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Felhasználói Kézikönyv

Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz

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Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (E)

Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz

A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási
energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos
tömege miatt.

A rendszer hibás m

ű

ködése – például a rotor és az állórész

érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia
felszabadulhat.

VESZÉLY!

A berendezés károsodásának és a kezel

ő

személyzet sérülésének

megel

ő

zésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat

szigorúan be kell tartani!

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Summary of Contents for Turbo-V 81-M 969-8901

Page 1: ...anual Bedienungshandbuch Ohjek sikirja Notice de mode d emploi Felhaszn l i k zik nyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istru es N vod k pou it Bedrijfshandleiding N vod na obsluh...

Page 2: ...ed or copied only in accordance with the terms of such license Restricted Rights Legend If software is for use in the performance of a U S Government prime contract or subcontract Software is delivere...

Page 3: ...Turbo V 81 M Turbo V 81 M Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E 3 228...

Page 4: ...Turbo V 81 M 4 228 Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E...

Page 5: ...mento 17 Preparazione per l installazione 18 Installazione 19 Uso 22 Manutenzione 23 Smaltimento 24 2 Gebrauchsanleitung25 Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Informationen 27 L...

Page 6: ...Mise au rebut 48 4 Manual de istrucciones 49 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50 Informaci n general 51 Almacenamiento 53 Preparaci n para la instalaci n 54 Instalaci n 55 Uso 58...

Page 7: ...ire pompen 74 Algemene informatie 75 Opslag 77 Uitpakken 78 Installatie 79 Gebruik 82 Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 7 Istruktionsbog 85 Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re turbopumper 86 Generel in...

Page 8: ...102 Anv ndning 104 Underh ll 105 Bortskaffning 106 9 Instruksjon Manual 107 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl re pumper 108 Generell informasjon109 Lagring 110 Klargj re til installasjon 111 Inst...

Page 9: ...khoz 128 ltal nos inform ic 129 T rol s 130 El k sz t s telep t sre 131 Telep t s 132 Haszn lat 135 Karbantart s 136 Megsemmis t s 137 12 Podrecznik Instrukcji 139 Wskaz wki dotycz ce bezpiecze stwa d...

Page 10: ...i 155 Instalace 156 Pou it 158 dr ba 159 Likvidace 160 14 N vod na Obsluhu 161 Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne v vevy 162 V eobecn inform cie 163 Uchov vanie 164 Pr prava na in tal ciu 166 In t...

Page 11: ...e for Turbomolecular Pumps 184 General Information 185 Storage 186 Preparation for installation 187 Installation 188 Use 190 Maintenance 191 Disposal 192 17 Technical Information 193 Description of th...

Page 12: ...cooling kit installation 207 Water Cooling Kit Installation 209 Vent Accessories 212 Vibration Isolator Installation213 Typical Layout Diagram 214 Pump Used in Presence of Magnetic Fields 219 Accessor...

Page 13: ...l uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 17 Preparazione per l installazione 18 Installazione 19 Uso 22 Manutenzione 23 Smaltimento 24 Tra...

Page 14: ...a velocit di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore l energia di rotazi...

Page 15: ...Turbo V 81 M sono pompe turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto in grado di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso non corrosivo Non sono adatte per il pompaggio di l...

Page 16: ...procedura o una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali ATTENZIONE I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che se non o...

Page 17: ...mperatura da 20 C a 70 C umidit relativa da 0 a 95 non condensante il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il...

Page 18: ...i Non disperdere l imballo nell ambiente Il materiale completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85 399 per la tutela dell ambiente ATTENZIONE Onde evitare problemi di degasamento non toc...

Page 19: ...nti esplosivi o con elevato rischio di incendio Durante il funzionamento necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali pressione massima 2 bar oltre la pressione atmosferica temper...

Page 20: ...la Turbo V 81 M in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 250 Nm attorno al proprio asse Per esempio la fl...

Page 21: ...81 M appartiene alla seconda categoria di installazione o sovratensione prevista dalla normativa EN 61010 1 Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria P...

Page 22: ...ori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura pu causare lesioni alle persone ATTENZIONE Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando in funzione I cuscin...

Page 23: ...to possibile usufruire del servizio di riparazione Agilent o del Agilent advanced exchange service che permette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello guasto NOTA Prima di rispedi...

Page 24: ...solo per i paesi della Comunit Europea indica che il prodotto sul quale applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di rac...

Page 25: ...anual 2 Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine 27 Lagerung 29 Vor der Installation 30 Installation 31 Gebrauch 34 Wartung 35 Entsorgung 36 bersetzung der Origina...

Page 26: ...em spezifischen Gewicht ihrer Rotoren ber eine gro e Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch k nnte diese R...

Page 27: ...und H chstvakuumanwendungen die jede beliebige Art von Gasen oder nicht korrosiven gasf rmigen Gemischen pumpen k nnen Sie sind nicht f r das Pumpen von Fl ssigkeiten oder Festk rperpartikeln geeigne...

Page 28: ...auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausf hrungsweise die bei unkorrekter Ausf hrung schwere Verletzungen hervorrufen k nnten VORSICHT Die Vorsichtshinweise werden vor Vorg ngen angegeben die bei Ni...

Page 29: ...is 70 C Relative Feuchtigkeit von 0 bis 95 nicht kondensierend Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft Start in Gang zu setzen Die Lagerdauer...

Page 30: ...tsgem zu entsorgen Es ist vollst ndig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85 399 EWG f r Umweltschutz VORSICHT Um Entgasungen zu vermeiden d rfen die Teile die mit dem Vakuum in Ber hrung kommen...

