를 시도 할 경우 감전의 위험이 있으니 절대 삼가 해 주십시오 보내실 곳 경기도 용인시 기흥구 구성로 357 용인테크노밸리 지식산업센터 C동 207호 Tel 031 284 0791 web site http www isvt co kr Fax 031 284 0792 e mail sales isvt co kr ...

Page 6: ...5 Front Panel Components 16 Front Panel Display 17 Local Remote Operation 18 Control Mode Self Tuning PID control 18 Rear Panel 19 Rear Panel Components 19 Electrical Connections 20 Labels 26 Chapter Four System Setup 27 Overview 27 Menu Map 28 Setup 29 Sensor Setup 29 Sensor Unit Setup 30 Sensor Range Setup 30 Sensor Zeroing 32 Valve Setup 33 Valve Stream Direct Setup 34 Initial Position Set 35 I...

Page 7: ... SET 49 Delimiter CPU Factory Reset 50 Chapter Five Local Mode Operation 52 Overview 52 Set point 설정 및 Pressure Control 방법 53 Pressure Sensor Zeroing 57 MFC 사용 58 Display Mode 변경 59 Flow Control 방법 59 MFC Zeroing 60 Chapter Six Remote Operation 61 Overview 61 TTL I O 및 External Analog Control 61 RS232C RS485 Serial PC Interface 62 RS232C RS485 Command Summary 62 RS 232 RS485 Request Response Refer...

Page 8: ...ol Factor들을 습득한다 User가 이 기능을 사용하여 Pressure Control을 할 경우 원 하는 압력에 보다 빨리 도달 할 수 있다 Process Limit Relay가 두 개 내장되 어 있어 User의 장비 Process에 도움이 되도록 하였다 IVC3100에는 Option으로 최대 4개의 MFC를 연결할 수 있는 PCB Card가 준비 되어 있으며 PCB 1장 당 2Channel MFC 2개 연결 로 구성 되어 있다 또한 Upstream Pressure Control 기능을 Option으로 추가 하면 User는 Down Stream과 Upstream Pressure Control을 동시에 구성할 수 있는데 이 중 원하는 방식 한 가지를 선택하여 사용 할 수 있도록 편의를 제공 하였다 Ups...

Page 9: ...S Ambient Operating Temperature 15 45 Output Power 15 VDC 5 1 5 Amp Analog Output Signal 0 10 VDC for 0 100 valve position and 0 10 VDC for 1 100 F S pressure Size 1 2 rack packing 88mm H x 241mm W x 225 D Display 128 x 64 dot Graphic LCD pressure position and external set point readout Display Units Torr mTorr mbar Pascal cmH2O inH2O μbar Kpa Soft Start Standard Self tuning Unit Standard PID Cont...

Page 10: ...n Unpack 당사에서는 본 제품의 포장 시 최대한 주의하여 포장하고 있으나 간혹 내용물의 분실이나 운송 중 파손이 발생할 수도 있으니 사용자께서는 물건을 인수 후 내용 물의 상태를 확인하시기 바랍니다 내용물에 하자가 있을 경우에는 바로 당사에 연락하여 조치를 받을 수 있도록 하십시오 Unpacking Check List IVC3100 Control Unit Power Cable Optional Items ...

Page 11: ... 11 VALVE CM LOW INTERFACE CM HIGH CH 1 CH 3 CH 4 REMOTE INTERFACE O I 195 260VAC Top View Rear View Front View CH 2 Mounting Figure 1 Controller Dimensions ...

Page 12: ...ting Size Cutting Size Figure 2 Cutting Size Dimension Installation Environment Operating Environmental Requirements 사용 주변 온도 15 50 59 122 공기 순환이 잘 되는 곳 습도가 낮고 건조 한곳 제품의 안정된 동작 및 안전을 위하여 Chassis Grounding이 필요함 ...

Page 13: ...ol Applications GAS 1 PROCESS CHAMBER GAS 1 GAS 1 GAS 1 MFC 1 MFC 2 MFC 3 MFC 4 IVT300 Throttle Valve Vacuum Gauge PUMP IVC3100 Controller PC IVC3100 Pressure Flow Controller Figure 3 Downstream Pressure Control ...

Page 14: ...re Gauge 에서 읽어낸 값보다 설정된 압력이 높으면 Throttle Valve 의 Flapper를 Open 시키고 설정된 압력이 낮으면 Throttle Valve 의 Flapper를 Close시켜 설정된 압력과 실제 Chamber 의 압력이 일치하도록 제어한다 압력이 일치하게 되면 Throttle Valve의 Flapper 가 움직이지 않도록 하여 Chamber 의 압력이 변화가 없도록 한다 만약 Chamber 압력이 변화 Gas Flow 등 가 생기면 위와 같은 방법으로 자동으로 압력이 일치하도록 제어한다 또한 부가적으로 IVC3100 Controller는 4 개의 MFC를 Controller에 연결하여 동시 또는 개별적으로 제어 가능하다 ...

Page 15: ...System SP1 SP2 SP3 SP4 SP5 Stop Open Close Valve Control Set Point MFC Control On Off Set Enter Intelligent Solution Vacuum Technology WWW ISVT CO KR POS 5 3 SP1 1 0000 TPRR 0 0000 LOCAL Figure 4 IVC3100 Front Panel Components Selected Pressure Set point Value Display Actual Pressure Display Set point Selection Keys Valve Position Display MFC Control Function Keys Valve Position Control Keys Syste...

