Yamato DP23C, Руководство пользователя

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DPC
temperature /Pressure falling curve
0
100
0.1
1
10
0.01
(kPa
)
Pump exhaust 50L/min
Pump exhaust 260L/min
(kPa)
0.01
10
1
0.1
100
0
0.1
1000
5 10 15
DP43C/63Cpressure falling
characteristics
time（min）
V
a
ccum Degree
(
TOrr
)
1
10
100
DP63C
DP43C
0 5 10 15
DP23C/33C temperature falling
characteristics
（
center of furnace
）
[Vaccum state 1Torr (0.1kPa)以下]
time
（
hour
）
temp
（
）
100
200
240
DP33C
DP23C
DP43C
DP63C
150
100
50
temp
（
）
time
（
hour
）
[Vaccum state 1Torr (0.1kPa)以下]
15 10 5 0
200
DP23C
DP33C
100
10
1
time（min
）
DP23C/33C pressure falling
characteristics
15 10 5
1000
0.1
DP43C/63C temperature falling
characteristics
（
center of furnace
）
V
a
ccum Degree
(
TOrr
)