Page 31: ...erh ht brandgef hrdeten Umgebungen installiert und oder benutzt werden Beim Betrieb m ssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden Maximaler Druck 2 bar ber dem atmosph rischen Druck Tempera...

Page 32: ...nstalliert werden Modell Turbo V 81 M ist stabil zu befestigen indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird der mit einem Drehmoment von 250 Nm um seine...

Page 33: ...bo V 81 M geh rt zur zweiten Installationsklasse berdruck die von den Normen EN 61010 1 vorgesehen ist Die Vorrichtung mu daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden die dieser Kategorie entsp...

Page 34: ...Pumpe noch eventuelle hei e Zubeh rteile ber hrt werden Es besteht Verbrennungsgefahr W hrend des Betriebs sind Sto und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden da di...

Page 35: ...der Agilent Service oder der Agilent advanced exchange service in Anspruch genommen werden der ein general berholtes System als Ersatz f r das defekte System zur Verf gung stellt HINWEIS Bevor Fa Agil...

Page 36: ...tronic Equipment angebracht Dieses Symbol nur in den EU L ndern g ltig zeigt an dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsm ll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem...

Page 37: ...ploi Normes de s curit pour Pompe Turbomol culaires 38 Indications g n rales 39 Stockage 41 Preparation pour l installation 42 Installation 43 Utilisation 46 Entretien 47 Mise au rebut 48 Traduction d...

Page 38: ...se de rotation associ e la masse sp cifique de leurs rotors En cas de panne du syst me par exemple cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupture du rotor l nergie de rotation pourrait tre...

Page 39: ...1 M sont des pompes turbomol culaires pour des applications de vide pouss et ultrapouss en mesure de pomper n importe quel type de gaz ou de compos non corrosif Elles ne sont pas adapt es au pompage d...

Page 40: ...c dure ou une manoeuvre sp ciale qui effectu e de fa on impropre risque de provoquer de graves l sions ATTENTION Les messages d attention apparaissent avant certaines proc dures qui si elles ne sont p...

Page 41: ...s temp rature de 20 C 70 C humidit relative de 0 95 non condensante A la premi re utilisation les pompes turbomol culaires doivent toujours tre mises en marche par le client en mode soft Start Le temp...

Page 42: ...n Ne pas abandonner l emballage dans la nature Le mat riel est enti rement recyclable et conforme la directive CEE 85 399 en mati re de protection de l environnement ATTENTION Afin d viter tout probl...

Page 43: ...dans des milieux explosifs ou fort risque d incendie Pendant le fonctionnement il est n cessaire de respecter les conditions environnementales suivantes pression maxi 2 bar au del de la pression atmo...

Page 44: ...mporte quelle position Le fixer dans une position stable en reliant la bride d entr e de la turbopompe une contre bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 250 Nm autour de son axe Par exem...

Page 45: ...rtient la deuxi me cat gorie d installations ou surtension pr vue par la norme EN 61010 1 De ce fait brancher le dispositif une ligne d alimentation compatible avec cette cat gorie Pour l installation...

Page 46: ...ventuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut tre l origine de l sions graves Lorsque la turbopompe fonctionne viter tout choc oscillation ou d placement brusque car les pali...

Page 47: ...de b n ficier du service r parations Agilent ou du Agilent advanced exchange service qui permet d obtenir un syst me r g n r en remplacement du syst me endommag NOTE Avant de renvoyer une pompe au con...

Page 48: ...les pays de la Communaut europ enne indique que le produit sur lequel il est appliqu NE doit PAS tre mis au rebut avec les ordures m nag res ou les d chets industriels ordinaires mais passer par un s...

Page 49: ...iones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50 Informaci n general 51 Almacenamiento 53 Preparaci n para la instalaci n 54 Instalaci n 55 Uso 58 Mantenimiento 59 Eliminaci n 60 Traduc...

Page 50: ...a la alta velocidad de rotaci n en combinaci n a la masa espec fica de sus rotores En el caso de un da o del sistema por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor...

Page 51: ...Turbo V 81 M son bombas turbomoleculares para aplicaciones de alto y ultra alto vac o capaces de bombear cualquier tipo de gas o compuesto gaseoso no corrosivo No son adecuadas para bombear l quidos...

Page 52: ...e un procedimiento o una operaci n espec fica que al no realizarse correctamente podr a provocar graves lesiones personales ATENCI N Los mensajes de atenci n se visualizan antes de los procedimientos...

Page 53: ...ntre 0 y 95 no condensante el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez el per odo m ximo de almacena...

Page 54: ...el embalaje en el medio ambiente El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85 399 para la preservaci n del medio ambiente ATENCI N Para evitar problemas de desgasificaci n...

Page 55: ...ivos o con alto riesgo de incendio Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes presi n m xima 2 bares por encima de la presi n atmosf rica temperatura...

Page 56: ...Turbo V 81 M en posici n estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede resistir a un par de 250 Nm alrededor de su eje Por ejemplo la brida ISO 63 puede ser...

Page 57: ...talaci n o sobretensi n prevista por la normativa EN 61010 1 Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una l nea de alimentaci n adecuada para dicha categor a ATENCI N Para instalar los acces...

Page 58: ...nte las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas Ev tense golpes oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento Los co...

Page 59: ...En caso de aver a se podr utilizar el servicio de reparaci n Agilent o el Agilent advanced exchange service que permite obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado NOTA Antes de enviar al...

Page 60: ...dica que el producto sobre el cual ha sido aplicado NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean stos dom sticos o industriales y que por el contrario deber ser sometido a un procedimient...