Page 16: ...echnology WWW ISVT CO KR MFC1 10 00 00 00 SCCM MFC2 10 00 00 00 SCCM MFC3 10 00 00 00 SCCM MFC4 10 00 00 00 SCCM SP1 1 0000 POS 99 9 0 0000 TORR LOCAL Figure 5 IVC3100 Front Panel Components with MFC Control Selected Pressure Set point Value Display Actual Pressure Display Valve Position Display Actual Flow Display MFC Control Function Keys MFC Card Channel Number Flow Set point Value Display Unit...

Page 17: ...b Menu 가 있으 며 Sub Menu로 들어가기 위해서는 의 위 아래 Scroll key를 이 용하여 선택한 다음 Enter key 를 누르면 들어갈 수 있다 Remote Mode 해제 시 Menu Esc key를 5초 이상 누르면 Local Mode 로 변경 된다 SP1 SP5 저장되어 있는 5가지의 Pressure Setting 값을 선택하는데 쓰이며 값의 저장은 Set up Menu에서 하는 방법과 MFC Control의 Set key를 누 르고 SP1 SP5 중 하나를 누르면 Setting할 수 있다 Stop Open Close 이 key를 이용하여 Valve를 인위적으로 움직일 수 있다 MFC Control ON OFF SET key SET 키를 누르면 MFC1이 깜빡 거리게 된다 Setting...

Page 18: ...e Self Tuning PID Control IVC3100 Controller는 진공 시스템을 제어하기 위해 두 가지의 방법을 제공한다 하나는 Self Tuning 구현중 기능이며 다른 하나는 PID Control 방식이다 먼저 Self Tuning 방식을 사용하면 Camber 내로 유입되는 Gas의 양 Pump Speed Valve Position별에 따른 Process Chamber의 압력 변화 그리고 기타 다 른 중요한 Parameter 들을 감지하여 Pressure Control Factor들을 습득한다 User가 이 기능을 사용하여 Pressure Control을 할 경우 원 하는 압력에 보다 빨 리 도달 할 수 있는 IVC3100 Controller의 핵심 algorithm이다 또 다른 하나는 ...

Page 19: ...H 2 REMOTE 195 260VAC CH 4 I O INTERFACE1 Figure 6 IVC3100 Rear Panel Components Connector Label 설명 Label Descriptions Valve Throttle Valve Connector CM Capacitance Manometer Connector Single Dual CH 1 CH 4 MFC Connector 1 4 channels INTERFACE 1 2 Analog I O and TTL I O REMOTE RS232 RS485 Serial Interface Table 3 Connector Label 설명 MFC Control Card Power On Off Switch RS232 RS485 Serial Interface ...

Page 20: ...3L 15P Assignment 1 4 Motor winding A low 2 5 Motor winding A high 3 12 Limit switch ground 4 1 Open limit switch signal 5 2 Close limit switch signal 6 14 Motor winding B high 7 15 Motor winding B low 8 11 15 V 25mA for Opto switches 9 No Connection 9 pin 2열 15 pin 3열 D sub Connector female Table 4 Valve Throttle Valve Connector Pin out ...

Page 21: ...ut Pin No Assignment 1 No Connection 2 Pressure Signal 3 15 VDC Supply 4 Power Ground 5 15 VDC Supply 6 No Connection 7 Signal Ground 8 Signal Ground 9 No Connection 9 pin D sub Connector female Table 5 CM Capacitance Manometer Connector Pin out ...

Page 22: ... Assignment 1 No Connection 2 Flow or Pressure Signal 3 15 VDC Supply 4 Power Ground 5 15 VDC Supply 6 Set point Command Signal 7 Signal Ground 8 Signal Ground 9 No Connection 9 pin D sub Connector female Table 6 MFC Connector Pin out ...

Page 23: ...Pressure Set point In 12 Pressure Out 0 10 VDC 13 Valve Position Out 0 10 VDC 14 Digital Ground 15 Digital Ground 16 No Connection 17 No Connection 18 No Connection 19 No Connection 20 Power Ground 21 Power Ground 22 Signal Ground 23 Signal Ground 24 No Connection 25 No Connection 25 pin D sub Connector female PC의 Monitor Connector Low pin 14의 Digital Ground로 연결 Low level 을 의미함 Active Low signal 유...

Page 24: ...w 8 Select Pressure Position Control TTL High Pressure Control TTL Low Position Control 9 External Analog Set point On Active Low 10 Relay 2 Common 11 Relay 1 N C 12 Valve Open Status 13 Digital Ground 14 Valve Close Status 15 Relay 2 N C 15 pin 3열 D sub Connector male PC의 Monitor Connector Low pin 13의 Digital Ground로 연결 Low level 을 의미함 Active Low signal 유지 조건 250ms 이상 Table 8 Interface 2 Connecto...

Page 25: ...ctor Pin out Pin No Assignment 1 No Connection 2 Transmit data 3 Receive data 4 No Connection 5 Digital Ground 6 RS485 7 RS485 8 No Connection 9 No Connection 9 pin D sub Connector male Table 9 RS232C RS485 Serial Interface Connector Pin out ...

Page 26: ... Number Serial Number 등이 기록되어 있다 Model Number의 자세한 설명은 아래와 같다 IVC3100 XX Y Z X M MFC Channel Card 2 channel O No Card Y D Dual CM Display Card O Single CM Display Default Z I Analog I O card O No Card Model IVC3100 MM D I Serial P2190101001 ISVT Co Ltd Made in Korea ...

