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Statusfenster
Durch nochmaliges Bestätigen
wird der Belichtungsprozess
gestartet.
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– Programmname
2
– Returntaste
3
– Belichtungsdauer
4
– Druck (mbar)
5
– Belichtungsicon (ON/OFF)
6
– Belichtungsatmosphäre
(Luft/Vakuum/Stickstoff)
Belüften des
Belichtungsraumes
Warten bis das Vakuum abge-
baut ist damit z.B. nicht die
Dichtung für die Belichtungs-
kammer zerstört wird!
Finaler Prozessscreen
Nach dem Belichtungsprozess
wird das Ergebnis zusammen
mit den angewendeten Para-
metersätzen angezeigt.
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Summary of Contents for PCU LED
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