Varian 969-8217 Скачать руководство пользователя страница 68 | Manualshive

Страница: 68 / 82

Varian 969-8217 Скачать руководство пользователя страница 68

TECHNICAL INFORMATION

63/74

87-901-010-01

Vent Valve Diagram in “Auto” mode

Gauge Connector

TPS-compact is equipped with new generation
gauge reading card able to drive/read a Varian
“EyeSys Mini-IMG” gauge or a Varian Full Range
Gauge FRG-700.

The EyeSys Mini-IMG is a vacuum measurement
instrument based on the inverted magnetron ion
gauge design (see orderable parts table).

The gauge pressure operation range goes from
6.6x10

-3

mbar [5x10

-3

Torr] to 6.6x10

-9

mbar

[5x10

-9

Torr] and its operation temperature range

goes from 0°C to 50°C [32°-122°F].

The FRG-700 Full Range Gauge is a combined
technologies gauge (Inverted Magnetron plus Pi-
rani Gauge).

FRG-700 measure from 5x10

-9

mbar to atmos-

phere (3.8x10

-9

Torr to atmosphere) and its tem-

perature range goes from 5°C to 55°C [41°-131°F].

Pressure data is available on three independent
reading channels:

1. On-board display (data expressed in mbar,

Torr or Pa) – (see Pressure Display Module
picture)

2.

Serial communication line (Win 224)

3. Analogical

output.

Pressure gauge can be connected/disconnected
from the TPS-compact during normal operation.

Gauge Connector

NOTE

The Mini-IMG gauge is intended for high vacuum
use, so with pressure above 50 mTorr the signal is
misinterpreted and a “false” pressure is displayed.
Use a transition gauge to understand if the reading
is really under 50 mTorr or not.

Pressure Display Module

x10

PRESSURE

Pa

mBar
Torr

Pressure display module

«
...
66
67
68
69
70
...
»

Содержание 969-8217

Страница 1: ...ANUAL DE INSTRUCCIONES P MANUAL DE INSTRUÇÕES NL BEDRIJFSHANDLEIDING DK INSTRUKSTIONSBOG S BRUKSANVISNING N INSTRUKSJON MANUAL FIN OHJEKÄSIKIRJA GR ODHGIES CRHSEWS H FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PL PODRECZNIK INSTRUKCJI CZ NÁVOD K POUŽITÍ SK NÁVOD NA OBSLUHU SLO PRIROČNIK ZA NAVODILA GB INSTRUCTION MANUAL NOTICE This document contains references to Varian Please note that Varian Inc is now part of Agile...

Страница 2: ...TPS compact ...

Страница 3: ......

Страница 4: ......

Страница 5: ...scription 56 Controller Description 56 Control Panel Description 56 Scroll Pump Description 57 TECHNICAL SPECIFICATION 57 TPS COMPACT OUTLINE 58 INLET SCREEN INSTALLATION 60 HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION 61 HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS 61 INTERCONNECTIONS 62 Input power connector 62 P3 Vent 62 Gauge Connector 63 Pressure Display Module 63 J5 IN OUT 64 Signal description 64 J6 Seria...

Страница 6: ...alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore l energia di rotazione potrebbe essere rilasciata PERICOLO Per evitare danni all apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel...

Страница 7: ...70 C umidità relativa da 0 a 95 non condensante il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione ATTENZIONE Se per qualsiasi ragione il tempo di immagazzinamento è superiore occorre reinviare il sistema di pompaggio in fab...

Страница 8: ...à Soft Start far riferimento al paragrafo Signal Description nel capitolo Technical Information Il LED blu STATUS posto sul pannello posteriore della base del TPS compact indica con la frequenza del suo lampeggio le condizioni operative del sistema acceso fisso la pompa è in rotazione normale lampeggiante lentamente periodo di circa 400 ms il sistema è in stato di rampa o di frenata o di Stop o di...

Страница 9: ...ndung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden GEFAHR Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen I...

Страница 10: ...olgenden Grenzwerte nicht überschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feuchtigkeit von 0 bis 95 nicht kondensie rend Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft Start in gangzusetzen Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate ab dem Speditionsdatum ACHTUNG Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen d...