Page 27: ...essure Controller의 전원을 켰을 때 이미 장착된 Card에 대하 여 자체적으로 Initial을 실행하며 끝난 후에는 아래와 같이 좌측 상단부터 Default로 Valve의 현재 Position Set Pressure Actual Pressure를 보여준다 POS 5 3 SP1 1 0000 Torr 0 0000 LOC MENU ESC key를 눌러서 Main Menu로 들어가면 다시 Sub Menu가 나온다 MENU ESC key는Toggle key여서 다시 MENU ESC key를 누르면 ESC 가 눌린 게 되어 Default화면으로 빠져 나온다 각각의 Sub Menu로 들어가기 위하여는 Up Down scroll key인 key를 눌러서 표시를 원하는 Sub Menu로 옮긴 다음 Enter ...

Page 28: ...ter의 Unit setting RELAY EXT SETUP Process Limit Relay Trip point setting 구현중 RELAY EXT SETUP External Analog parameter setting MFCs Setup MFC의 Range Unit등을 setting System Setup CTR MODE Local control 또는 Remote control 중 선택 BAUDRATE RS232 485 BaudRate 설정 COMM CLASS RS232 485 Delimiter 설정 DELIMITER RS232 485 Delimiter 설정 CPU RESET 모든 입력 값은 저장 된 상태에서 전원 OFF ON FACTORY SET System을 초기화 시킴 모든 입력 data가 지...

Page 29: ...ng을 먼저하고 Range Setup에서 값을 바꾸면 이미 입력한 Set point Setting 값들이 모두 초기화 되어 그 값들을 다시 입력해야 하는 불편함이 있기 때문이다 Sensor Capacitance Manometer Setup MENU ESC Key등을 이용하여 Sensor Setup 항목으로 이동 한다 SETUP MENU SETPOINT SETUP VALVE SETUP SENSOR SETUP RELAY EXT SETUP MFC SETUP SYSTEM SETUP ...

Page 30: ... 로 설정가능 2 IVC3100 Controller에 연결할 Pressure Sensor의 Unit Sensor에 명 기 되어 있음 를 확인한 다음 선택하고 Enter Key를 눌러 저장한다 Sensor Range Setup 1 Key를 이용하여 Range 항목을 선택하여 Enter 를 눌러 Key 를 이용하여 0 1 1000 까지 변경이 가능하다 SNESOR SETUP SENSOR ZERO Ready SENSOR RANGE 1000 0 SNESOR UNIT Torr SNESOR SETUP SENSOR ZERO Ready SENSOR RANGE 1000 0 SNESOR UNIT Torr ...

Page 31: ... 31 2 IVC3100 Controller에 연결할 Pressure Sensor의 Range Sensor에 명기되어 있음 를 확인한 다음 와 Key를 이용하여 Range를 선택하고 Enter Key를 눌러 저장한다 Sensor Ranges Default 값은 1000 0 이며 0 1 1000 0 까지 설정이 가능하다 ...

Page 32: ...IVC3100 Controller에 연결하고 Process Chamber 의 압력을 Base Pressure까지 Pump down 하고 동시에 Sensor의 Warm up time Sensor의 종류에 따라 warm up time이 틀림 이 지난 상태에서 Sensor의 Zeroing을 하여야 한다 Sensor의 Zeroing을 하기 위해서는 Chamber의 압력을 Sensor의 최소 Resolution보다 더 낮게 Pump Down 해야 한다 예를 들어 Sensor의 Full Scale Range가 1 Torr 라면 Resolution은 5 Digit이므로 최소한 10 5 이하로 Chamber내의 압력을 Pump down 해야 한다 100 mtorr 10 6 이하 1 torr 10 5 이하 10 torr 1...

Page 33: ...le Valve를 포함하여 MKS Type 653에 대하여도 설정이 가능하다 기타 MKS Type 253 253 Fast 제 품을 사용시는 당사에 연락을 하여 협의 1 MENU ESC Enter Key등을 이용하여 Valve Setup 항목을 선택 한다 2 Enter 를 눌러 아래 화면으로 들어간다 SETUP MENU SETPOINT SETUP VALVE SETUP SENSOR SETUP RELAY EXT SETUP MFC SETUP SYSTEM SETUP VALVE SETUP STREAM DIR Direct INITIAL POS 100 INITIAL SCAN ON SCAN SPEED 150 SCAN START 29000 CTR ALGO PID ...

Page 34: ...Close 하면서 압력을 높이게 되는데 이와는 반대로 Throttle Valve를 Gas가 유입되는 곳에 장착하면 Valve동작을 반대로 구동해야 진공 압력을 제어할 수 있다 1 Key를 이용하여 STREAM DIR 항목을 선택하여 Enter 를 누루고 다시한번 Key를 이용하여 Direct 및 Reverse 로 선택이 가능하다 2 Key를 이용하여 설정하고 Enter 를 눌러 저장한다 VALVE SETUP STREAM DIR Direct INITIAL POS 100 INITIAL SCAN ON SCAN SPEED 150 SCAN START 29000 CTR ALGO PID ...

