manualshive.com logo in svg

Varian TV 301 Navigator, Instruction Manual

Share
Download
Varian TV 301 Navigator Instruction Manual Download Page 62

NÁVOD K POUŽITIU 

 57 

87-900-946-01(F) 

Bezpe

č

nostný návod 

 

pre 

 

Turbomolekulárne vývevy 

 
 

Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú ve

ĺ

ké množstvo 

kinetickej energie v

ď

aka vysokej otá

č

avej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich 

rotorov. 
 
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa 
može uvolni

ť

 rota

č

ná energia. 

 
 

,

   VAROVANIE!

 

Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia by

ť

 prísne 

dodržované za ú

č

elom prevencie zranenia obsluhy! 

 

Summary of Contents for TV 301 Navigator

Page 1: ...46 01 F JULY 2006 I MANUALE DI ISTRUZIONI D BEDIENUNGSHANDBUCH F NOTICE DE MODE D EMPLOI E MANUAL DE INSTRUCCIONES P MANUAL DE INSTRUÇÕES NL BEDRIJFSHANDLEIDING DK INSTRUKSTIONSBOG S BRUKSANVISNING N INSTRUKSJON MANUAL FIN OHJEKÄSIKIRJA GR ODHGIES CRHSEWS H FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PL PODRECZNIK INSTRUKCJI CZ NÁVOD K POUŽITÍ SK NÁVOD NA OBSLUHU SLO PRIROČNIK ZA NAVODILA GB INSTRUCTION MANUAL ...

Page 2: ...TV 301 Navigator ...

Page 3: ......

Page 4: ......

Page 5: ...J6 Serial 77 INPUT POWER CONNECTION ON THE MODEL 969 8972 77 RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION 77 Communication Format 77 Communication Protocol 77 Window Meanings 79 INLET SCREEN INSTALLATION 81 HEATER BAND INSTALLATION 82 AIR COOLING KIT INSTALLATION 82 TV 301 with Navigator Controller 82 WATER COOLING KIT INSTALLATION 83 VENT ACCESSORIES 84 TV 301 Navigator Controller Compatible 84 Standa...

Page 6: ...lla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore l energia di rotazione potrebbe essere rilasciata PERICOLO Per evitare danni all apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel ...

Page 7: ... chiatura NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal te sto IMMAGAZZINAMENTO Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità del le pompe Turbomolecolari Varian devono essere osservate le seguenti prescrizioni durante il trasporto lo spostamento e l immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti con dizioni ambientali temperatura da 20 C a...

Page 8: ... la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura può cau sare lesioni alle persone ATTENZIONE Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione I cuscinetti potrebbero danneggiarsi Per la mandata all aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attra ...

Page 9: ...r pervenire al locale ufficio vendite la scheda Sicurezza e Salu te allegata al presente manuale di istruzioni Copia della stes sa deve essere inserita nell imballo del sistema prima della spedizione Qualora un sistema dovesse essere rottamato procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi che SMALTIMENTO Significato del logo WEEE presente sulle etichette Il simbolo...

Page 10: ...ndung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden GEFAHR Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen I...

Page 11: ...chtung Schäden an der Anlage verursachen könnten HINWEIS Die Hinweise enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden LAGERUNG Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gewährleisten sind die folgenden Anweisungen zu beachten Während des Transports der Handhabung und der Einla gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht ...

Page 12: ...chlossen ist Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even tuelle heiße Zubehörteile berührt werden Es besteht Verbren nungsgefahr ACHTUNG Während des Betriebs sind Stoß und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden da die Lager beschädigt werden könnten Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden Der Eingang...

Page 13: ...dt wird ist das Formular Sicherheit und Gesundheit das diesem Handbuch beiliegt ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden Eine Kopie ist der Verpa ckung des Systems vor dem Versand beizulegen Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen ENTSORGUNG Bedeutung des WEEE Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in Übereinstimm...

Page 14: ...grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors En cas de panne du système par exemple à cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupture du rotor l énergie de rotation pourrait être libérée DANGER Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs il faut suivre attentivement les instructions d installation décrites dans ce manuel...

