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7.1.2
Vakuumregler
Regelung auf einen vorgegebenen Vakuumwert.
Menü –
Vakuumregler
Parameter
Bedeutung
Sollvakuum
(mbar)
Einstellung unterer Vorgabewert für 2-Punkt-Re
gelung oder punktgenau bei VARIO-Pumpe.
Einstellung: Turbo*; 1–1060
Hysterese
(mbar, Torr, hPa)
Nur VMS+Vakuumpumpe oder mit Saugleitungs
ventil: Regelbandbreite bei 2-Punkt-Regelung.
Einstellbereich: Auto; 1–300
Maximum
(mbar, Torr, hPa)
Einstellung oberer Grenzdruck. Wird die
ser Grenzwert überschritten, schaltet die
Vakuumregelung ab.
Einstellbereich: Aus; 1–1060
Dauer (min)
Vorgabe der Prozesslaufzeit ab
Start
.
Einstellbereich: Aus; 1–1440
* Turbo-Mode: Selbstoptimierender Vakuumregler für bestes Endvakuum,
optimales Vorvakuum bei Betrieb mit einer Turbomolekularpumpe.
Anwendungsbeispiel – Filtration
Wählen Sie das Sollvakuum höher als den Siededruck der Flüs
sigkeit und stellen Sie das Maximum etwas darüber ein. Beim
Trockenlaufen des Filters oder Filterbruch steigt der Druck an
und die Regelung wird automatisch beendet.
Hysteresewerte Auto
Sollvakuum
(mbar)
5
10
50
80 100 200 500 700 900 1000
Hysterese (mbar)
2
2
5
8
9
17
40
55
71
78
Beispiel
Display
Vakuumregler
Parameter
Vakuumregler
Bedeutung
Anwendungsbeispiel
für Vakuumregler
Werkseinstellung
Hysterese
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