Страница 11: ...ähigen Gasen verwendet werden Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS compact Zur Einschaltung des TPS compact ist der Netzstecker anzu schließen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu stellen Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das An liegen der Spannung und startet die Pumpe Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart Soft Start über den Controller eingestellt werd...

Страница 12: ...ebracht Dieses Symbol nur in den EU Ländern gültig zeigt an dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts d h die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer kontak tieren um den Entsorgungsprozess zu starten nachdem er die Verkaufsbedingungen gep...

Страница 13: ...grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors En cas de panne du système par exemple à cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupture du rotor l énergie de rotation pourrait être libérée DANGER Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs il faut suivre attentivement les instructions d installation décrites dans ce manuel...

Страница 14: ...e 20 C à 70 C humidité relative de 0 à 95 non condensante A la première utilisation les pompes turbomoléculaires doivent toujours être mises en marche en mode soft Start Le temps de stockage d une pompe turbomoléculaire est de 10 mois à compter de la date d expédition ATTENTION En cas de dépassement du temps de stockage le système de pompage doit être retournée en usine Pour tout renseignement con...

Страница 15: ... de la modalité Soft Start se référer au paragraphe SIGNAL DESCRIPTION dans le chapitre Technical Information La LED bleu STATUS placée sur le panneau arrière de la base du TPS compact indique par sa fréquence de clignotement les conditions opérationnelles du système allumée fixe la pompe est en rotation normale clignote lentement période d environ 400 ms le système est en état de rampe de freinag...

Страница 16: ...debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores En el caso de un daño del sistema por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor la energía de rotación podría ser liberada PELIGRO Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descrita...

Страница 17: ...condensante el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente ATENCIÓN En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de almacenamiento será necesario devolver ...

Страница 18: ...áticamente la presencia de la alimentación y pone en marcha la bomba Al efectuar el primer encendido conviene adoptar la modalidad Soft Start activándola en el controller mientras que para las sucesivas activaciones se aconseja inhabilitar dicha modalidad Soft Start Para el procedimiento de activación de la modalidad Soft Start consultar el punto Signal Description del capítulo Technical Informati...

Страница 19: ...bre el cual ha sido aplicado NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales y que por el contrario deberá ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada Por lo tanto se invita al usuario final a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo tanto si éste es la casa fabricante o un distribuidor para poder proveer a la recogida y eliminació...

Страница 20: ...gia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor a energia de rotação pode ser liberada PERIGO Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual ...

Страница 21: ... condensante ao accionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve activá las sempre em modalidade Soft Start o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição ATENÇÃO Se por uma razão qualquer o período de armazenagem for superior será necessário enviar o sistema de bombeamento para o fabricante Para mais informações contactar ...

Страница 22: ... o parágrafo Signal Description no capítulo Technical Information A luz piloto azul STATUS posicionada no painel traseiro da base do TPS compact indica através da frequência de intermitência as condições operacionais do sistema acesa fixa a bomba funciona normalmente intermitência lenta período de aprox 400 ms o sistema está em estado de aceleração ou de paragem ou de Stop ou de waiting for interl...

Страница 23: ...he energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt kan de rotatie energie vrijkomen GEVAAR Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen moeten de installatie instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd...

Страница 24: ...moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum ATTENTIE Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is moet het pompsysteem weer naar de fabriek worden gestuurd Voor meer informatie wordt verzocht contact op...

Страница 25: ... externe schakelaar in de stand ON te zetten De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van stroom en start de pomp Bij de eerste inschakeling wordt aangeraden om de Soft Start modaliteit te gebruiken door deze op de controller te activeren Voor de volgende inschakelingen wordt aangeraden om de Soft Start modaliteit te inactiveren Voor het activeren van de Soft Start procedure zi...

Страница 26: ... aan dat het product waarop het is aangebracht NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval maar gescheiden moet worden ingezameld De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de leverancier van het apparaat zij het de fabrikant of een wederverkoper om het proces van gescheiden inzameling en verwerking in gang te zetten na de van toepassing zijnde termen...

Страница 27: ... høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator eller fordi rotoren går i stykker kan omdrejningsenergien spredes ADVARSEL For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning ...

Страница 28: ... opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af Soft Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for første gang De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen VIGTIGT Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere er det nødvendig...