Page 15: ...non respect pourrait endommager sérieusement l appareillage NOTE Les notes contiennent des renseignements importants extrapo lés du texte STOCKAGE Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Varian il est indispensable de res pecter les instructions suivantes Le transport la manutention et le stockage des pompes doivent impérativement avoir lieu dans les c...

Page 16: ...essoires éventuels pendant les opérations de chauffage La température élevée peut être à l origine de lésions graves ATTENTION Lorsque la turbopompe fonctionne éviter tout choc oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério rer Pour le refoulement de l air de la pompe utiliser de l air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules La pression d entrée à travers la...

Page 17: ...re région la fiche Sécurité et Santé jointe au présent manuel d instructions Une copie de cette fiche de vra être mise dans l emballage de la pompe avant l expédition En cas de mise au rebut de la pompe procéder à son élimina tion conformément aux réglementations nationales concernant la gestion des déchets MISE AU REBUT Signification du logo WEEE figurant sur les étiquettes Le symbole ci dessous ...

Page 18: ...debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores En el caso de un daño del sistema por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor la energía de rotación podría ser liberada PELIGRO Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descrita...

Page 19: ...nformación importante extraída del texto ALMACENAMIENTO Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Varian deberán aplicarse las siguientes instrucciones durante el transporte desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no conden...

Page 20: ...amiento La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCIÓN Evítense golpes oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento Los cojinetes podrían dañarse Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas La presión de entrada a través de la puerta deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión atmosférica Par...

Page 21: ...nta al presente manual de instrucciones Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo En caso de que el sistema se tenga que desguazar eliminarlo respetando las normas nacionales específicas ELIMINACIÓN Significado del logotipo WEEE presente en las etiquetas El símbolo que se indica a continuación es aplicado en observancia de la directiva CE denominada WE...

Page 22: ...ia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor a energia de rotação pode ser liberada PERIGO Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual ...

Page 23: ...dem causar danos à aparelhagem NOTA As notas contêm informações importantes destacadas do texto ARMAZENAGEM Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Varian devem ser observadas as seguintes prescrições durante o transporte o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relat...

Page 24: ... os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas ATENÇÃO Evitar colisões oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar Os rolamentos poderiam sofrer danos Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a...

Page 25: ...enviar ao escritório de vendas local a ficha Segurança e Saúde anexa ao presente manual de instruções A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedição Caso uma bomba deva ser destruída proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas ELIMINAÇÃO Significado do logótipo WEEE presente nos rótulos O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a di...

Page 26: ...e energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt kan de rotatie energie vrijkomen GEVAAR Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen moeten de installatie instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd ...

Page 27: ...merkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht OPSLAG Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen tijdens transport verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtighe...

Page 28: ...mp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken ATTENTIE Vermijd schokken trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is De lagers kunnen an ders beschadigd raken Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort m...

Page 29: ...Gezondheid volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd Mocht het systeem gesloopt worden ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk AFVALVERWERKING Betekenis van het logo WEEE op de etiketten Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeen stemming met de ...

Page 30: ... høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator eller fordi rotoren går i stykker kan omdrejningsenergien spredes ADVARSEL For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning ...

Page 31: ...procedurer der skal følges nøje for ikke at risikere maskinskader BEMÆRK Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten OPBEVARING Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Varian Sørg for at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temper...

Page 32: ... Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med opvarmningsprocedurerne Den høje temperatur kan resultere i skade på personer VIGTIGT Undgå sammenstød vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af turbopumpen Der er risiko for beskadigelse af lejerne Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser der ikke indeholder støv eller faste partikler Indgangstrykket ved den s...

Page 33: ...hange service skal Sikkerheds og tilstandsdokumentet der er vedlagt denne instruktionsmanual udfyldes En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets emballage inden afsendelse Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det pågældende lands særlige love BORTSKAFFELSE Betydningen af WEEE logoet på mærkaterne Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU dire...

Page 34: ...otationshastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppstå i systemet t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas kan det hända att rotationsenergin frigörs VARNING För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga ...

