Agilent Technologies Turbo-V 81-M 969-8901, User Manual

Page: 135 / 228

Felhasználói Kézikönyv
11
Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E) 135/228
Használat
A turbószivattyú helyes alkalmazására vonatkozó minden utasítást
megtalál a vezérl
ő egység kézikönyvében. Miel ő tt a berendezést
használná, figyelmesen olvassa el az említett kézikönyvet!
A jobb nyomás-határértékek elérése érdekében a rendszert fel lehet
melegíteni. A vákuumkamra esetleges felmelegítése során a bemeneti
nyjlásnál mért h
ő mérséklet nem lehet magasabb, mint 120 °C
ConFlat típusú illeszt ő perem esetén, illetve a 80 °C h ő mérsékletet
ISO illeszt ő perem esetén.
Mindig alkalmazzon vízh ű tést a melegítés során!
VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne
érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat
közben! A magas h
ő mérséklet égési sérüléseket okozhat!
FIGYELEM!
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A
csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részekt
ő l mentes leveg ő t
vagy közömbös gázt a szivattyú szell ő ztetéséhez. A szell ő z ő porton lév ő
nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). Agresszív
gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy különleges
porttal, hogy lehet
ő vé tegyék közömbös gáz (pl. N
2
, Ar) stabil áramlását védelmet
visel ő szivattyú számára (lásd “Technical Information” függelék).
VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgez ő , t ű zveszélyes vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó
eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében!