Agilent Technologies 9130011, Руководство пользователя

Страница: 26 / 58

2 Gebrauchsanleitung
Funktionsweise
26/58 Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)
Bakeout
Wenn eine VacIon Pumpe den gewünschten Basisdruck nicht erreicht
und keine Druckverluste vorhanden sind, ist ein Bakeout des
Systems aus-zuführen, um den Wasserdampf zu beseitigen. Dieser
Vorgang erfolgt unter Erwärmung der Pumpe und aller
Systemelemente.
1
Den Pumpenkorpus und das System mit ei-nem Ofen oder
Heizelementen auf eine Temperatur zwischen 150 und 250 °C
erhitzen (250 °C ist die maximal zulässige Temperatur vieler
Hochspannungskabel). Diese Temperatur ist ausreichend, um die
Oberflächen der Pumpe von Wasserdampf zu “entgasen”, ohne
den Magneten oder den Hochspannungsverbinder zu
beschädigen. Es ist darauf zu achten, dass die anderen
Systemkomponenten der Erwärmungstemperatur standhalten.
Die Erwärmung soll möglichst gleichmäßig auf allen Oberflächen
erfolgen, damit der Dampf nicht an den kälteren Teilen
kondensiert und das Erreichen hoher Vakuumwerte verhindert.
2
Den Controller eingeschaltet lassen und kontrollieren, dass der
Druck nicht 5x10
-5
Torr (mbar) übersteigt. Falls dieser Wert
überschritten wird, ist das Heizgerät auszuschalten und erneut
einzuschalten, wenn der Unterdruckbereich wieder hergestellt
ist. Zur automatischen Kontrolle der Heizgeräte und Druckwerte
während der Erwärmung ist ein druckempfindliches Relais zu
benutzen.
3
Die Vaclon Pumpe über einen Zeitraum von mindestens 8
Stunden erwärmen. Längere Erwärmzeiten sind erforderlich,
wenn die Pumpe mit hohen Gaslasten benutzt werden soll oder
Höchstvakuumwerte (10
-9
Torr [mbar]) oder niedriger erreicht
werden sollen.
4
Im Zuge der Abkühlung der Pumpe und des Systems auf die
Umgebungstemperatur muss auch ein Druckabfall entstehen.
5
Zu den verschiedenen Einsatzmöglichkeiten der Ionenpumpen
zählt auch die Vakuumerzeugung in anderen Komponenten. Da
Hochspannungsverbinder nur einer begrenzten Anzahl von
Erwärmungszyklen (bis zu 400 °C) standhalten, sollten diese
Zyklen auf ein Mindestmaß beschränkt werden, um die Standzeit
der Pumpe zu verlängern.