Page 35: ...s framför procedurer som måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå OBSERVERA Detta visar på viktig information i texten FÖRVARING Respektera följande anvisningar för att garantera optimal pre standa och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar Vid transport flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras Temperaturområde 20 C till 70 C R...

Page 36: ...s med låsflänsen Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika brännskador VIKTIGT Undvik sammanstötningar svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång Lagren kan bli skadade Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från damn eller andra partiklar Ingångstrycket mot rätt dörr måsteunderstiga 2 bar utöver det atmosfä...

Page 37: ...kickas in till den lokala återförsäljaren Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning BORTSKAFFNING Betydelse av logotypen WEEE på etiketterna Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD direktivet som har betecknats som WEEE Den här symbolen gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen indikerar att produkt...

Page 38: ...ginivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren kan roteringsenergien bli frigitt ADVARSEL For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye ...

Page 39: ...re til at utstyret skades MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten LAGRING For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges Under transport flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden må alltid ...

Page 40: ...sen Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen De høye temperaturene kan føre til brannskader FORSIKTIG Unngå støt svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i funksjon Lagrene kan skades Bruk støv og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar over atmosfærisk trykk Ved pumpin...

Page 41: ...erhalt system må det vedlagte skjemaet Helse og sikkerhet fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret En kopi av dette arket må vedlegges systemet som sendes tilbake Dersom et system skal kasseres må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser ELIMINERING Betydelsen av symbolet på logo WEEE på etikettene Symbolet nedenunder som finnes er anvendt i henhold til EC direktiv kalt WEEE Dette ...

Page 42: ...heutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan Järjestelmän vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa pyörimisenergia saattaa vapautua VAARA Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi ...

Page 43: ...ta joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen HUOM Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa VARASTOINTI Noudata seuraavia ohjeita jotta Varian turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti Kun pumppua kuljetetaan siirretään ja varastoidaan seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää lämpötila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tii...

Page 44: ...ttämisen aikana Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden loukkaantumisia HUOMIO Vältä kolhuja heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana sillä laakerit voivat vahingoittua Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole pölyä tai hiukkasia Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee olla alle 2 baaria yli atmosfäärisen paineen Pumput on varustettu aggressiivist...

Page 45: ...ua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon Turvallisuus ja Terveys kaavake joka on liitteenä ohjekirjassa Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen lähettämistä Mikäli pumppu täytyy romuttaa toimikaa sen hävittämisessä kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla HÄVITTÄMINEN Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE logon merkitys Al...

Page 46: ...περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήματος για παράδειγμα επαφής ρότορα επαγωγέα ή ακόμη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα η ενέργεια περιστροφής μπορεί να ελευθερωθεί KINDUNOS Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισμού και για την πρόληψη τραυματισμών του προσωπικού οι οδηγίες εγκατάστασης όπως δίνονται στο παρ...

Page 47: ...l soun bl bej sth suskeuˇ SHMEIWSH Oi shmeièseij peri coun shmantik j plhrofor ej pou coun apospaste apÒ to ke meno APOQHKEUSH Gia na egguhqe to M gisto ep pedo leitourgikÒthtaj kai axiopist aj twn Strobilomoriakèn antlièn Varian pr pei na throÚntai oi exˇj prodiagraf j kat th metafor th diak nhsh kai thn apoqˇkeush twn antlièn den pr pei na uperba nontai oi exˇj periballontik j sunqˇkej qermokras...

Page 48: ...j kat tij ergas ej q rmanshj H uyhlˇ qermokras a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH Apofuvgete sugkrouvseiÇ olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se leitourgiva Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta Gia na dioceteÚsete me a ra thn antl a crhsimopoie te a ra ˇ adran j a rio kaqarÒ apÒ skÒnh ˇ lla stoice a H p esh eisÒdou diam sou thj eidik...

