10Nm (
4”)
,
!#
' !# '. &
)
$) .
4. $,5'' '5'7 5!'-
"
$,
')
% .
*,$!-' !"! '7
*')!.
'3$! )!)'%#-' !,
$!0' !*'
!%!"4% *!%.
,
!
,
.
+ $#
!#:
!
% !%
( ! !
)
3 ;
!
,
,
;
' %
SDM
,
%
% .
$ #!
= 11 +
$# Y/Δ
.
% %!
.
4.1 $'$'' !*''-
+ %#
#, ,
.
%
%#! !
,
%
.
#! !#%
' )!
' .
4.2. !*! '*!)"!''% 5!4
&
30 F) 60 F).
0 30 F), 30
0 F) 1 .
5. <!
=! !'35' )!'+!'#
)!!( ! "7,, $!0' '(,
"'.
<!' ! '$"! 4-
)!$"0-
,
%.
+ %'
#.
$ )
( )
% () .
? ! ,
$# ',
%.
,
% =.
G, , #
! .
!'35' )!'+!'# )! !*!
!! ( 4- )!$"0'.
"'(', 5*4 '! !*'
"4$'0"! '4' !!%'4 '
'"4?! '*#'%- %+,
!)!- ! !*5'.
+ , !
.
=! )*'3!-' $'(-
!*4 )!44% !*%.
5.1. !*! !
3''!! !
&!
!/ !. !
.
:
- ! !
:
- !
!
- !
!
6. '75'- 7$
%. .
! #.
,
#.
% %
)
$''.
''$ "'$''% '!-
'7. *0"!, !!
,5' '3 '.
+ )
.
19
% !
'
4.93.128/3
M
1
1
/
