Functions of Main Menu
Menu의 기능 및 용도는 아래와 같다.
Descriptions of Menu
Main Menu
Sub Menu
Descriptions
1) IG Set
1) IG
Current
[ Ion Current Set ]
0.1 mA
→ 1.0 mA
10 Ma
Ion Gauge의 Emission Curr-
ent를 조절하는 기능.
Default로 1.0mA로 Setting
되어 있으므로 가급적 다른
값으로 변동시키지 말 것을
권한다.
2) Degas
Time
[ IG Degas Set ]
→ 30 sec
Degas Time은 30초로
Default Setting이 되어있으며
변경이 가능하다.
3) Auto IG
Ref
[Auto IG Ref Set]
1) CG Channel A
2) CG Channel B
→ 3) Auto IG Off
Convection Gauge를 이용하여
IG를 자동으로 On/Off 할
수 있는 기능으로 Default
Setting은 이 기능을 사용하지
않는 것으로 되어있다.
On/Off 동작 점의 Setting은
다음 항목에서 setting 한다.
4) Auto IG
SP
[ Auto IG Set ]
9.9 X E-4
IG를 자동으로 On/Off할 동작
점을 Setting 한다.
5) To Upper
Menu
이 키를 이용하여 상위 Menu
로 이동한다.
6) Exit
이 키를 이용하여 기본 창인
Pressure Display 창으로
이동한다
Table 9 : IG Set Menu 설명
19