Page 49: ...rvice enai apara thto na sumplhrèsete kai na parousi sete sto topikÒ Grafe o Pwlˇsewn to ntupo øSigouri kai Uge aø sunhmm no sto parÒn egceir dio odhgièn Ant grafo tou diou entÚpou pr pei na up rcei m sa sth suskeuas a thj antl aj prin apÒ thn apostolˇ Otan pl on na sÚsthma pr pei na dialuqe procwre te sthn exoudet rwsˇ tou thrèntaj tij eidik j eqnik j diat xeij Χώνευση Έννοια του logo WEEE που υπ...

Page 50: ...val rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt A rendszer hibás működése például a rotor állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése esetén a forgási energia felszabadulhat VIGYÁZAT A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani ...

Page 51: ...g amelyeket ha nem követnek a berendezés károsodását okozhatják MEGJEGYZÉS A megjegyzések a szövegből vett fontos információt tartalmaznak TÁROLÁS A Varian Turbomolecular szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni szivattyúk szállításakor mozgatásakor és tárolásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni hőmérséklettartomány 2...

Page 52: ...érséklet égést okozhat FIGYELEM Kerülje a szivattyú ütését rázását vagy durva mozgatását üzem közben A csapágyak megsérülhetnek Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez A szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie a légköri nyomás fölött Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy különle...

Page 53: ...eni és el kell küldeni a helyi kereskedelmi irodához A lap egy másolatát szállítás előtt be kell illeszteni a rendszercsomagba Ha a rendszert le kell selejtezni azt ártalmatlanítani kell a konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően MEGSEMMISÍTÉS A címkén jelenlévő WEEE logo jelentése Az alább látható szimbólum az EK WEEE elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra Ez a szimbólum mely csa...

Page 54: ... bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników W przypadku uszkodzenia systemu na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika energia obrotowa może być zwolniona NIEBEZPIECZEŃSTWO Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji opisane w niniejszej i...

Page 55: ...Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania może dojść do uszkodzenia aparatury INFORMACJA Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu MAGAZYNOWANIE W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego i niezawodności pomp turbomolekularnych Varian muszą być przestrzegane następujące zalecenia podczas transportu przesunięcia i magazynow...

Page 56: ...czony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji nagrzewania Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia ciała na osobach UWAGA Unikać uderzeń wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej działania Mogą uszkodzić się łożyska Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub obojętny gaz bez pyłu l...

Page 57: ...ać do miejscowego biura sprzedaży kartę Bezpieczeństwo i Zdrowie załączoną do niniejszej instrukcji Jeden egzemplarz kopia karty musi być włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką Jeżeli system musi być poddany rozbiórce należy przystąpić do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami w meritum sprawy PRZETWORSTWO ODPADOW Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia lo...

Page 58: ...ují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů V případě systémové nefukčnosti např kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie VÝSTRAHA Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy ...

Page 59: ...zení POZNÁMKA Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu USKLADNĚNÍ Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Varian musíte dodržovat následující pokyny Při přepravě přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí Teplotní rozpětí 20 C až 70 C Rozpětí vlhkosti 0 až 95 bez srážení turbomol...

Page 60: ...o příslušenství nedotýkejte Vysoká teplota může způsobit popáleniny VAROVÁNÍ Během chodu chraňte vývěvu před nárazy vibracemi a prudkými pohyby Mohly by se poškodit ložiska Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn který je zbaven prachu a smítek Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary nad atmosférickým tlakem Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny sp...

Page 61: ...řiložený k tomuto návodu vyplnit a odeslat do kanceláře místního prodejního oddělení Před odesláním zařízení musíte k zařízení přibalit kopii tohoto listu Pokud se má zařízení vyřadit musí se zlikvidovat v souladu s konkrétními státními normami LIKVIDACE Význam loga WEEE nacházejícího se na štítku Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným WEEE Tento symbol platný jen pro státy Evropsk...

Page 62: ...ĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov V prípade systémovej poruchy napr pri kontaktu rotora statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia VAROVANIE Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy ...

Page 63: ...e UPOZORNENIE Upozornenia označujú postupy nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie zariadenia POZNÁMKA Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu UCHOVÁVANIE Ak chcete aby turbomolekulárne vývevy značky Varian podávali maximálny a spoľahlivý výkon dodržiavajte nasledujú ce pokyny neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu prenášania a uchovávania vývev rozsah tepl...

