iii
Table of Contents
Product Warranty . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .ii
Non-Warranty Repairs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .ii
Table of Contents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .iii
Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .iv
Section 1 – Introduction
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1
Section 2 – Description
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1
2.1
Controller Interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2
2.1.1
MM1000DC/DCS750 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2
2.1.2
MM2000 PC Card Motion Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . .3
2.1.3
MM2000RX Rack Mounted PC Card Controller . . . . . . . . . .4
2.1.4
MM3000 Motion Controller/Driver . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4
2.1.5
MM4000/4005 Motion Controller/Driver . . . . . . . . . . . . . . .4
2.1.6
PMC100 Single Axis Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4
2.1.7
PMC200/PMC200-P Dual Axis Controller . . . . . . . . . . . . . . .4
2.1.8
PMC400 Multi-Axis Controller/Driver . . . . . . . . . . . . . . . . . .5
2.1.9
ESP Series Controller/Driver . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5
2.1.10
Non-Newport Controllers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5
Section 3 – Installation, Set-up and Operation
. . . . . . . . . . . . . .7
3.1 Setting the Travel Limits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7
3.2 Actuator Mounting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12
3.3 Manual Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12
3.4 High-and Low-Speed Versions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13
3.5 Vacuum Compatible Versions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14
Section 4 – Maintenance and Service
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15
Section 5 – Connector Pin Assignments
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16
Section 6 – Drawing
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .17
Section 7 – Service Form
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .18
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Содержание 850G Series
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