Page 61: ...nual de Istru es Indica es de Seguran a para Bombas Turbomoleculares 62 Informa es gerais 63 Armazenagem 65 Prepara o para a instala o 66 Instala o 67 Utiliza o 70 Manuten o 71 Elimina o 72 Tradu o da...

Page 62: ...tica devida alta velocidade de rota o unida massa espec fica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor a energ...

Page 63: ...oleculares para aplica es de alto e ultra alto v cuo em grau de bombear qualquer tipo de g s ou de composto gasoso n o corrosivo N o s o adequadas para aspirar l quidos ou part culas s lidas O efeito...

Page 64: ...dimento ou uma pr tica espec fica que se n o executada de modo correto poderiam provocar graves les es pessoais CUIDADO As mensagens de cuidado s o visualizadas antes de proceder que se n o observadas...

Page 65: ...20 C a 70 C humidade relativa de 0 a 95 n o condensante ao accionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve activ las sempre em modalidade Soft Start o tempo m ximo de armazenagem...

Page 66: ...a es N o depositar a embalagem no meio ambiente O material completamente recicl vel e em conformidade com a norma CEE 85 399 para a protec o do meio ambiente CUIDADO Para evitar problemas de perdas de...

Page 67: ...de explos o ou com elevado risco de inc ndio Durante o funcionamento necess rio que sejam respeitadas as seguintes condi es ambientais press o m xima 2 bar al m da press o atmosf rica temperatura de 5...

Page 68: ...ualquer posi o Fixar o Turbo V 81 M em posi o est vel ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra flange fixo capaz de resistir a um torque de 250 Nm ao redor do pr prio eixo Por exemplo a f...

Page 69: ...bo V 81 M pertence segunda categoria de instala o ou sobretens o prevista pela norma NE 61010 1 Portanto ligue o dispositivo a uma linha de alimenta o apropriada para esta categoria Para a instala o d...

Page 70: ...durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas Evitar colis es oscila es ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando est a funcionar Os rolamentos poderiam sof...

Page 71: ...to poss vel usufruir do servi o de assist ncia Agilent ou do Agilent advanced exchange service que permite obter um sistema regenerado que substitua a bomba com defeito NOTA Antes de reenviar ao fabri...

Page 72: ...pa ses da Comunidade Europeia indica que o produto no qual est aplicado N O deve ser eliminado juntamente com os res duos dom sticos ou industriais comuns mas deve ser dirigido a um sistema de recolh...

Page 73: ...Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie 75 Opslag 77 Uitpakken 78 Installatie 79 Gebruik 82 Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 Vertaling van de ori...

Page 74: ...oor de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt...

Page 75: ...Turbo V 81 M zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacu mtoepassingen die elk soort gas en niet corrosieve gasvormige verbindingen kunnen pompen Ze zijn niet geschikt voor het pompen van...

Page 76: ...igt op een speciale procedure of methode die indien niet correct uitgevoerd ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken VOORZICHTIG Bij dit synbool staat tekst met procedures die indien niet opgevolgsd...

Page 77: ...chtigheid van 0 tot 95 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld de ops...

Page 78: ...verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85 399 VOORZICHTIG Om ontgassingsproblemen te voorkomen mogen de componenten die met het vacu m in aanraking komen ni...

Page 79: ...sneeuw stof agressieve gassen of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max druk 2 bar boven de atmosferische dr...

Page 80: ...den ge nstalleerd Bevestig de Turbo V 81 M in een stabiele positie en verbind de in laatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 250 Nm rondom de eigen as kan verdragen De f...

Page 81: ...o V 81 M behoort tot de tweede installatiecategorie of overspanningscategorie die door de norm EN 61010 1 is voorzien Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet Z...

Page 82: ...ge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken Vermijd schokken trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is De lagers kunnen anders beschadigd raken Gebruik voo...

Page 83: ...t In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent of de Agilent advanced exchange service in te schakelen zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp OPMERKING...

Page 84: ...pese Gemeenschap geeft aan dat het product waarop het is aangebracht NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval maar gescheiden moet worden ingezameld De eindgebruiker w...

Page 85: ...ktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re turbopumper 86 Generel information 87 Opbevaring 89 Forberedelser f r installation 90 Installation 91 Anvendelse 93 Vedligeholdelse 94 Bortskaffelse 95 O...

Page 86: ...drejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke v gt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel p grund af en kontakt mellem rotor og stator eller fordi rotoren g r i stykker kan omdrejni...

Page 87: ...e pumper til anvendelse for h j og ultrah j vakuumtilpasning i stand til at pumpe en hvilken som helst type gas eller ikke tsende gasholdige blandinger De er ikke egnede til pumpning af v sker eller f...

Page 88: ...speciel procedure eller en vis type arbejde skal udf res pr cist efter anvisningerne I modsat fald er der risiko for sv re personskader FORSIGTIG Denne advarselsmeddelelse vises f r procedurer der sk...

Page 89: ...70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumper ved hj lp af Soft Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for f rste gang De tur...

Page 90: ...ikke emballagen ud Materialet kan genbruges 100 og opfylder EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse FORSIGTIG Komponenter der skal uds ttes for vakuum m ikke ber res med bare h nder idet der er risiko...

Page 91: ...lder ved drift max tryk 2 bar over det atmosf riske tryk temperatur fra 5 C til 35 C se illustrationen i bilaget Technical Information relativ luftfugtighed 0 95 ikke kondenserende Hvis pumpen er anb...

Page 92: ...gilent model IC 63250 DCMZ Nedenst ende tabel viser hvor mange klemmer der kr ves samt med hvilket sp ndingsmoment de skal strammes Tab 1 FLANGE KLEMMETYPE ANT DREJNINGS MOMENT ISO 63 Dobbelt klemme g...