Страница 29: ...ølgende starter Hvad angår fremgangsmåden til tilkobling af Soft Start henvises der til afsnittet Signal Description i kapitlet Technical Information Den blu STATUS LED der er anbragt på bagpanelet på TPS compact s fundament angiver systemets funktion ved blink konstant tændt pumpen er i normal rotation langsomme blink periode på ca 400 ms systemet er i stilling for acceleration bremsning stop ell...

Страница 30: ...otationshastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppstå i systemet t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas kan det hända att rotationsenergin frigörs VARNING För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga ...

Страница 31: ...espekteras Temperaturområde 20 C till 70 C Relativ fuktighet 0 till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet VIKTIGT Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpsystemet skickas tillbaka till fabriken Var god och kontakta den lokala ...

Страница 32: ...itlet Technical Information Den blå lysdioden STATUS på underdelens bakpanel på TPS compact anger genom frekvensen av dess blinkningar hur systemet fungerar fast sken pumpen roterar normalt långsamt blinkande ungefär var 400 ms systemet är i läge för acceleration bromsning Stop eller Waiting for interlock hastigt blinkande ungefär 200 ms feltillstånd Se bilagan Technical Information för en detalje...

Страница 33: ...ginivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren kan roteringsenergien bli frigitt ADVARSEL For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye ...

Страница 34: ... fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden må alltid soft starte de turbomolekylære pumpene når de mottas og startes opp første gang Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato FORSIKTIG Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpesystemet returneres til fabrikken Vennligst kontakt den lokale Varian forhandleren for i...

Страница 35: ...elet Technical Information under paragrafen Signal Description Det blå lysemitterende dioden STATUS som befinner seg på det bakre panelet til TPS compacts base angir ved hjelp av frekvensen på blinkingen den operative situasjonen til systemet den lyser fast pumpen roterer normalt den blinker langsomt ca hver 400 ms systemet er i stilling for akselerasjon bremsing stopp eller Waiting for interlock ...

Страница 36: ...iheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan Järjestelmän vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa pyörimisenergia saattaa vapautua VAARA Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi ...

Страница 37: ...steus 0 95 ei tiivistävä Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä HUOMIO Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi pumppausjärjestelmä tulee palauttaa tehtaalle Pyydä lisätietoja paikalliselta Varian edustajalta VALMISTELU...

Страница 38: ...eksi viitataan kohtaan Signal Description kappaleessa Technical Information TPS compact perustan takapaneeliin sijoitettu sininen STATUS led ilmoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet palaa jatkuvasti pumppu pyörii normaalisti vilkkuu hitaasti noin 400 ms n jakso systeemi on kiihdytys jarrutus pysäytys tai Waiting for interlock tilassa vilkkuu nopeasti noin 200 ms n jakso virh...

Страница 39: ...περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήµατος για παράδειγµα επαφής ρότορα επαγωγέα ή ακόµη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα η ενέργεια περιστροφής µπορεί να ελευθερωθεί KINDUNOS Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισµού και για την πρόληψη τραυµατισµών του προσωπικού οι οδηγίες εγκατάστασης όπως δίνονται στο παρ...

Страница 40: ...Òpo Soft Start Òtan paralamb nontai kai q tontai se leitourg a gia prèth for o crÒnoj apoqˇkeushj m aj strobilomoriakˇj antl aj e nai 10 mˇnej apÒ thn hmeromhn a apostolˇj PROSOCH E n gia opoiodˇpote lÒgo o crÒnoj apoqˇkeushj e nai megalÚteroj crei zetai na epistr yete το σύστηµα άντλησης sto ergost sio Gia k qe plhrofor a parakaloÚme na epikoinwnˇsete me thn topikˇ antiproswpe a thj Varian PROETO...

Страница 41: ...ήµατος στο κεφάλαιο Τechnical Information Το µπλε led STATUS που βρίσκεται στο πίσω πάνελ της βάσης του TPS compact δείχνει µε συχνότητα αναλαµπών τη λειτουργική κατάσταση του συστήµατος staqer anam no h antl a e nai se kanonikˇ peristrofˇ anabosbˇnei arg per odoj per pou 400 ms To sÚsthma e nai se kat stash an bashj ˇ epibr dunshj ˇ stop ˇ Waiting for interlock anabosbˇnei grˇgora per odoj per po...

