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Agilent Technologies 9130011, Руководство пользователя

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Gebrauchsanleitung 

Funktionsweise

 

2 

 

Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F)

 

25/58

 

Funktionsweise 

Vaclon Pumpen arbeiten durch Gasionisierung infolge einer 
magnetisch abgegrenzten Entladung (Penning-Zelle). An die Anode 
wird eine Spannung von ungefähr 3 kV angelegt, während die 
Katoden an die Masse angeschlossen sind. Ein axiales Magnetfeld von 
ungefähr 1.200 Gauss verhindert, dass die Elektronen direkt zur 
Anode gelangen. Ein abgeschirmter Isolator isoliert die Anode vom 
Erdungspotenzial. Bei ordnungsgemäßem Betrieb der Vaclon Pumpe 
(mit dem installierten Magnet) ist die Stromaufnahme proportional 
zum Druck (siehe nachstehende Abbildung). 
 

 

Abbildung 1

 

Druck-Stromstärke-Diagramm 

Nachdem das System einen Druck unter 10

-2

 Torr erreicht hat, ist es 

möglich, die Pumpe lediglich durch Einschalten des Controllers zu 
starten. Der Pumpenstart ist anhand der Stromaufnahme durch den 
Controller erkenntlich. 

HINWEIS 

Bevor das Kabel des Netzgerätes abgetrennt wird, sind stets mindestens 30 s 

nach Abschaltung der Hochspannung abzuwarten, damit sich der Kondensator 

des Netzgerätes entsprechend entladen kann. 

Содержание 9130011

Страница 1: ...0037 9130038 9130040 9130041 9130049 9130050 Magnet 9130042 2 l s Models 9130032 9130034 9130035 9130045 9130046 9130047 9130052 9135000 Magnet 9130011 Manuale di Istruzioni Bedienungshandbuch Notice...

Страница 2: ...ocument are furnished under a license and may be used or copied only in accordance with the terms of such license Restricted Rights Legend If software is for use in the performance of a U S Government...

Страница 3: ...Miniature pumps Miniature and 2 l s VacIon Pumps User Manual 87 400 044 01 F 3 58 Miniature pumps...

Страница 4: ...2 l s VacIon pumps 4 58 Miniature and 2 l s VacIon Pumps User Manual 87 400 044 01 F 2 l s VacIon pumps...

Страница 5: ...i 9 Installazione 11 Note di Funzionamento 13 Condizioni di Funzionamento Anomale 15 Smaltimento 17 2 Gebrauchsanleitung19 Sicherheitshinweise 20 Allgemeine Hinweise 21 Installation 23 Funktionsweise...

Страница 6: ...Pumps User Manual 87 400 044 01 F Conditions de Fonctionnement Anormales 39 Mise au Rebut 41 4 Instructions for Use 43 Safety Information 44 General Information 45 Installation 47 Operating Notes49 Un...

Страница 7: ...azioni di Sicurezza 8 Informazioni Generali 9 Installazione 11 Collegamento dell unit di controllo 12 Note di Funzionamento 13 Operazione di bakeout 14 Condizioni di Funzionamento Anomale 15 Bassa cor...

Страница 8: ...l inosservanza totale o parziale delle istruzioni ad uso improprio da parte di personale non addestrato ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche Questo manu...

Страница 9: ...idabile da 3 8 OD 90 913 0041 Con tubo in rame da 3 8 OD 180 preparata sotto vuoto 913 0049 Con tubo in rame da 3 8 OD 90 preparata sotto vuoto 913 0050 Magnete in Alnico 913 0042 2 l s Con tubo in ac...

Страница 10: ...o sul principio getter nel campo da 10 3 Torr a meno di 10 9 Torr Per portare il sistema dalla pressione a meno di 10 3 Torr necessaria una pompa di prevuoto La pompa deve essere alimentata tramite un...

Страница 11: ...completo tuttavia non utilizzarlo quando sono presenti cavit e fessure che impediscano il risciacquo Normalmente sufficiente uno sgrassaggio con acetone o metanolo ed un successivo risciacquo con acqu...

Страница 12: ...come segue 1 Collegare la pompa alla massa dell alimentatore sistemando la molletta di massa sul passante della pompa prima di collegare il cavo di alta tensione Con i cavi provvisti di filo di massa...

Страница 13: ...odo dal potenziale di terra Nel funzionamento corretto della pompa VacIon con il magnete installato la corrente assorbita proporzionale alla pressione vedere la figura seguente Figura 1 Curva pression...