Page 93: ...r i forbindelse med opvarmningsprocedurerne Den h je temperatur kan resultere i skade p personer FORSIGTIG Undg sammenst d vibrationer eller bratte bev gelser i forbindelse med brug af turbopumpen De...

Page 94: ...lade er under 50 C I tilf lde af skader p systemet kontaktes et Agilent reparationsv rksted eller Agilent advanced exchange service der udskifter systemet med et repareret system BEM RK Inden pumpen s...

Page 95: ...sidder p IKKE m bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres p en godkendt affaldsstation Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte lever...

Page 96: ...7 Istruktionsbog Bortskaffelse 96 228 Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E...

Page 97: ...ning S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar 98 Allm n information 99 F rvaring 100 F rberedelser f r installation 101 Installation 102 Anv ndning 104 Underh ll 105 Bortskaffning 106 vers ttni...

Page 98: ...hastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppst i systemet t ex p grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas kan det h nda att rotationsenergin frig...

Page 99: ...fasta partiklar Pumpningen stadkoms med hj lp av en h gvarvig turbin max 80000 varv minut som drivs av en trefas h geffektsmotor Inga tillsats mnen anv nds i Turbo V 81 M som d rf r passar f r till mp...

Page 100: ...20 C till 70 C Relativ fuktighet 0 till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pumparna n r de mottas och s tts i drift f r f rsta g ngen De turbomolekyl ra pumparna kan lagr...

Page 101: ...packmaterialet i soporna Materialet r tervinningsbart till 100 och uppfyller EU direktiv 85 399 om milj skydd OBSERVER Komponenter som skall uts ttas f r vakuum f r inte hanteras med bara h nder pga...

Page 102: ...vningsf rh llanden g ller vid drift maximitryck 2 bar ver atmosf riskt tryck temperatur fr n 5 C till 35 C se bild i Technical Information relativ luftfuktighet 0 95 utan kondens I n rvaro av magnetf...

Page 103: ...ell Agilent IC 63250 DCMZ I tabellen nedan beskrivs det antal byglar som erfordras och med vilket moment de ska dras t Tab 1 FL NS TYP AV KLAMMER ANT TDRAGNINGS MOMENT ISO 63 Dubbel klammer med g nga...

Page 104: ...pumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador Undvik sammanst tningar sv ngningar eller pl tsliga f rflyttningar av turbopumpen n r den r ig ng Lagren kan bli skadade Pu...

Page 105: ...ens yttemperatur r l gre n 50 C Om pumpen havererar kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice som kan ers tta systemet med ett renoverat system OBSERVERA Innan systemet l mnas...

Page 106: ...ionen indikerar att produkten p vilken symbolen har applicerats INTE f r skaffas bort tillsammans med vanliga hush lls eller industriavfall men att d remot ett differentierat uppsamlingssystem m ste u...

Page 107: ...ual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl re pumper 108 Generell informasjon 109 Lagring 110 Klargj re til installasjon 111 Installasjon 112 Bruk 114 Vedlikehold 115 Eliminering 116 Oversetting av de...

Page 108: ...iv som skyldes den h ye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel p grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd p...

Page 109: ...g av v sker eller faste partikler Pumpingen oppn s med en h yhastighetsturbin maks 80000 opm koplet til en trefaset elektrisk motor Turbo V 81 M har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for a...

Page 110: ...20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og startes opp f rste gang Lagringstiden for en turbomolekyl r pump...

Page 111: ...jen m ikke kastes p en ulovlig m te Alle materialer er 100 resirkulerbare og er i samsvar med EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse FORSIKTIG For unng avgassingsproblemer m ingen del som skal utsette...

Page 112: ...annfare Under bruk m f lgende forhold respekteres maksimalt trykk 2 bar over atmosf risk trykk temperatur fra 5 C til 35 C se diagram i tillegget Technical Information relativ fuktighet 0 95 uten kond...

Page 113: ...Z F lgende tabell viser det n dvendige antallet klemmer samt dreiningsmomentet for stramme dem Tab 1 FLENS TYPE KLEMME ANT STRAMME MOMENT ISO 63 Dobbel klemme gjenge M10 4 22 Nm Turbopumpen med ConFla...

Page 114: ...gsutstyret under oppvarmingen De h ye temperaturene kan f re til brannskader Unng st t svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen n r den er i funksjon Lagrene kan skades Bruk st v og par...

Page 115: ...om systemet stanser m du ta kontakt med Agilents reparasjonservice eller med Agilents avanserte bytteservice som kan tilby overhalte system til erstatning for det delagte systemet MERK F r systemet re...

Page 116: ...ymbolet som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap viser at produktet som det sitter p IKKE m behandles som vanlig hus industriavfall men m legges i kildesortering Derfor oppfordrer man...

Page 117: ...Manual 10 Ohjek sikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 118 Yleisi tietoja 119 Varastointi 120 Valmistelut asennusta varten 121 Asennus 122 K ytt 124 Huolto 125 H vitt minen 126 Alkuper isen ohjei...

Page 118: ...py rimisnopeudesta yhdistettyn pumppujen roottorien massaan J rjestelm n vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa py rimisenergia saattaa vapaut...

Page 119: ...hiukkasten pumppaamiseen Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella 80000 kierrosta min max py riv n turbiinin avulla jota k ytt korkeatehoinen kolmivaiheinen s hk moottori Turbo V 81 M j rjestelm s...

Page 120: ...p tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan pumpun ja k ytt ess n sit ensimm isen kerran Turbomo...