Page 35: ...초기 위치를 지정해주는 mode이다 지정범위는 다음과 같다 0 100 1 Key를 이용하여 INITIAL POS 항목을 선택하여 Enter 를 누르고 다시한번 Key를 이용하여 0 100 까지의 범위를 설정 할 수 있다 2 Key를 이용하여 설정하고 Enter 를 눌러 저장한다 지정 범위 Close 상태 O Open 상태 100 VALVE SETUP STREAM DIR Direct INITIAL POS 100 INITIAL SCAN ON SCAN SPEED 150 SCAN START 29000 CTR ALGO PID ...

Page 36: ...여도 설정이 가능하다 MKS 253 253 Fast 에 대해서는 당사와 협의 필요 1 Key를 이용하여 SCAN SPEED 항목을 선택하여 Enter 를 누르고 다시한번 Key를 이용하여 10 300까지 입력 이 가능하다 2 Key를 이용하여 SCAN START 항목을 선택하여 Enter 를 누르고 다시한번 Enter 를 누르면 Valve Scan 이 시작 된다 Valve 속도설정 방법 Custom mode에서 입력 밸브 속도 데이터는 10 300 까지 설정이 가능하고 최대속도 300 최소속도 스캔속도 10이다 VALVE SETUP STREAM DIR Direct INITIAL POS 100 INITIAL SCAN ON SCAN SPEED 150 SCAN START 29000 CTR ALGO PID ...

Page 37: ...ve Position별진공 압력 변화 그리고 기타 다른 중요한 Parameter 들을 감지 하여 Pressure Control Factor 들을최적의 조건으로 사용 가능하다 Adaptive Learn 기능은 구현중 PID Control 방식은 P Lead 및 Gain 값을 User가 직접 입력하여 사용할 수 있다 1 Key를 이용하여 CTR ALGO 항목을 선택하여 Enter 를 누르고 다시한번 Key를 이용하여 PID 및 Self Tuning Mode 인 Adaptive 구현중 설정이 가능하다 2 Key를 이용하여 설정하고 Enter 를 눌러 저장한다 VALVE SETUP STREAM DIR Direct INITIAL POS 100 INITIAL SCAN ON SCAN SPEED 150 SCAN START...

Page 38: ...에 도달하는 시간을 정해주는 것이다 따라서 이론적으로는 이 시간을 줄이면 줄일수록 Set point 에 도달하는 시간이 줄게 된다 Gain 값의 의미는 Auto Pressure Control 을 실행하는 명령을 IVC3100 Controller 에 입력했을 경우 현재의 압력이 Set point 압력에 도달하기 위해 Throttle Valve 의 Open 시 각도를 정해주는 것이다 따라서 이론적 으로는 이 을 높이면 높일수록 Set point 에 도달하는 시간이 줄게 된다 그러나 상기의 경우 Chamber 의 Pumping 능력 Chamber Volume Gas Flow Rate 와 많은 관계가 있다 그리고 중요한 것은 현재 압력을 Set point 압력에 도달하는 시간을 줄이기 위해 무리하게 Lead 값을 ...

Page 39: ... 설정해놓고 Front panel의 SP1 SP5 Key를 누르는 것만으로도 간단하게 Pressure Control 또는 Position Control을 할 수 있다 1 MENU ESC Enter Key등을 이용하여 Setpoint Setup 항목 을 선택한다 2 Enter 를 눌러 아래 화면으로 들어간다 SETUP MENU SETPOINT SETUP VALVE SETUP SENSOR SETUP RELAY EXT SETUP MFC SETUP SYSTEM SETUP SETPOINT SETUP SP1 CTRL Pressure SP1 POSRG 0 0 SP1 PRERG 0 0 SP1 GAIN 1000 SP1 LEAD 1 00 SP2 CTRL Pressure ...

Page 40: ...를 이용하여 SP1 POSRG 항목을 선택하여 Enter 를 누르고 다시한번 Key를 이용하여 Position 의 Value 값을 선택 한다 Position Mode 일 때 만 적용 된다 2 Enter 를 눌러 지정한 값을 저장하며 지정범위는 다음과 같다 POSRG Value 값 설정 범위 0 0 100 0 SETPOINT SETUP SP1 CTRL Pressure SP1 POSRG 0 0 SP1 PRERG 0 0 SP1 GAIN 1000 SP1 LEAD 1 00 SP2 CTRL Pressure SETPOINT SETUP SP1 CTRL Pressure SP1 POSRG 0 0 SP1 PRERG 0 0 SP1 GAIN 1000 SP1 LEAD 1 00 SP2 CTRL Pressure ...

Page 41: ... Pressure Mode 일 때 만 적용 된다 2 Enter 를 눌러 지정한 값을 저장하며 지정범위는 다음과 같다 Pressure Value 값 설정 범위 실제 사용 CM 단위의 범위 내 EX 실제 사용 CM 값이 1000 0 TORR 이면 0 1 1000 0 까지 입력 가능하며 실제 사용 CM 값이 10 000 TORR 이면 0 001 10 000 까지 입력 가능하다 SETPOINT SETUP SP1 CTRL Pressure SP1 POSRG 0 0 SP1 PRERG 0 0 SP1 GAIN 1000 SP1 LEAD 1 00 SP2 CTRL Pressure ...

