
Descriptions of Menu
Main Menu
Sub Menu
Descriptions
5) SP Set
1) SP1 Set
[Setpoint 1 SET ]
→
9.9 X 10E-5Torr
Trip Point Relay 6개 중에서
첫 번째 것에 대하여 set point
값을 설정하는 기능이다.
2) SP2 Set
[Setpoint 2 SET ]
→
9.9 X 10E-5Torr
Trip Point Relay 6개 중에서
두 번째 것에 대하여 set point
값을 설정하는 기능이다.
3) SP3 Set
[Setpoint 3 SET ]
→
0.0 X 10E-0Torr
Trip Point Relay 6개 중에서
세 번째 것에 대하여 set point
값을 설정하는 기능이다.
4) SP4 Set
[Setpoint 4 SET ]
→
0.0 X 10E-0Torr
Trip Point Relay 6개 중에서
네 번째 것에 대하여 set point
값을 설정하는 기능이다.
5) SP5 Set
[Setpoint 5 SET ]
→
0.0 X 10E-0Torr
Trip Point Relay 6개 중에서
다섯 번째 것에 대하여 set point
값을 설정하는 기능이다.
6) SP6 Set
[Setpoint 5 SET ]
→
0.0 X 10E-0Torr
Trip Point Relay 6개 중에서
여섯 번째 것에 대하여 set point
값을 설정하는 기능이다.
7) To Upper
Menu
이 키를 이용하여 상위 Menu
로 이동한다.
8) Exit
이 키를 이용하여 기본 창인
Pressure Display 창으로
이동한다
Table 13 : SP Set Menu 설명
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