取扱説明書
User’s Manual
AVNVM
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使用上の注意事項
1.
流体・温度・圧力その他の使用条件等を考慮し、本製品の仕様範囲内でご使用下さい（許容範囲外で使用され
ますとバルブが破損する恐れがあります）。
1.
製品の構成材料と使用流体との適合性については、 最新版の
総合カタログ（AV-V-029-EJ）の
適合流体リストを参考にし、ご確認の上ご使用下さい（薬液の種類によって部品が侵され破損する恐れがあり
ます）。リストに記載以外の流体につきましては、別途お問い合わせ下さい。また、圧縮性流体（気体：エア、N2、
オゾンなど）をご使用される場合、弊社はその製造物責任を負いません。
2.
使用条件によってはキャビテーションが発生する恐れがあります。流体圧力や配管条件などの見直しをして下
さい。
3.
バルブに負圧を加えないでください。
4.
クリーンルーム内での設置を想定し、精密洗浄後２重クリーンパックしておりますので、お取り扱いにはご注意
下さい。
5.
操作エアは有機溶剤や腐食性ガスを含まない、清浄なエアをご使用下さい。
6.
本製品には流れ方向があります。流体の流れ方向と一致するようにして下さい。
メンテナンス時の注意事項
1.
事前に操作エアおよび流体を抜いて下さい。
2.
バルブおよび配管内に残留した薬液を除去し、純水、エアで十分置換した上で作業して下さい。
3.
製品を分解しないで下さい。分解されました場合本来の性能、仕様を損なう可能性があります。分解されました
製品の保証は致しかねますのでご了承下さい。
4.
製品を最適な状態でご使用いただくために、バルブおよび継手からの漏れの有無の確認を定期的に行って下
さい。
警告
注意
警告