Страница 42: ...ával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt A rendszer hibás működése például a rotor állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése esetén a forgási energia felszabadulhat VIGYÁZAT A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani ...

Страница 43: ...páratartalom 0 95 nem kondenzáló A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap a szállítás dátumától FIGYELEM Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik a szivattyúzó rendszert vissza kell vinni a gyárba Kérem információért forduljon a helyi Varian vákuumkereskedelmi ...

Страница 44: ...leírás bekezdés a Technical Information fejezetben A kék STATUS kijelző a villogás sűrűségével jelzi a rendszer működési állapotát nem villogásnál a szivattyú rendesen forog lassan villog kb 400 ms periódus a rendszer emelkedőben fékezésben állás vagy kapcsolatra vár állapotban van gyorsan villog kb 200 ms periódus hibafeltétel A TPS compact vezérlőpanel részletes leírásáért lásd Technical Informa...

Страница 45: ... bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników W przypadku uszkodzenia systemu na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika energia obrotowa może być zwolniona NIEBEZPIECZEŃSTWO Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji opisane w niniejszej i...

Страница 46: ... magazynowania pomp nie mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe temperatura od 20 C do 70 C względna wilgoć od 0 do 95 bez opar klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych musi je zawsze uruchomić w sposób Soft Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki UWAGA Jeżeli z jakiegokolwiek powodu czas magazynow...

Страница 47: ...PS compact wystarczy dostarczyć napięcie zasilania i ustawić wyłącznik zewnętrzny w pozycji On Wbudowany sterownik tzw kontroler automatycznie rozpozna obecność zasilania i uruchomi pompę Przy pierwszym uruchomieniu należy zastosować tryb Soft Start uruchamiając go na kontrolerze dla dalszych uruchomień zaleca się wyłączenie trybu Soft Start Dla procedury uruchomienia trybu Soft Start należy zapoz...

Страница 48: ...ii Europejskiej oznacza ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia...

Страница 49: ...hují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů V případě systémové nefukčnosti např kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie VÝSTRAHA Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy ...

Страница 50: ...olekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé vždycky spouštět pozvolně skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne doručení VAROVÁNÍ Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty čerpací systém musíte vrátit výrobci Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian PŘÍPRAVA K INSTALACI Vývěva Mini Task se dodává ve speciálním oc...

Страница 51: ...nelu základny modelu TPS compact ukazuje prostřednictvím rychlosti svého blikání operační stav systému bez blikání vývěva se otáčí normálně pomalé blikání interval cca 400 ms systém se pozvolna rozbíhá nebo brzdí nebo stojí nebo je ve stavu čekání na blokování rychlé blikání interval cca 200 ms poruchový stav Viz podrobný popis ovládacího panelu vývěvy TPS compact v příloze Technical Information V...

Страница 52: ...ĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov V prípade systémovej poruchy napr pri kontaktu rotora statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia VAROVANIE Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy ...

Страница 53: ...nej vlhkosti 0 až 95 bez kondenzácie zákazník musí pri prvom spustení turbomolekulárnej vývevy vždy postupovať pomaly a postupne skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo dňa dodania UPOZORNENIE Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia vráťte čerpací systém do závodu v ktorom bola vyrobená Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian pre pred...

Страница 54: ...nájdete v odstavci Popis signálu v kapitole Technical Information Modrá LED STATUS umiestnená na zadnom paneli zariadenia TPS compact signalizuje frekvenciou blikania operatívne podmienky v ktorých sa nachádza systém žiadne blikanie výveva normálne rotuje pomalé blikanie interval asi 400 ms systém je v niektorom z týchto stavov stúpanie klesanie brzdenie Stop alebo v režime Čakanie na spojenie rýc...

Страница 55: ...ino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija OPOZORILO Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika ...

Страница 56: ...ez kondenza Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja POZOR Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo je treba črpalni sistem vrniti v tovarno Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Varian Vacuum PRIPRAVA ZA MONTAŽO TPS compact je do...

