
R u n
S t
a
n
d b
y
G1 - G9
51
Schließen Sie den Generator an die Stromversorgung an, und warten Sie.
Der Generator schaltet automatisch in den Standby-Modus.
Hinweis:
Der G4-Generator durchläuft eine Startroutine, bevor er den Standby-
Modus erreicht. Diese Routine dauert ca. 60 Sekunden.
0 0 0 0 0
0 0 H r s
:
S t
a
n
d b
y
Drücken Sie [
], um den Generator zu starten.
Das Menü ändert sich abbildungsgemäß, und die Systemprüf-LED wechselt zwischen
grün und rot.
Vorsicht
Bevor Sie den Generator an die Anlage anschließen, muss er mindestens 3 Stunden laufen, bevor er die
eingestellte Reinheit erreicht. Generatoren mit einer eingestellten Reinheit von 10 ppm und 100 ppm müssen
mindestens 6 Stunden laufen.
Wenn der Generator seine eingestellte Reinheit erreicht hat, kann er an die Anwendung angeschlossen werden. Wenn Sie den
G4-Generator mit einem externen Massenflussregler verwenden:
1.
Schließen Sie das Kugelventil am N2-Massenflussregler-Ausgang.
2.
Ziehen Sie das Netzkabel des Generators ab.
3.
Schließen Sie die Anwendungsleitung an den N2-Ausgang an.
4.
Stellen Sie beschreibungsgemäß das Massenflussregler-Umgehungsventil um, damit das Gas an den N2-Ausgang
geleitet wird.
5.
Schließen Sie den Generator an die Stromversorgung an, und warten Sie. Wenn der Generator den Standby-Modus
erreicht, drücken Sie [
].
6.
Das Kugelventil kann nun vom N2-Massenflussregler-Ausgang entfernt und durch den Blindstecker ersetzt werden.
Das System sollte die eingestellte Reinheit binnen einer Stunde erreichen. Es sind keine weiteren Bedienungsschritte seitens
des Benutzers erforderlich.
Vorsicht
Wenn der Betrieb des Generators unterbrochen wird und der Empfangsdruck unter 5 bar fällt, muss diese
Startsequenz komplett befolgt werden. Wenn der Empfangsdruck nicht unter 5 bar fällt, ist es empfehlenswert,
den Generator eine Stunde lang nicht an die Anwendung angeschlossen laufen zu lassen, damit die
eingestellte Reinheit erreicht werden kann.
Содержание G1
Страница 2: ......
Страница 4: ......
Страница 6: ......
Страница 24: ...NOTES...
Страница 26: ......
Страница 44: ...NOTES...
Страница 46: ......
Страница 64: ...NOTES...
Страница 66: ......
Страница 84: ...NOTES...
Страница 86: ......
Страница 104: ...NOTES...
Страница 106: ......