Page 121: ...it Pakkausta ei tule j tt ymp rist n Pakkausmateriaali voidaan kierr tt kokonaisuudessaan ja se vastaa EY direktiivi 85 399 ymp rist n suojelusta HUOMIO Jotta kaasun vuoto ongelmilta v ltytt isiin ei...

Page 122: ...seuraavia ymp rist koskevia ehtoja maksimipaine 2 baaria yli atmosf risen paineen l mp tila 5 C 35 C ks Technical Information liitteen kaaviota suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Mik li l sn on ma...

Page 123: ...puristimilla tyyppi Agilent IC 63250 DCMZ Seuraavassa taulukossa on lueteltu tarvittavien puristinten lukum r sek momentti johon puristimet kiristet n Tab 1 LAIPPA KIINNIKE M R KIRISTYS MOMENTTI ISO 6...

Page 124: ...iin l mmitt misen aikana Korkea l mp tila saattaa aiheuttaa henkil iden loukkaantumisia V lt kolhuja heiluntaa tai kkiliikkeit turbopumpun toiminnan aikana sill laakerit voivat vahingoittua K yt pumpu...

Page 125: ...ngoittuessa on mahdollista k ytt Agilentin korjauspalvelua tai Agilent advanced exchange service vaihtopalvelua jonka kautta saatte uudistetun pumpun vahingoittuneen tilalle HUOM Ennen pumpun l hett m...

Page 126: ...kaisesti Merkki koskee ainoastaan Euroopan Unionin j senmaita tarkoittaa ett tuotetta EI saa h vitt tavallisen kotitalous tai teollisuusj tteen mukana vaan se on toimitettava erilliseen ker yspisteese...

Page 127: ...1 Felhaszn l i K zik nyv Biztons gi tmutat Turb molekul ris szivatty khoz 128 ltal nos inform ic 129 T rol s 130 El k sz t s telep t sre 131 Telep t s 132 Haszn lat 135 Karbantart s 136 Megsemmis t s...

Page 128: ...kul ris szivatty k nagy mozg si energi val rendelkeznek nagy forg si sebess g k s a rotorok fajlagos t mege miatt A rendszer hib s m k d se p ld ul a rotor s az ll r sz rintkez se vagy a forg r sz sz...

Page 129: ...g zvegy let szivatty z s ra k pes legyen Nem alkalmas folyad kok vagy szil rd r szecsk k szivatty z s ra A szivatty z si m veletet egy nagyteljes tm ny 3 f zis elektromos motorral hajtott nagysebess g...

Page 130: ...tereket nem szabad t ll pni h m rs klettartom ny 20 C 70 C relat v p ratartalom 0 95 nem kondenz l A turbomolekul ris szivatty kat mindig l gyan kell ind tani amikor a felhaszn l tveszi s el sz r zem...

Page 131: ...hirtelen t s t vagy r zk d s t Ne rtalmatlan tsa a csomagol anyagokat nem megengedett m don Az anyag teljesen jrafeldolgozhat s megfelel az EEC 85 399 es direkt v nak G zkivon si probl m k elker l s r...

Page 132: ...tt k rnyezetben es h j g porban agressz v g zokban illetve robban vagy t zvesz lyes k rnyezetben zemeltet s k zben a k vetkez k rnyezeti felt teleket kell biztos tani maxim lis nyom s 2 bar a l gk ri...

Page 133: ...Controller 81AG 24 Vdc 969 8995 Navigator Controller 81AG 100 240 Vac 969 8996 A Turbo V 81 M b rmely helyzetben telep thet R gz tse a Turbo V 81 Mt stabil helyzetben a turb szivatty bemeneti karim j...

Page 134: ...rbo V 81 M nem r gz thet az alapj n kereszt l FIGYELEM A Turbo V 81 M a m sodik telep t si vagy t lfesz lts g kateg ri hoz tartozik az EN 61010 1 direkt va szerint Csatlakoztassa az eszk zt a fenti ka...

Page 135: ...umkamr hoz nem z rja azt le a lez r karima Ne rintse meg a turb szivatty t vagy annak tartoz kait a meleg t si folyamat k zben A magas h m rs klet g si s r l seket okozhat FIGYELEM Ker lje a szivatty...

Page 136: ...a rotor forg sa le ll s am g a szivatty fel let nek h m rs klete 50 C al esik Meghib sod s eset n l pjen kapcsolatba a helyi Agilent szervizk zponttal ahol tudnak adni egy helyre ll tott rendszert a h...

Page 137: ...rsz gaiban rv nyes azt jelzi hogy a term k melyen megtal lhat NEM ker lhet k z ns ges h ztart si vagy ipari hullad kkal egy tt megsemmis t sre hanem azt egy szelekt v hullad kgy jt rendszerbe kell tov...

Page 138: ...11 Felhaszn l i K zik nyv Megsemmis t s 138 228 Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E...

Page 139: ...8 12 Podrecznik Instrukcji Wskaz wki dotycz ce bezpiecze stwa dla Pomp Turbomolekularnych 140 Og lne Informacje 141 Magazynowanie 142 Przygotowanie do instalacji 144 Instalacja 145 U ytkowanie 148 Kon...

Page 140: ...ugi posiadaj wysok ilo energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysok pr dko ci obrotow razem z mas w a ciw wirnik w W przypadku uszkodzenia systemu na przyk ad z powodu kontaktu mi dzy wirnikiem a sto...

Page 141: ...ompy turbomolekularne przeznaczone s do wywo ywania wysokiej i ultra wysokiej pr ni s wstanie pompowa jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej nie korozyjnej Nie znajduj one zastosowania do pompowan...

