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LH71/LH72 Segmented error compensation Setting manual

Create compensation data for the changing points narrowed down to 32 points or less from the error curve measured 
in 

step 1.

* Since the reference point position is 0, it is not included in the compensation points.

Compensation point (P)

P1

P2

Reference 

point position

P3

P4

P5

Count value of counter unit(

l

)

-500.0000

-125.000

0.000

200.000

414.000

700.000

Lase display value

-499.9860

-125.008

0.0000

200.032

414.008

700.020

Compensation amount(ε)

0.014

-0.008

0.0000

0.032

0.008

0.020

Error curve compensation data for the above 5 changing points

(Unit: mm)

Changing point:

- Point where the slope of the error curve changes
- Point where the inclination is reversed

Number of points that can be input:

up to 32 points

Compensation amount: 

up to 

±

600μm

Number the changing point in order from the smallest (or minus) side of the count value of the measurement unit. 

Distance traveled 
based on the 
reference point

(

l

)

When the changing point is 5 points

Compensation point input number

Compensation amount at compensation point

Position data of compensation point

Creation of compensation data

STEP 2

Reference point position: 0

Number the changing point in order from the smallest (or minus) side of the count value of the measurement unit. If the start position of 
the segmented error compensation is position 1 and the end position is position N, the position N should be 32 or less.
The maximum compensation value for the entire changing point is within 

±

600μm. If it exceeds the 

±

600μm range, the segmented 

error compensation function cannot be used.

NOTE: 

- The segmented error compensation function is applied to the range from the start position (ε 1) to the end position (ε n).
- Input compensation data cannot be handled below the unit of input resolution of the measurement unit.

Error amount (

ε

)

l 1

l 2 l 3

l 4

l 5

ε

1

ε

2

ε

3

ε

4

ε

5

P 1

P 2

P 3

P 4

P 5

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