Detcon DM-100 O2, Руководство по установке и инструкции оператора

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Model DM-100
DM-100 Instruction Manual Rev. 3.5 Page 36 of 41
Table 5 Cross Interference Table (pg.5)
Gas PF
3
SiH
4
Si SiF
4
SO
2
C
4
H
8
S C
4
H
4
S C
6
H5CH
3
WF
6
C
4
H
6
O
2
C
2
H
3
CL C
2
H
5
SH C
6
H
5
CH
3
C
2
H
3
O n/d n/d n/d n/d n/d n/d 40=45 n/d n/d 40=200 40=200 n/d 40=55
C
2
H
2
n/d n/d n/d n/d n/d n/d 340=45 n/d n/d 340=200 340=200 n/d 340=55
C
3
H
3
N n/d n/d n/d n/d n/d n/d 75=45 n/d n/d 75=200 75=200 n/d 75=55
NH
3
n/d n/d n/d n/d 5=-0.5 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
AsH
3
n/d 1=0.56 n/d n/d 2=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
Br
2
n/d n/d n/d n/d 5=-0.1 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
C
4
H
6
n/d n/d n/d n/d n/d n/d 170=45 n/d n/d 170=200 170=200 n/d 170=55
CS
2
n/d n/d n/d n/d n/d n/d 140=45 n/d n/d 140=200 140=200 n/d 140=55
CO n/d n/d n/d n/d 5=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
Cl
2
n/d n/d n/d n/d 5=-0.05 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
ClO
2
(>10ppm) n/d n/d n/d n/d 5=-0.016 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
ClO
2
(=10ppm) n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
B
2
H
6
n/d 1=0.72 n/d n/d 2=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
C
3
H
5
OCl n/d n/d n/d n/d n/d n/d 50=45 n/d n/d 50=200 50=200 n/d 50=55
C
2
H
5
OH n/d n/d n/d n/d n/d n/d 180=45 n/d n/d 180=200 180=200 n/d 180=55
C
2
H
5
SH n/d n/d n/d n/d 5=<3 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/a n/d
C
2
H
4
n/d n/d n/d n/d n/d n/d 220=45 n/d n/d 220=200 220=200 n/d 220=55
C
2
H
4
O n/d n/d n/d n/d n/d n/d 275=45 n/d n/d 275=200 275=200 n/d 275=55
F
2
n/d n/d n/d n/d 2=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
CH
2
O n/d n/d n/d n/d n/d n/d 330=45 n/d n/d 330=200 330=200 n/d 330=55
GeH
4
n/d 1=1 n/d n/d 2=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
N
2
H
4
n/d n/d n/d n/d 2=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
H
2
(ppm) n/d n/d n/d n/d 5=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
H
2
(LEL) n/d n/d n/d n/d 2=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
HBr n/d n/d n/d n/d 5=2.5 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
HCl n/d n/d n/d n/d 5=2.5 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
HCN n/d n/d n/d n/d 2=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
HF yes n/d n/d n/d 3=4(theory) yes n/d n/d n/d n/d yes n/d n/d n/d n/d n/d
H
2
S n/d n/d n/d n/d 5=<1 n/d n/d n/d n/d n/d n/d 3=1 n/d
CH
3
OH n/d n/d n/d n/d n/d n/d 415=45 n/d n/d 415=200 415=200 n/d 413=55
CH
3
SH n/d n/d n/d n/d 5=<2 n/d n/d n/d n/d n/d n/d 2=1 n/d
NO n/d n/d n/d n/d 5=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
NO
2
n/d n/d n/d n/d 5=-0.025 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
O
3
n/d 1=0.015 n/d n/d 2=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
COCl
2
n/d n/d n/d n/d 2=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
PH
3
n/d 1=0.56 n/d n/d 2=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
SiH
4
n/d n/a n/d n/d 2=0 n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
SO
2
n/d n/d n/d n/d n/a n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d n/d
C
4
H
6
O
2
n/d n/d n/d n/d n/d n/d 200=45 n/d n/d n/a 200=200 n/d 200=55
C
2
H
3
Cl n/d n/d n/d n/d n/d n/d 200=45 n/d n/d 200=200 n/a n/d 200=55
n/a – not applicable
n/d – no data