Page 142: ...ia mo e doj do uszkodzenia aparatury PRZYPIS S to wa ne informacje wyci gni te z tekstu Magazynowanie W celu zagwarantowania najwy szego poziomu funkcjonalno ci i niezawodno ci pomp Turbomolekularnych...

Page 143: ...M User Manual 87 900 983 01 E 143 228 UWAGA Je eli z jakiegokolwiek powodu czas magazynowania jest d u szy nale y odes a pomp do fabryki W celu jakiejkolwiek informacji prosimy skontaktowa si z miejsc...

Page 144: ...V 81 M ani nie poddawa go uderzeniom lub wibracjom Nie porzuca opakowania w rodowisku Materia ten nadaje si ca kowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektyw UE 855 399 dotycz cej ochrony rodowiska Aby...

Page 145: ...chemiczne w rodowiskach wybuchowych lub z wysokim zagro eniem po aru Podczas dzia ania obowi zkowo nale y przestrzega nast puj ce warunki otoczenia maksymalne ci nienie 2 bary ponad ci nieniem atmosfe...

Page 146: ...wany w jakiejkolwiek pozycji Zamocowa Turbo V 81 M w stabilnej pozycji cz c ko nierz wej ciowy turbopompy do ko nierza sta ego wytrzyma ego na obci enie 250 Nm wok w asnej osi Na przyk ad ko nierz ISO...

Page 147: ...mo e by mocowany poprzez w asn podstaw UWAGA Turbo V 81 M nale y do drugiej kategorii instalacji lub nadnapi cia przewidzianej przez norm EN 61010 1 Dlatego te pod czy urz dzenie do linii zasilania kt...

Page 148: ...ony do komory lub nie jest zamkni ty z ko nierzem zamkni cia Nie dotyka turbopompy i jej ewentualnych akcesori w podczas operacji nagrzewania Wysoka temperatura mo e spowodowa uszkodzenia cia a na oso...

Page 149: ...e poni ej 50 C W przypadku usterki mo liwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego Agilent lub Agilent advanced exchange service kt ry pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu w zast pstwie uszkod...

Page 150: ...omocny tylko w krajach Unii Europejskiej oznacza ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miej...

Page 151: ...anual 151 228 13 N vod k Pou it Bezpe nostn n vod pro Turbomolekul rn v v vy 152 V eobecn informace 153 Uskladn n 154 P prava k instalaci 155 Instalace 156 Pou it 158 dr ba 159 Likvidace 160 P eklad o...

Page 152: ...opisov ny v n sleduj c m n vodu obsahuj velk mno stv kinetick energie d ky vysok ot iv rychlosti v kombinaci s konkr tn m objemem jejich rotor V p pad syst mov nefunk nosti nap kontaktu rotoru anebo s...

Page 153: ...jak koli typ nekoroz vn ho plynu nebo slou eniny plyn Nehod se pro erp n tekutin nebo pevn ch stic erp n zaji uje velmi rychl turb na max 80000 ot min poh n n vysoce v konn m trojf zov m elektromotore...

Page 154: ...n v v v byste nem li p ekra ovat n sleduj c technick podm nky prost ed Teplotn rozp t 20 C a 70 C Rozp t vlhkosti 0 a 95 bez sr en turbomolekul rn v v vy mus u ivatel po dod vce a poprv v dycky spou...

Page 155: ...n razy ot esy nebo vibracemi Balic materi l nelikvidujte nedovolen m zp sobem Tento materi l lze 100 recyklovat a spl uje po adavky sm rnice EEC 85 399 Aby se zamezilo probl m m s odply ov n m nepou v...

Page 156: ...po ru Za provozu je t eba dodr ovat n sleduj c podm nky dan prost ed m maxim ln tlak 2 bary nad atmosf rick m tlakem teplota od 5 C do 35 C viz diagram tlak teplota v p loze Technical Information rela...

Page 157: ...osy Nap p rubu ISO 63 lze p ipevnit p chytkami z vysoce pevn oceli jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Agilent N sleduj c tabulka uv d nezbytn po et p chytek a p slu n utahovac moment Tab 1 P RUBA P CHYT...

Page 158: ...u zav rac p rubu B hem zah v n se turbomolekul rn v v vy ani jej ho p slu enstv nedot kejte Vysok teplota m e zp sobit pop leniny POZOR B hem chodu chra te v v vu p ed n razy vibracemi a prudk mi pohy...

Page 159: ...kejte dokud povrchov teplota v v vy neklesne pod 50 C V p pad poruchy kontaktujte m stn servisn st edisko firmy Agilent kter m e dodat n hradn repasovan za zen v m nou za porouchan POZN MKA P ed odesl...

Page 160: ...ur uje e v robek kter je takto ozna en NESM b t likvidov n spole n s ostatn mi dom c mi nebo pr myslov mi odpady ale je nutno ho p edat do pat i n ch provozn ch sb ren kde mus b t t d n a likvidov n o...

Page 161: ...l 87 900 983 01 E 161 228 14 N vod na Obsluhu Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne v vevy 162 V eobecn inform cie 163 Uchov vanie 164 Pr prava na in tal ciu 166 In tal cia 167 Pou itie 169 dr ba 171...

Page 162: ...cej pr ru ke sa vyzna uj vysokou kinetickou energiou a to v aka vysokej r chlosti ot ania v kombin cii so pecifickou hmotnos ou svojich rotorov V pr pade syst movej poruchy napr pri kontakte rotora a...

