Varian SH-110, Инструкция по эксплуатации

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SH-110 Dry Scroll Vacuum Pump
DRAF
T 3/22/07
はじめに
一般情報
本装置は、専門家による使用を想定して設計されていま
す。
ユーザーは装置を使用する前に、本取扱説明書、お
よび
Varian Technologies
が提供するその他の情報を読
んでください。 これらの説明書の指示を守らなかった
場合や未熟練者による誤用、装置に対する未認可の干
渉、または該当する国内基準に反する行動によって発生
した事態に対し責任を負いません。
SH-110
は密封式ドライ スクロール真空ポンプです。 こ
のポンプは、エアまたは不活性ガスのポンピングに適し
ています。
ポンプは、有害ガス、腐食性ガス、爆発性ガ
ス、または粒子生成ガスには適していません。
下記には装置を使用するオペレータの安全を保障する
ための情報が記載されています。
詳細情報は、
15
ページ
の
“Technical Information”
に記載されています。
本マニュアルは、以下の標準安全規約を採用していま
す。
保管
ポンプを輸送および保管する際は、以下の環境条件を
守ってください。
取付け準備
ポンプは特別な保護梱包材に入れられて供給されます。
梱包材にキズや破れがある場合、輸送中に損傷したもの
と思われますので、最寄の営業所にお問い合わせくださ
い。
SH-110
ポンプを含む荷物の総重量は約
20 kg
です。
警告
警告文は、正しく守らなければ深刻な
ケガにつながる特定の手順や業務につ
いて、オペレーターに注意を促すため
のものです。
注意
注意文は、守らなければ装置への損傷
につながるような手順の前に記載され
ています。
注記
注記は、文章から選択された重要な情
報を含んでいます。
温度
:
−
20
°
C ~ +60
°
C (
−
4
°
F ~ 140
°
F)
相対湿度
: 0 ~ 95% (
結露なきこと
)
警告
ポンプを開梱する際に落としたり、衝
撃や振動を与えないようにしてくださ
い。
注記
通常の環境下ではポンプは損傷するこ
とはありません。
ただし、ポンプをシ
ステムに設置するまでポンプの吸気口
は閉じておくことをお勧めします。