Page 42: ...과 같다 Gain 값 설정 범위 1 9999 LEAD VALUE SET 1 Key를 이용하여 LEAD 항목을 선택하여 Enter 를 누르고 다시한번 Key를 이용하여 Lead의 Value 값을 선택한다 SETPOINT SETUP SP1 CTRL Pressure SP1 POSRG 0 0 SP1 PRERG 0 0 SP1 GAIN 1000 SP1 LEAD 1 00 SP2 CTRL Pressure SETPOINT SETUP SP1 CTRL Pressure SP1 POSRG 0 0 SP1 PRERG 0 0 SP1 GAIN 1000 SP1 LEAD 1 00 SP2 CTRL Pressure ...

Page 43: ... 43 2 Enter 를 눌러 지정한 값을 저장하며 지정범위는 다음과 같다 Lead 값 설정 범위 0 01 sec 2 00 sec SP1 SP5 까지 한 화면에서 설정이 가능하며 모두 동일한 방법으로 SETTING 하면 된다 RELAY EXT SETUP 구현중 ...

Page 44: ... Valve Control Set Point MFC Control On Off Set Enter Intelligent Solution Vacuum Technology WWW ISVT CO KR MFC1 10 00 00 00 SCCM MFC2 10 00 00 00 SCCM MFC3 10 00 00 00 SCCM MFC4 10 00 00 00 SCCM SP1 1 0000 POS 99 9 0 0000 TORR LOCAL 1 MENU ESC Enter Key등을 이용하여 MFC SETUP 항목을 선택한다 2 Enter 를 눌러 아래 화면으로 들어간다 SETUP MENU SETPOINT SETUP VALVE SETUP SENSOR SETUP RELAY EXT SETUP MFC SETUP SYSTEM SETUP MFC...

Page 45: ...를 확인 한 후 이 값을 IVC3100 Controller에 입력하여야 한다 1 Enter Key등을 이용하여 RANGE 항목을 선택하여 Enter 를 누르고 다시한번 Enter Key 를 이용하여 MFC Full Scale을 선택한다 2 Enter 를 눌러 지정한 값을 저장하며 지정범위는 다음과 같다 MFC Full Scale 값 설정 범위 1 5000 까지 설정 가능 MFC SETUP MFC1 RANGE 1000 MFC1 UNIT SCCM MFC1 ZERO Ready MFC2 RANGE 1000 MFC2 UNIT SCCM MFC2 ZERO Ready MFC SETUP MFC1 RANGE 1000 MFC1 UNIT SCCM MFC1 ZERO Ready MFC2 RANGE 1000 MFC2 UNIT SCCM...

Page 46: ...nter Key등을 이용하여 UNIT 항목을 선택하여 Enter 를 누르고 다시한번 Enter Key 를 이용하여 MFC Unit 값을 선택한다 2 Enter 를 눌러 지정한 값을 저장하며 지정범위는 다음과 같다 MFC Unit 값 SCCM SLM SKLM MFC1 4 번까지 모두 동일한 방법으로 Setting 하면 된다 MFC SETUP MFC1 RANGE 1000 MFC1 UNIT SCCM MFC1 ZERO Ready MFC2 RANGE 1000 MFC2 UNIT SCCM MFC2 ZERO Ready ...

Page 47: ...ize 등을 Setting 하기 위한 mode이다 1 MENU ESC Enter Key등을 이용하여 SYSTEM SETUP 항목을 선택한다 2 Enter 를 눌러 아래 화면으로 들어간다 SETUP MENU SETPOINT SETUP VALVE SETUP SENSOR SETUP RELAY EXT SETUP MFC SETUP SYSTEM SETUP SYSTEM SETUP CTR MODE Local BAUDRATE 9600 COMM CLASS RS232 DELIMITER CR CPU RESET Off FACTORY SET Off ...

Page 48: ... 같이 Key를 이용하여 원하는 mode를 선택한다 3 Enter Key를 눌러서 저장한다 LOCAL REMOTE 설정 가능 BAUDRATE SET RS232 RS485 Serial interface의 통신 BaudRate를 설정 할 수 있다 1 Enter Key등을 이용하여 BAUDRATE 항목을 선택하여 Enter 를 누르고 다시한번 Enter Key 를 이용하여 Control Mode 의 값을 선택한다 SYSTEM SETUP CTR MODE Local BAUDRATE 9600 COMM CLASS RS232 DELIMITER CR CPU RESET Off FACTORY SET Off SYSTEM SETUP CTR MODE Local BAUDRATE 9600 COMM CLASS RS232 DELIMITER...

Page 49: ...200 이다 COMM CLASS SET RS232 RS485 Serial interface의 통신 Mode 를 설정 할 수 있다 1 Enter Key등을 이용하여 COMM CLASS 항목을 선택하여 Enter 를 누르고 다시한번 Enter Key 를 이용하여 COMM Mode 의 값을 선택한다 2 아래 화면과 같이 Key를 이용하여 원하는 mode를 선택한 후 Enter Key를 눌러서 저장한다 RS232 RS485 설정 가능 SYSTEM SETUP CTR MODE Local BAUDRATE 9600 COMM CLASS RS232 DELIMITER CR CPU RESET Off FACTORY SET Off ...

Page 50: ... 기능이다 1 Enter Key등을 이용하여 CPU RESET 항목을 선택하여 Enter 를 누르고 다시한번 Enter Key 를 이용하여 CPU RESET 의 값을 선택한다 2 Enter Key를 눌러서 저장하거나 ESC Key를 눌러서 저장하지 않고 빠져 나온다 ON OFF 설정 가능 ON 으로 변경 후 Enter 를 치게 되면 IVC3100 이 재부팅 된다 SYSTEM SETUP CTR MODE Local BAUDRATE 9600 COMM CLASS RS232 DELIMITER CR CPU RESET Off FACTORY SET Off SYSTEM SETUP CTR MODE Local BAUDRATE 9600 COMM CLASS RS232 DELIMITER CR CPU RESET Off FACTORY ...