Страница 57: ...ina Soft Start glej odstavek Opis signalov v poglavju Technical Information Plava lučka STATUS ki se nahaja na zadnji plošči TPS compact kaže preko frekvence lastnega utripa operativne pogoje sistema Brez utripanja Črpalka je normalno vrti Počasno utripanje perioda približno 400 ms Sistem je v stanju ramp breaking stop ali v stanju Waiting for interloc Hitro utripanje perioda približno 200 ms Napa...

Страница 58: ...ergy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released WARNING To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed ...

Страница 59: ...the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated for the first time by the customer the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded the pumping system has to be returned to the factory Please contact the local Varian Vacuum Sales and Service representative for informations PREPARATI...

Страница 60: ... flashing frequency the system operating conditions with no flashing the pump is normally rotating slowly flashing period of about 400 ms the system is in ramp or in braking or in Stop or in Waiting for interlock status fast flashing period of about 200 ms error condition See the appendix Technical Information for a detailed description of the TPS compact control panel TPS compact Switching off To...

Страница 61: ...ic blades of the stator are fabricated in stainless steel These are supported and accu rately positioned by spacer rings The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs These are fabricated in aluminium al loy During normal operation the motor functions with a power feed at 54 Vac three phase ...

Страница 62: ...B A at 1 meter Lubricant permanent lubrication Power supply Line type Input voltage Input frequency Max input power 115 or 200 240 Vac 50 or 50 60 Hz 310 VA 115 or 200 240 Vac 50 or 50 60 Hz 260 VA Protection fuse 115 Vac 4 A 220 Vac 2 5 A 115 Vac 5 A 220 Vac 3 A Compliance with UNI EN 292 1 UNI EN 292 2 EN 55011 Class A Group 1 EN 61000 3 2 EN 61000 3 3 EN 61000 4 2 EN 61000 4 3 EN 61000 4 4 EN 6...

Страница 63: ...lowing figure shows the TPS compact outline Dimensions are in mm PRESSURE x10 Pa mBar Torr Pa mBar Torr PRESSURE x10 TPS compact equipped with TV301 0 50 100 150 200 250 0 0001 0 001 0 01 0 1 Inlet Pressure mbar Pumping speed l s Graph of pumping speed vs inlet pressure ...

Страница 64: ...essure mbar Pumping speed l s Graph of pumping speed vs inlet pressure TPS compact TV301 TV81M 14lt Pump Down 1 E 06 1 E 05 1 E 04 1 E 03 1 E 02 1 E 01 1 E 00 1 E 01 1 E 02 1 E 03 0 60 120 180 240 300 360 420 480 540 600 660 720 780 Time sec Pressure mbar TV301 TV81M Graph of pressure vs time with a pump down volume of 1 litre ...

Страница 65: ...nlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on each pump The screen can be removed as shown in the fol lowing figure The following figure shows the overall flange di mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange dimensions are in inches mm 0 24 6 00 0 35 9 00 2 76 70 00 2 09 53 00 ISO 63 CFF 2 75...

Страница 66: ...nections we recommend using Varian hardware To facilitate assembly and dismantling apply Fel pro C 100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Attach the units and tighten each one in turn Re peat the sequential tightening until the flange faces meet CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in th...

Страница 67: ...lowing figure show the input power connec tor Bipolar switch IEC320 connector Fuses Line GND Line P3 Vent Vent Connector This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve available on request The vent valve can be driven by controller auto matically or by serial line ...

Страница 68: ...e Inverted Magnetron plus Pi rani Gauge FRG 700 measure from 5x10 9 mbar to atmos phere 3 8x10 9 Torr to atmosphere and its tem perature range goes from 5 C to 55 C 41 131 F Pressure data is available on three independent reading channels 1 On board display data expressed in mbar Torr or Pa see Pressure Display Module picture 2 Serial communication line Win 224 3 Analogical output Pressure gauge c...

Страница 69: ... SIGNAL OUT 15 GROUND PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL OUT Signal description START STOP input signal to start or stop the pump Without the supplied cover connector the turbomolecular pump automatically starts if you want to stop the turbo pump from outside you have to connect the START STOP signal to the 24 Vdc pin and the START STOP signal to the GROUND pin this is the default configuration of the cov...

Страница 70: ...ng 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Voltage V Temperature C Output Pressure setting 1 0E 09 1 0E 08 1 0E 07 1 0E 06 1 0E 05 1 0E 04 1 0E 03 1 0E 02 1 0E 01 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Voltage V Pressure Torr FAULT this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected PROGRAMMABLE SET POINT this open collec tor output signal is enabled when the referenc...