Страница 14: ...pi fredde impedendo cos il raggiungimento di valori elevati di vuoto 2 Lasciare accesa l unit di controllo e controllare che la pressione non superi il valore di 5x10 5 Torr mbar Nel caso in cui si s...

Страница 15: ...a superficie all interno della pompa e la scarica dovrebbe riprendere NON COLPIRE MAI la pompa con un attrezzo metallico b Se il campo magnetico scende sotto il suo valore di targa la scarica della po...

Страница 16: ...a una tensione tra 5 e 6 kV ac con una corrente tra 20 e 30 mA tra 5 e 20 secondi per bruciare le punte e Che non ci siano rivestimenti di film metallici conduttori sugli isolatori a causa di un funzi...

Страница 17: ...ea indica che il prodotto sul quale applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata Si invita pertan...

Страница 18: ...1 Istruzioni per l uso Smaltimento 18 58 Miniature and 2 l s VacIon Pumps User Manual 87 400 044 01 F...

Страница 19: ...brauchsanleitung Sicherheitshinweise 20 Allgemeine Hinweise21 Installation 23 Anschluss des Controllers 24 Funktionsweise 25 Bakeout 26 Betriebsst rungen 27 Stromst rke zu niedrig 27 Stromst rke zu ho...

Страница 20: ...Personal nicht autorisierten Eingriffen und Benutzung unter Missachtung der einschl gigen nationalen Bestimmungen bernimmt Firma Agilent keinerlei Haftung In diesem Handbuch werden bestimmte Textstell...

Страница 21: ...Edelstahl 3 8 OD 180 913 0038 Mit Rohr in Edelstahl 3 8 OD 90 913 0041 Mit Rohr in Kupfer 3 8 OD 180 mit Vorvakuum 913 0049 Mit Rohr in Kupfer 3 8 OD 90 mit Vorvakuum 913 0050 Magnet in Alnico 913 004...

Страница 22: ...arbeiten nach dem Getterprinzip im Bereich von 10 3 Torr bis unter 10 9 Torr Um das System auf unter 10 3 Torr zu bringen ist eine Vorvakuumpumpe erforderlich Die Pumpe ist mit einer Plusspannung von...

Страница 23: ...dings nicht bei Vorhandensein von Hohlr umen und Spalten angewendet werden die das Aussp len verhindern In der Regel ist das Entfetten mit Aceton oder Methanol und das anschlie ende Sp len mit Wasser...

Страница 24: ...en Masseanschluss des Netzger tes anschlie en wobei die Masseanschlussfeder am Hochspannungsverbinder der Pumpe anzubringen ist bevor das Hochspannungskabel angeschlossen wird Bei den Kabeln die mit e...

Страница 25: ...ter Isolator isoliert die Anode vom Erdungspotenzial Bei ordnungsgem em Betrieb der Vaclon Pumpe mit dem installierten Magnet ist die Stromaufnahme proportional zum Druck siehe nachstehende Abbildung...

Страница 26: ...en Teilen kondensiert und das Erreichen hoher Vakuumwerte verhindert 2 Den Controller eingeschaltet lassen und kontrollieren dass der Druck nicht 5x10 5 Torr mbar bersteigt Falls dieser Wert berschrit...

Страница 27: ...hlagen oder der Pumpenkorpus lokal mit einem kleinen Schwei ger t zu erhitzen Auf diese Weise l st sich Gas von den Innenfl chen der Pumpe und m sste die Entladung wieder aufgenommen werden Gegen die...

Страница 28: ...durch Spitzen erfolgen die sich an den Katoden gebildet haben An die Pumpe eine Spannung zwischen 5 und 6 kV ac mit einer Stromst rke zwischen 20 und 30 mA ber einen Zeitraum von 5 und 20 s anlegen u...

Страница 29: ...eses Symbol nur in den EU L ndern g ltig zeigt an dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsm ll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugef hrt werden muss Der End...

Страница 30: ...2 Gebrauchsanleitung Entsorgung 30 58 Miniature and 2 l s VacIon Pumps User Manual 87 400 044 01 F...

Страница 31: ...sur la S curit 32 Indications G n rales 33 Installation 35 Branchement de l unit de contr le 36 Notes de Fonctionnement 37 Op ration de bakeout 38 Conditions de Fonctionnement Anormales 39 Courant fai...

Страница 32: ...l des instructions fournies d utilisation incorrecte de la part d un personnel non form d op rations non autoris es ou d un emploi contraire aux r glementations nationales sp cifiques Cette notice uti...