Page 64: ...y nedotýkajte turbovývevy ani žiadneho príslušenstva Vysoké teploty môžu spôsobiť popáleniny UPOZORNENIE Dbajte na to aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom kmitaniu alebo prudkým pohybom Mohli by sa poškodiť ložiská Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu zbaveného prachu a častíc Tlak na preplachovacom vstupe musí byť nižší než 2 bar pretlakový Vývevy sú vybavené šp...

Page 65: ...ík Zdravie a bezpečnosť Dotazník pripojený k návodu na použitie je potrebné vyplniť a odoslať miestnemu predajcovi Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním Ak je potrebná likvidácia systému musí prebehnúť v súlade so špecifickými predpismi danej krajiny LIKVIDÁCIA Význam loga WEEE nachádzajúceho sa na štítkoch Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s ná...

Page 66: ...ino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija OPOZORILO Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika ...

Page 67: ...e informacije iz besedila SHRANJEVANJE Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Varian Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil Pri pošiljanju premikanju in shranjevanju črpalk ne smete preseči naslednjih specifikacij temperaturno območje 20 C do 70 C območje relativne vlažnosti 0 do 95 brez kondenza Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko Ži...

Page 68: ... na vakuumsko ležišče Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte Visoka temperatura lahko povzroči opekline POZOR Izogibajte se udarcem oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom delovanja Nosilci se lahko poškodujejo Za prezračevanje črpalke uporabite zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara nad pritiskom atmosfere Za čr...

Page 69: ...polniti Health and Safety obrazec ki je priložen navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni Pred pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi standardi ODLAGANJE OPADKOV Pomen znamke WEEE na etiketah Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom WEEE Ta simbol ki velja samo v državah Evropske Sku...

Page 70: ...rgy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released WARNING To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed ...

Page 71: ...ollowed could cause damage to the equipment NOTE The notes contain important information taken from the text STORAGE In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Varian Turbomolecular pumps the following guide lines must be followed when shipping moving and storing pumps the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C re...

Page 72: ...ber or is not blanked Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high temperatures may cause burns CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump when in operation The bearings may become damaged Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pr...

Page 73: ...ched to this instruction manual must be filled in and sent to the local sales office A copy of the sheet must be in serted in the system package before shipping If a system is to be scrapped it must be disposed of in accor dance with the specific national standards DISPOSAL Meaning of the WEEE logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE Waste Electrical and ...

Page 74: ...igures show the eight kit models Pump Description The pump consists of a high frequency motor driv ing a turbine fitted with 8 bladed stages and 3 Macrotorr stages The turbine rotates in an anti clockwise direction when viewed from the high vacuum flange end The turbine is made of high strength aluminium alloy machined from a single block Model 969 8921 Model 969 8919 Model 969 8827 Model 969 8825...

Page 75: ...Foreline flange KF16 NW KF25 optional Rotational speed 56000 RPM Start up time 3 minutes Recommended forepump mechanical Varian DS 102 dry pump Varian SH 100 Operating position any Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional Operating ambient temperature 5 C to 35 C Coolant water flow 200 l h 0 89 GPM temperature 10 C to 30 C pressure 3 to 5 bar 45 to 75 Psi Bakeout te...

Page 76: ...lowing figures show the TV 301 Navigator outlines dimensions are in inches mm When the TV 301 Navigator has been stored at a tem perature less than 5 C wait until the system has reached the above mentioned temperature TV 301 Navigator outline 71 87 900 946 01 F ...

Page 77: ...TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure 72 87 900 946 01 F ...

Page 78: ...TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump Graph of nitrogen throughput test 73 87 900 946 01 F ...

Page 79: ... STOP IN 3 INTERLOCK IN 4 INTERLOCK IN 5 SPEED SETTING IN 6 SPEED SETTING IN 7 SOFT START IN 8 SOFT START IN 9 24 Vdc OUT 10 SPARE 11 PROGRAMMABLE SET POINT OUT 12 SPARE 13 FAULT OUTPUT OUT 14 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL OUT 15 GROUND PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL OUT Signal description START STOP input signal to start or stop the pump With the supplied cover connector the START STOP signal is connect...