Page 51: ...ORY RESET 항목을 선택하여 Enter 를 누르고 다시한번 Enter Key 를 이용하여 FACTORY RESET 의 값을 선택한다 2 Enter Key를 눌러서 저장하거나 ESC Key를 눌러서 저장하지 않고 빠져 나온다 ON OFF 설정 가능 ON 으로 변경 후 Enter 를 치게 되면 IVC3100 이 재부팅 된다 재부팅 이후 모든 값은 Default 값으로 변경 된다 SYSTEM SETUP CTR MODE Local BAUDRATE 9600 COMM CLASS RS232 DELIMITER CR CPU RESET Off FACTORY SET Off ...

Page 52: ...l Remote 2 가지가 있는데 이 중에서 Local mode로 선택하면 모든 Control 이 Front Panel을 통해서 이루어진다 이것의 설정은 앞 장의 System Setup 에서 언급 했듯이 Menu Esc System Setup CTRL Mode 에서 변경 할 수 있다 이 Chapter에서 다루는 주요 내용들은 아래와 같다 Set point 설정 및 Pressure Control 방법 Valve Open Close PID mode Pressure Control Pressure Sensor의 Zeroing MFC의 사용 ...

Page 53: ... Valve Open Open Key를 누르면 Valve가 full Open되고 Lamp가 켜진다 이 때 Valve가 Open 되고 있는 상황을 화면 상에서 확인 할 수 있으며 중간에 멈추려면 Stop Key를 누르면 된다 Valve Close Close Key를 누르면 Valve가 full Close되고 Lamp가 켜진다 이 때 Valve가 Close 되고 있는 상황을 화면 상에서 확인 할 수 있으며 중간에 멈추려면 Stop Key를 누르면 된다 PID mode Pressure Control PID Control 방식은 P Lead 및 Gain 값을 User가 직접 입력하여 사용할 수 있다 1 Menu Esc Valve Setup CTR ALOG 로 차례로 들어가서 PID 을 선택하고 Enter Key를 ...

Page 54: ...달하는 시간을 정해주는 것이다 따라서 이론적으로는 이 시간을 줄이면 줄일수록 Set point 에 도달하는 시간이 줄게 된다 Gain 값의 의미는 Auto Pressure Control 을 실행하는 명령을 IVC3100 에 입력 했을 경우 현재의 압력이 Set point 압력에 도달하기 위해 Throttle Valve 의 Open 시 각도를 정해주는 것이다 따라서 이론적으로는 이 을 높이면 높일수록 Set point 에 도달하는 시간이 줄게 된다 그러나 상기의 경우 Chamber 의 Pumping 능력 Chamber Volume Gas Flow Rate 와 많은 관계가 있다 그리고 중요한 것은 현재 압력을 Set point 압력에 도달하는 시간을 줄이기 위해 무리하게 Lead 값을 낮추거나 Gain 값을 올...

Page 55: ...들면 Lead 값이 너무 낮거나 Gain 값이 너무 높아서 Oscillation이 심한 경우 Pressure Time 이 경우 Lead 값을 조금씩 높이거나 Gain 값을 조금씩 낮추어서 Oscillation을 최소화하여 이상적으로 동작할 수 있게 Tuning 한다 Set point Pressure Actual Pressure Pressure Time Set point Pressure Actual Pressure ...

Page 56: ...in 값이 너무 낮아서 응답속도가 느린 경우 Set point Pressure Actual Pressure Pressure Time 이 경우 Lead 값을 조금씩 낮추거나 Gain 값을 조금씩 높여서 Oscillation을 Actual Pressure 에 도달하는 시간을 최소화 할 수 있 게 Tuning 한다 Set point Pressure Actual Pressure Pressure Time ...

Page 57: ...킨다 Sensor의 Zeroing을 하기 위해서는 Chamber의 압력을 Sensor의 최소 Resolution보다 더 낮게 Pump Down 해야 한다 예를 들어 Sensor의 Full Scale Range가 1 Torr 라면 Resolution은 5 Digit이므로 최소한 10 5 이하로 Chamber내의 압력을 Pump down 해야 한다 100 mtorr 10 6 이하 1 torr 10 5 이하 10 torr 10 4 이하 100 torr 10 3 이하 1000 torr 10 2 이하 3 MENU ESC SENSOR SETUP mode로 들어간다 4 Key를 이용하여 SENSOR ZERO 을 선택하고 Enter 를 눌러 Zeroing 을 하면 된다 SNESOR SETUP SENSOR ZERO Read...

Page 58: ...r는 Pressure Gauge Throttle Valve를 기본적으로 사용 하지만 고객의 요청 시 MFC Control Card Card 1장 당 MFC 2개 연결 를 추가로 장착하여 Valve Control과 동시에 4개의 MFC를 연결하여 사용할 수 있도록 설계되어있다 MFC 사용 단원에서 다루는 주요 내용은 아래와 같다 Display mode 변경 Flow Control 방법 MFC Zeroing 방법 ...