Page 163: ...ko vek postupom ktor je v rozpore so pecifick mi tandardmi danej krajiny erpadl s rie Turbo V 81 M s turbomolekul rnymi erpadlami na vytvorenie vysok ho a ultravysok ho v kua ktor s schopn od erpa ubo...

Page 164: ...odenie zariadenia POZN MKA Pozn mky upozor uj na d le it inform cie z textu Uchov vanie Ak chcete aby turbomolekul rne v vevy zna ky Agilent pod vali maxim lny a spo ahliv v kon dodr iavajte nasleduj...

Page 165: ...M User Manual 87 900 983 01 E 165 228 POZOR Ak z ak hoko vek d vodu vypr as skladovate nosti zariadenia vr te v vevu do z vodu v ktorom bola vyroben Inform cie z skate u miestneho zast penia spolo nos...

Page 166: ...ie nespadlo nebolo vystaven n razu alebo prudk mu otrasu alebo vibr ci m Obalov materi l zlikvidujte predp san m sp sobom Materi l je 100 recyklovate n a sp a po iadavky smernice EEC 85 399 Ak chcete...

Page 167: ...ne plyny ani vo v bu n ch prostrediach alebo tam kde existuje vysok riziko po iaru Po as innosti zariadenia je potrebn zabezpe i tieto vlastnosti prostredia maxim lny pretlak 2 bary nad rov ou atmosf...

Page 168: ...ac 969 8996 Zariadenie Turbo V 81 M m e by nain talovan v ubovo nej polohe Upevnite Turbo V 81 M do stabilnej polohy pripojen m vstupnej pr ruby turbov vevy k pevnej pr rube upevnenej tak aby vydr ala...

Page 169: ...M sa nem e upevni pomocou vlastnej z kladne POZOR Zariadenie Turbo V 81 M patr do druhej in tala nej prep ovej kateg rie pod a smernice EN 61010 1 Zariadenie je potrebn pripoji ku zdroju nap jania kt...

Page 170: ...e zablendovan V priebehu zahrievania sa nikdy nedot kajte turbov vevy ani iadneho pr slu enstva Vysok teploty m u sp sobi pop leniny POZOR Dbajte na to aby v veva po as innosti nebola vystaven n razom...

Page 171: ...m sa rotor neprestane ot a a k m teplota povrchu v vevy neklesne pod 50 C V pr pade poruchy zariadenia vyh adajte kontaktn stredisko spolo nosti Agilent kde v m pokazen syst m vymenia POZN MKA Sk r ne...

Page 172: ...e smernicu E s n zvom WEEE Tento symbol platn iba pre t ty Eur pskej nie znamen e v robok s t mto t tkom NESMIE by odstr nen spolu s be n m dom cim alebo priemyseln m odpadom ale sa mus odstr ni ako d...

Page 173: ...8 15 Priro nik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke 174 Splo ne informacije 175 Shranjevanje 176 Priprava za monta o 177 Monta a 178 Uporaba 179 Vzdr evanje 181 Odlaganje opadkov...

Page 174: ...lednjih navodilih vsebujejo veliko koli ino kineti ne energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifi nimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja st...

Page 175: ...nekorozivnih plinskih zmesi Ni primeren za rpanje teko ine ali trdnih delcev rpanje se izvaja preko hitre turbine maks 80000 rpm ki jo vodi visoko u inkovit 3 fazni elektri ni motor Turbo V 81 M ne v...

Page 176: ...e smete prese i naslednjih specifikacij temperaturno obmo je 20 C do 70 C obmo je relativne vla nosti 0 do 95 brez kondenza Turbomolekularne rpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko ivljen...

Page 177: ...zavrzite v skladu s pravili Material je mo no v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85 399 Komponent ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami saj boste tako prepre i...

Page 178: ...nost po ara Tekom delovanja je treba spo otvati naslednje pogoje Maksimalen pritisk 2 bara nad pritiskom atmosfere Temperatura od 5 C do 35 C glej diagram pritisk temperatura v prilogi Technical Infor...

Page 179: ...obnico lahko na primer pritrdite s pomo jo jeklenih dr al kot pri Agilent modelu IC 63250 DCMZ Naslednja tabela prikazuje tevilo potrebnih pritrjeval ter potreben navor za pritrjevanje Tab 1 PRIROBNIC...

Page 180: ...riklju ena na vakuumsko le i e Tekom segrevanja se turbo rpalke ali njenih delov ne dotikajte Visoka temperatura lahko povzro i opekline POZOR Izogibajte se udarcem oscilacijam ali nenadnim premikom r...

Page 181: ...rugo enoto morate izpolniti Health and Safety obrazec ki je prilo en navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni Pred po iljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embala o sistema OPOMBA Sistem j...

Page 182: ...15 Priro nik za Navodila Odlaganje opadkov 182 228 Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E...

Page 183: ...183 228 16 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 184 General Information 185 Storage 186 Preparation for installation 187 Installation 188 Use 189 Maintenance 191 Disposal 19...

Page 184: ...contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact...

Page 185: ...is not suitable for pumping liquids or solid particles The pumping action is obtained through a high speed turbine max 80000 rpm driven by a high performance 3 phase electric motor The Turbo V 81 M is...

Page 186: ...l specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated fo...

Page 187: ...act or shock vibration to it Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 recyclable and complies with EEC Directive 85 399 In order to prevent outgassing prob...

Page 188: ...ring operation the following environmental conditions must be respected maximum pressure 2 bar above atmospheric pressure temperature from 5 C to 35 C see the diagram pres sure temperature in the appe...

Page 189: ...For example the ISO 63 flange can be fixed using high strength steel clamps as Agilent model IC 63250 DCMZ The following table shows the necessary number of clamps and the relevant fixing torque Tab...