Страница 33: ...au en acier inoxydable de 3 8 E 90 913 0041 Avec tuyau en cuivre de 3 8 E 180 pr par e sous vide 913 0049 Avec tuyau en cuivre de 3 8 E 90 pr par e sous vide 913 0050 Aimant en Alnico 913 0042 2 l s A...

Страница 34: ...principe getter dans une plage de 10 3 Torr moins de 10 9 Torr Pour porter le syst me de la pression moins de 10 3 Torr il est n cessaire de disposer d une pompe de pr vide La pompe doit tre aliment e...

Страница 35: ...la plus compl te Il est cependant conseill de ne pas l utiliser en pr sence de cavit s ou de fissures emp chant le rin age Normalement un d graissage l ac tone ou au m thanol suivis d un rin age l eau...

Страница 36: ...en op rant de la fa on suivante 1 Relier la pompe la masse de l alimentateur en pla ant la molette de masse sur le passant de la pompe avant de brancher le c ble de haute tension En pr sence de c bles...

Страница 37: ...anode du potentiel de terre Dans le fonctionnement correct de la pompe Vaclon avec aimant install le courant absorb est proportionnel la pression voir figure suivante Figure 1 Courbe pression courant...

Страница 38: ...sur les parties plus froides emp chant d atteindre les valeurs de vide lev es 2 Laisser l unit de contr le allum e et contr ler que la pression ne d passe pas la valeur de 5x10 5 Torr mbar En cas de...

Страница 39: ...pompe l aide d un outil en plastique souple ou le r chauffer localement l aide d un fer souder On lib re ainsi du gaz de la superficie l int rieur de la pompe et la d charge devrait alors reprendre N...

Страница 40: ...n y ait pas d mission de courant sur les pointes form es sur les cathodes Appliquer la pompe une tension entre 5 et 6 kV ac avec un courant entre 20 et 30 mA pendant 5 20 secondes pour br ler les poin...

Страница 41: ...ue que le produit sur lequel il est appliqu NE doit PAS tre mis au rebut avec les ordures m nag res ou les d chets industriels ordinaires mais passer par un syst me de collecte s lective Apr s avoir v...

Страница 42: ...3 Mode d emploi Mise au Rebut 42 58 Miniature and 2 l s VacIon Pumps User Manual 87 400 044 01 F...

Страница 43: ...8 4 Instructions for Use Safety Information 44 General Information 45 Installation 47 Control Unit Connection 48 Operating Notes 47 Bakeout Operation 50 Unusual Operating Conditions 51 Low Current 51...

Страница 44: ...n partial with these instructions improper use by untrained persons non authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards This manua...

Страница 45: ...ss Steel Tube 913 0038 With 3 8 OD 90 Stainless Steel Tube 913 0041 With 3 8 OD 180 Copper Tube vacuum proc 913 0049 With 3 8 OD 90 Copper Tube vacuum proc 913 0050 Alnico magnet 913 0042 2 l s With 3...

Страница 46: ...ich operates on the principle of ion gettering in the pressure range from 10 3 Torr to less than 10 9 Torr A roughing pump is needed to lower the system pressure from atmosphere to below 10 3 Torr The...

Страница 47: ...do not attempt it when pockets and crevices exist that will prevent thorough rinsing Degreasing with an acetone or methanol followed by water rinsing is usually sufficient To achieve maximum pumping s...

Страница 48: ...the pump as follows 1 Ground the pump to the power supply by placing the ground spring over the pump insulator before attaching the high voltage lead On cables with ground leads attach the ground lead...

Страница 49: ...ates the anode from ground potential When the VacIon pump is operating properly with magnet installed the current drawn is proportional to pressure see the following figure Figure 1 Pressure versus cu...

Страница 50: ...can recondence on the cooler surfaces preventing achievement of UHV vacuum pressures 2 Leave the pump control unit on and monitor the pressure It must never increase above 5x10 5 Torr mbar if this va...

Страница 51: ...surface gas within the pump and restart the discharge NEVER strike the pump with metal hand tools b If the magnet strength is below its rated level the pump discharge and speed will be reduced and the...

Страница 52: ...ied in accordance with the EC WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment Directive This symbol valid only in countries of the European Community indicates that the product it applies to must NOT b...

Страница 53: ......

Страница 54: ......

Страница 55: ......

Страница 56: ......

Страница 57: ......

Страница 58: ...s UK Ltd 6 Mead Road Oxford Industrial Park Yarnton Oxford OX5 1QU UK Tel 44 0 1865 291570 Fax 44 0 1865 291571 China Agilent Technologies China Co Ltd No 3 Wang Jing Bei Lu Chao Yang District Beijing...

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