Page 59: ... 변환하는 방법으로 Setting하는 식으로 입력한다 이 때 선택 되어지는 Channel은 깜박거리며 상태를 나타낸다 그리고 Flow rate setting을 하였어도 Flow ON 을 하지 않는 한 Gas 는 흐르지 않는다 예를 들어 Channel 1 의 MFC에 대한 Flow rate를 100 Setting 하고 Setting 한 만큼 Gas를 흘리고 싶다면 1 Set 1 번선택 Key을 이용하여 원하는 수치를 선택 Set Key를 차례로 누른다 Setting 하고자 하는 channel을 선택한 다음 Flow rate를 Setting 하는 작업을 하고 저장하는 순서 2 SET 1 번선택 ON SET Key를 차례로 누른다 Setting 한 만큼 Gas가 흐르도록 Flow ON 하는 순서 3 흐르고 있는 ...

Page 60: ...실제 Flow 양의 지시치가 0 으로 나타나야 하는데 그렇지 않을 경우가 있다 외부 온도 습도 등 환경이 변하거나 설치위치 장소 등이 바뀌더라도 어느 정도는 Zero값이 Shift된다 1 Menu Esc MFC SUTUP MFC1 ZERO 를 선택 한다 2 아래 화면과 같이 Zeroing 하고자 하는 MFC channel을 선택하고 Enter 를 누른다 MFC SETUP MFC1 RANGE 1000 MFC1 UNIT SCCM MFC1 ZERO Ready MFC2 RANGE 1000 MFC2 UNIT SCCM MFC2 ZERO Ready ...

Page 61: ...ace를 이용하여 Control 하려면 Remote Mode 로 선택하여야만 한다 1 Menu Esc System Setup CTR MODE 에서 변경 가능하다 2 key를 이용하여 Local Remote 로 변경한 다음 Enter key를 눌러 저장한다 위와 같이 Setting하였다면 외부에서 Control 할 수 있는 환경이 되었는데 TTL I O 및 External Analog Control 또는 RS232C RS485 Serial Interface 명령 이 중복되어 들어왔다면 나중의 명령이 실행된다 SYSTEM SETUP CTR MODE Remote BAUDRATE 9600 COMM CLASS RS232 DELIMITER CR CPU RESET Off FACTORY SET Off ...

Page 62: ...r RS232 RS485 Messages Default Baud Rate 9600 User Set Yes Character length 8 User Set No Parity bit None User Set No Start Stop Bit 1 User Set No All commands are sent and received as ASCII strings All commands must include a parameter byte or string except READ Command which is beginning with R character All messages must use a carriage return CR as the end of line delimiter All commands entered...

Page 63: ...Set level of set point 3 of Full Scale pressure for pressure set points position for position set points of open for direct direction control of closed for reverse direction control S4 Value Set level of set point 4 of Full Scale pressure for pressure set points position for position set points of open for direct direction control of closed for reverse direction control S5 Value Set level of set p...

Page 64: ...0 10 500 11 1000 default F Value Pressure Unit Value 0 Torr default 1 mTorr 2 mbar 3 µbar 4 kPa 5 Pa 6 cmH2O 7 inH2O Note E 와 F command에서 pressure reading은 F S 의 를 의미하고 실제 압력을 자동으로 전환해서 읽지 않으므로 사용자가 직접 Sensor range와 unit를 입력하여야 한다 O Open valve C Close valve H Stop Hold valve K CPU Reset Table 10 RS232C Command Summary Continued on next page ...

Page 65: ...t point 2 에 대한 Type Value 0 Position 1 Pressure T3 Value Set point 3 에 대한 Type Value 0 Position 1 Pressure T4 Value Set point 4 에 대한 Type Value 0 Position 1 Pressure T5 Value Set point 5 에 대한 Type Value 0 Position 1 Pressure N Value Direction 설정 Value 0 Direct 1 Reverse Table 10 RS232C Command Summary Continued on next page ...

Page 66: ... Ex 0 01 1 99 까지 입력 가능 소수점 두번째 자리 까지 입력 X1 X5 동일 X2 Value Set Point 2 에 대한 P Lead 설정 Value Seconds X3 Value Set Point 3 에 대한 P Lead 설정 Value Seconds X4 Value Set Point 4 에 대한 P Lead 설정 Value Seconds X5 Value Set Point 5 에 대한 P Lead 설정 Value Seconds Table 10 RS232C Command Summary Continued on next page ...

Page 67: ...Ex W11 000 MFC Range of Channel 1 1 000 W2 Value MFC Range Set of Channel 2 Ex W11 000 MFC Range of Channel 2 1 000 W3 Value MFC Range Set of Channel 3 Ex W11 000 MFC Range of Channel 3 1 000 W4 Value MFC Range Set of Channel 4 Ex W11 000 MFC Range of Channel 4 1 000 W5 Value Unit Set of Channel 1 MFC Value 1 SCCM 2 SLM 3 SKLM W6 Value Unit Set of Channel 2 MFC Value 1 SCCM 2 SLM 3 SKLM W7 Value U...

Page 68: ...Flow set Value of Channel 1 MFC with writing Flash Memory Value of Full Scale for Channel 1 MFC Q6 Value Flow set Value of Channel 2 MFC with writing Flash Memory Value of Full Scale for Channel 2 MFC Q7 Value Flow set Value of Channel 3 MFC with writing Flash Memory Value of Full Scale for Channel 3 MFC Q8 Value Flow set Value of Channel 4 MFC with writing Flash Memory Value of Full Scale for Cha...