Page 190: ...not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high temperatures may cause burns CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump when in operation...

Page 191: ...ng and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 C In the case of breakdown contact your local Agilent service center who can supply a reconditioned system to replace that broken d...

Page 192: ...mbol valid only in countries of the European Community indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differ...

Page 193: ...on 207 Water Cooling Kit Installation 209 Vent Accessories 212 Vibration Isolator Installation 213 Typical Layout Diagram 214 With Navigator Controller 214 With Standard Rack Controller 215 Connection...

Page 194: ...uum flange Model 969 8902 with KF 40 NW high vacuum flange Model 969 8903 with ConFlat 4 5 external diameter high vacuum flange Model 969 8904 with ConFlat 2 75 external diameter high vacuum flange Pu...

Page 195: ...Technical Information 17 Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E 195 228 Figure 4 Model 969 8902 Figure 5 Model 969 8903 Figure 6 Model 969 8904...

Page 196: ...crotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs These are made of aluminium alloy During normal oper...

Page 197: ...Technical Information 17 Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E 197 228 Figure 7 PUMP FOREPUMP CONNECTOR CONTROLLER CONNECTOR...

Page 198: ...5 O D CFF 2 75 O D Foreline flange KF16 NW Rotational speed 1350 Hz max Start up time 60 seconds Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional Recommended forepump mechanic...

Page 199: ...ion Installation category II Pollution degree 2 Storage temperature 20 C to 70 C Weight kg lbs ISO 63 1 99 4 39 KF 40 1 96 4 32 CFF 4 5 2 96 6 53 CFF 2 75 2 77 6 11 According to standard DIN 28 428 th...

Page 200: ...Information Turbo V 81 M Outline 200 228 Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E Turbo V 81 M Outline The following figure shows the Turbo V 81 M outlines dimensions are in inches mm Figure 8 Turbo V...

Page 201: ...cal Information 17 Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E 201 228 Figure 9 Graph of pumping speed vs inlet pressure with a 8 m3 h mechanical pump Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pre...

Page 202: ...Installation Figure 11 Figure 12 The inlet screens mod 969 9300 and 969 9309 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0 7 mm diameter The inlet screen however does redu...

Page 203: ...Technical Information 17 Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E 203 228 Figure 13 The screen can be mounted on each pump The screen can be removed as shown in the following figure Figure 14...

Page 204: ...nstallation 204 228 Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange...

Page 205: ...969 9802 can be used to heat the pump casing when a bakeout is needed The heater band is applied to the upper part of the pump casing as shown in the figure and heats it to a temperature of about 80...

Page 206: ...l be automatically cut out by the thermistor sensor NOTE The turbopump must be baked only when operating with an inlet pressure less than 10 4 mbar and with water cooling CAUTION If the chamber of the...

Page 207: ...8 Fan specifications air flow 12 8 l s 27 1 CFM input voltage 24 Vdc dimensions 60 x 60 x 25 mm power 2 60 W The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump and in different posi...

Page 208: ...17 Technical Information Air cooling kit installation 208 228 Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E Figure 19 Figure 20 Figure 21...

Page 209: ...cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient The two model part numbers are 969 9823 metallic model and 969 9824 plas...

Page 210: ...t Installation 210 228 Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm The water kit is as...

Page 211: ...n Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or using a closed circuit cooling system The water temperature must be between 15 C and 35 C with an in...

Page 212: ...as to be driven by its own control unit NOTE Refer to the Vent Valve Model Selection table to choose the valve and the related control unit Refer to the control unit manual for the pump valve controll...

Page 213: ...connector on the controller Vibration Isolator Installation Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories The two model part numbers are the following...

Page 214: ...ontroller 2 Vent valve 3 Vacuum pump shut off valve optional 4 System vent valve optional 5 Vacuum chamber 6 Ionization gauge 7 Fore vacuum pump connecting flange 8 Oil mist eliminator 9 Fore vacuum p...

Page 215: ...valve 3 Vacuum pump shut off valve optional 4 System vent valve optional 5 Vacuum chamber 6 Ionization gauge 7 Fore vacuum pump connecting flange 8 Oil mist eliminator 9 Fore vacuum pump with interna...

Page 216: ...igh Vacuum Flange To connect the Turbo V 81 M pump to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure Figure 30 Then fix the two flanges with the clam...

Page 217: ...to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Attach the units and tighten each one in turn Repeat the sequential tightening until the flange faces meet Exercise car...

Page 218: ...r oil vapors When using a mechanical oil sealed pump it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil backstreaming NOTE Connection C E...

Page 219: ...ly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool This effect is strongly dependant from the intensity time function and distribution of the magnetic fie...

Page 220: ...Air cooling kit extension cable 5 m 969 9940 Pump extension cable 969 9942 Vibration damper DN 63 969 9375 Vibration damper CFF 4 5 969 9376 Mechanical pump DS 102 949 9315 Mechanical pump DS 42 949...

Page 221: ...ve model selection table CONTROL UNIT MODEL VENT VALVE PART NUMBER Turbo V 81 AG Navigator Controller cable 0 7 m any version N O 969 9844 Turbo V 81 AG Rack Controller cable 0 7 m any version N O 969...

Page 222: ...17 Technical Information Vent valve model Selection table 222 228 Turbo V 81 M User Manual 87 900 983 01 E...

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Page 228: ...6 Mead Road Oxford Industrial Park Yarnton Oxford OX5 1QU UK Tel 44 0 1865 291570 Fax 44 0 1865 291571 Toll free 00 800 234 234 00 China Agilent Technologies China Co Ltd Vacuum Products Division No 3...

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