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PRERG VALUE SET (Pressure Mode)
1. [▲], [▼] Key를 이용하여 [
PRERG
] 항목을 선택하여,
[
Enter
]를 누르고, 다시한번 [▲], [▼] Key를 이용하여 Pressure
의 Value 값을 선택 한다. (Pressure Mode 일 때 만 적용 된다.)
2. [
Enter
]를 눌러 지정한 값을 저장하며, 지정범위는 다음과 같다.
Pressure Value 값 설정 범위 : 실제 사용 CM 단위의 범위 내
(EX. 실제 사용 CM 값이 1000.0 TORR 이면 0.1~1000.0 까지 입력 가능하며,
실제 사용 CM 값이 10.000 TORR 이면 0.001 ~ 10.000 까지 입력 가능하다.)
[SETPOINT SETUP]
SP1:CTRL Pressure
SP1:POSRG 0.0
SP1:PRERG 0.0
SP1:GAIN 1000
SP1:LEAD 1.00
SP2:CTRL Pressure