Page 69: ... of channel 2 MFC 1 Flow ON of channel 2 MFC L3 Value Flow ON or OFF Command of channel 3 MFC Value 0 Flow OFF of channel 3 MFC 1 Flow ON of channel 3 MFC L4 Value Flow ON or OFF Command of channel 4 MFC Value 0 Flow OFF of channel 4 MFC 1 Flow ON of channel 4 MFC L5 Value Zero or Clear zero command of channel 1 MFC Value 1 Zeroing of channel 1 MFC L6 Value Zero or Clear zero command of channel 2 ...

Page 70: ...et point 30 of F S 10 Torr F S unit 이라면 set point 는 3 Torr R3 Set point 3 value S3 Value Value of Full Scale Ex S1 30 00 set point 30 of F S 10 Torr F S unit 이라면 set point 는 3 Torr R4 Set point 4 value S4 Value Value of Full Scale Ex S1 30 00 set point 30 of F S 10 Torr F S unit 이라면 set point 는 3 Torr R5 System pressure value P Value Value of Full Scale Ex Reading 000 00 R6 Valve Position Value V ...

Page 71: ... point 1 2 set point 2 3 set point 3 4 set point 4 5 set point 5 For the value of Y 0 controlling 1 valve stop 2 valve open 4 valve close For the value of Z 0 pressure 10 of F S 1 pressure 10 of F S R10 Set point 5 value S5 Value Value of Full Scale Ex S1 30 00 set point 30 of F S 10 Torr F S unit 이라면 set point 는 3 Torr Table 11 RS 232 Request Response Reference Summary Continued on next page ...

Page 72: ...27 Set Point 2 Type pressure or position T2 Type Type 0 Position 1 Pressure R28 Set Point 3 Type pressure or position T3 Type Type 0 Position 1 Pressure R29 Set Point 4 Type pressure or position T4 Type Type 0 Position 1 Pressure R30 Set Point 5 Type pressure or position T5 Type Type 0 Position 1 Pressure Table 11 RS 232 Request Response Reference Summary Continued on next page ...

Page 73: ...R33 Pressure Sensor Range E Value Value equals 00 0 1 01 0 2 02 0 5 03 1 04 2 05 5 06 10 07 50 08 100 09 300 10 500 11 1000 12 1250 13 2500 14 5000 15 10000 16 1 33 17 2 66 18 13 33 19 133 3 20 1333 21 6666 22 13332 R34 Pressure Units F Value Value 0 Torr 1 mTorr 2 mbar 3 µbar 4 kpa 5 pa 6 cmH2O 7 inH2O Table 11 RS 232 Request Response Reference Summary Continued on next page ...

Page 74: ...al 1 Remote For the value of Y 현재 지원 안 함 0 not learning default 1 learning system 2 learning valve For the value of Z 0 open 1 close 2 stop 3 set point 1 4 set point 2 5 set point 3 6 set point 4 7 set point 5 8 external analog set point R38 Software version H3 Version number Table 11 RS 232 Request Response Reference Summary Continued on next page ...

Page 75: ...44 P Lead Set Point 4 X4 Value Value seconds Ex Reading 000 00 R45 P Lead Set Point 5 X5 Value Value seconds Ex Reading 000 00 R46 Gain Set Point 1 M1 Value Value gain Ex Reading 000 00 R47 Gain Set Point 2 M2 Value Value gain Ex Reading 000 00 R48 Gain Set Point 3 M3 Value Value gain Ex Reading 000 00 R49 Gain Set Point 4 M4 Value Value gain Ex Reading 000 00 R50 Gain Set Point 5 M5 Value Value g...

Page 76: ...el MFC Q1 Value Value data 6byte Ex 1 channel의 Flow가 100 of F S 이라면 Value Q0 100 0 R62 Flow rate of 2 channel MFC Q2 Value Value data 6byte Ex 2 channel의 Flow가 100 of F S 이라면 Value Q0 100 0 R63 Flow rate of 3 channel MFC Q3 Value Value data 6byte Ex 3 channel의 Flow가 100 of F S 이라면 Value Q0 100 0 R64 Flow rate of 4 channel MFC Q4 Value Value data 6byte Ex 4 channel의 Flow가 100 of F S 이라면 Value Q0 10...

Page 77: ...l MFC Q8 Value Value data 6byte Ex Reading 000 0 R69 ON OFF status of All MFCs L0 Value Value 0 OFF 1 ON Ex 모든 channel이 ON 상태라면 Value 1111 2 4 channel 이 ON 상태라면 Value 0101 R70 Full Scale range of 1 channel MFC W1 Value Value range o f 1 channel MFC R71 Full Scale range of 2 channel MFC W2 Value Value range of 2 channel MFC R72 Full Scale range of 3 channel MFC W3 Value Value range of 3 channel MFC...

Page 78: ...t of 1 channel MFC W5 Value Value 1 SCCM 2 SLM 3 SKLM R75 Unit of 2 channel MFC W6 Value Value 1 SCCM 2 SLM 3 SKLM R76 Unit of 3 channel MFC W7 Value Value 1 SCCM 2 SLM 3 SKLM R77 Unit of 4 channel MFC W8 Value Value 1 SCCM 2 SLM 3 SKLM Table 11 RS 232 Request Response Reference Summary Continued on next page ...

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