Страница 71: ... optional allows the op erator to set all the programmable feature How to connect the open collector input of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TPS compact to an external system Two cases are considered 1 the customer supplies the 24 Vdc 2 the customer does not supply the 24 Vdc Please note that on the connector a 24 Vdc 30 mA voltage a GROU...

Страница 72: ... 6 A RS485 7 Not used 8 B RS485 9 Not used A serial communication kit with a serial cable and the Navigation Software is available optional RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J6 The communication protocol is the same see the structure below but only the RS 485 manages the address field Therefore to enable the RS 485 is n...

Страница 73: ...ER CRC to the host The MESSAGE is a string with the following format STX ADDR WIN COM DATA ETX CRC where NOTE When a data is indicated between two quotes it means that the indicated data is the correspond ing ASCII character STX Start of transmission 0x02 ADDR Unit address 0x80 for RS 232 ADDR Unit address 0x80 device num ber 0 to 31 for RS 485 WIN Window a string of 3 numeric char acter indicatin...

Страница 74: ...tion Controller 02 80 30 30 30 31 31 03 42 33 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command STOP Source PC Destination Controller 02 80 30 30 30 31 30 03 42 32 STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command SOFT START ON Source PC Destination Controller 02 80 31 30 30 31 ...

Страница 75: ...400 2 4800 3 9600 4 default 4 109 W L Pump life cycle time cycle number reset To reset write 1 110 R W L Interlock type default 1 Impulse 0 Continuous 1 N Read Write Data Type Description Admitted Values 111 R W L Analog out put type output volt age signal proportional to frequency or power 0 frequency 1 power default 1 2 Pump temperature 3 Pressure 117 R W N Low Speed frequency Hz 1100 to Maxi mu...

Страница 76: ...hat when the controller stops the vent valve is opened with a delay defined by window n 126 when the controller starts the vent valve is immediately closed 2 On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n 122 3 These commands remove the pump motor supply for a short time If they are used con tinuously they can cause the pump stopping 7 6 5 4 3 2 1 0 TOO HIGH LOAD NO ...

Страница 77: ... If seal debris is attached to the sides use a razor or Exacto knife to scrape the debris off To install the new seals and O rings 1 Unpack the Tip Seals Two tip seals are provided in the kit one fits the orbiting scroll and the other fits the out board housing scroll 2 Install the correct tip seal into the groove of the orbiting scroll by a Facing the white plastic surface upwards and inserting t...

Страница 78: ...ON Vacuum system leak Locate and repair leak Excessive voltage drop Check size and length of cable System will not start Fuses burnt out Check fuses and if necessary replace Vacuum system leak Locate and repair leak Water in TPS compact Flush the system with air or dry nitrogen Solvent in pump Flush the system with air or dry nitrogen Install trap or filter Scroll Pump seals worn out Replace tip s...

Страница 79: ...97 969 9397 969 9397 969 9397 969 9397 969 9397 969 9397 969 9397 EU Power cord 2 m 969 9396 969 9396 969 9396 969 9396 969 9396 969 9396 969 9396 969 9396 UK Power cord 2 m 969 9398 969 9398 969 9398 969 9398 969 9398 969 9398 969 9398 969 9398 Vibration damper 969 9340 969 9376 969 9344 969 9334 969 9345 969 9335 Inlet screen 969 9309 969 9300 969 9300 969 9302 969 9302 969 9304 969 9304 FRG 700...

Страница 80: ...NTIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping Error Evaluation Return Calibration Other HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY Call Varian Custome...

Страница 81: ...ate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Other Customer application Customer application PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS Pump doesn t start Noisy pump describe Heater failure Electrical problem Doesn t reach vacuum Over temperature Doesn t reach v...

Страница 82: ...2 1263 Toll Free 0120 655 040 Korea Varian Technologies Korea Ltd Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Toll Free 080 222 2452 Mexico Varian S de R L de C V Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd 14F 6 No 77 Hsin Tai Wu Rd Sec 1 Hsi chi...

Отзывы:

Нет отзывов

Бренды по названию

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

Популярные бренды

Загрузить еще бренды