Page 80: ... activated or low level active that is the output is normally at 24 Vdc and becomes 0 Vdc when activated Moreover if the reference quantity is the frequency or the current drawn it is possible to set the hys teresis in of the threshold value to avoid bouncing For example reference quantity frequency threshold 500 Hz hysteresis 1 activation type high level The set point output stays at 0 Vdc until ...

Page 81: ...ut of TV301 Navigator to an ex ternal system Two cases are considered 1 the customer supplies the 24 Vdc 2 the customer does not supply the 24 Vdc Please note that on the connector a 24 Vdc 60 mA voltage a GROUND signal and the open col lector pin are available Case 1 Case 2 with relay utilisation Case 2 with transistor utilisation 76 87 900 946 01 F ...

Page 82: ...nal INPUT POWER CONNECTION ON THE MODEL 969 8972 The following figure shows the input power con nection relevant to the model n 969 8972 RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J6 The communication protocol is the same see the structure below but only the RS 485 manages the address field Therefore to enable the RS 485 is nece...

Page 83: ...espond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE NOTE Using the RS 485 interface the message structure remains identical to the one used for the RS 232 interface the only difference being that the value assigned to the ADDRESS ADDR The controller can answers with the following re sponse types TYPE LENGTH VALUE DESCRIPTION Logic 1 byte After a read instruction of a logic window N...

Page 84: ...t 1 100 R W L Soft Start write only in Stop condition YES 1 NO 0 101 R W N Set Point type 0 Frequency 1 Current 2 Time default 0 102 R W N Set Point threshold expressed in Hz mA or s default 867 103 R W N Set Point delay time between the pump start and the set point check seconds 0 to 99999 default 0 104 R W L Set Point signal activation type the signal can be high level active or low level ac tiv...

Page 85: ...al rotation speed in Hz 100 to 963 300 R N Cycle time in minutes zeroed by the reset com mand 0 to 999999 301 R N Cycle number zeroed by the reset command 0 to 9999 302 R N Pump life in hours zeroed by the reset com mand 0 to 999999 320 to 399 Reserved to Varian service 400 R A CRC EPROM QE QE8XXXX where XXXX are variable 402 R A CRC Param PA PA8XXXX where XXXX are variable 404 R A CRC Parameter s...

Page 86: ...creen however does reduce the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on each pump The screen can be removed as shown in the fol lowing figure The following figure shows the overall flange di mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange 81 87 900 946 01 F ...

Page 87: ...nly when operat ing with an inlet pressure less than 10 4 mbar and with water cooling CAUTION If the chamber of the system is baked at a high temperature a shield should be installed to pre vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 C AIR COOLING KIT INSTALLATION TV 301 with Navigator Controller An air cooling kit m...

Page 88: ...WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient The two model part numbers are 969 9337 metallic model and 969 9347 plastic model Model 969 9337 Model 969 9347 CAUTION The items of the plastic model kit must be assem bled as shown in the following figure The assembled ki...

Page 89: ...low of about 200 l h NOTE The water electrical conductance must be 500 μs cm When the conductance is higher in closed water circuit the use of up to 20 of Ethyl Glycole is suggested VENT ACCESSORIES The vent valve and vent device allow to avoid un desired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent op eration TV 301 Navigator Controller Compatible Vent Valve mo...

Page 90: ... time can be increased up to about 220 min by means of a setting of the Navigator soft ware optional To install the vent valve execute the same steps as the vent valve model 969 9834 see the above paragraph Vent Device mod 969 9831 The vent device has adjustable delay time up to 36 min To install the vent device unscrew and remove the threaded plug see figure below Screw the flange mod 969 9108 on...

Page 91: ...manual PURGE VALVE INSTALLATION A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure and then screw the gas purge valve with a torque of 2 5 Nm as shown in the following figure SERIAL CABLE INSTALLATION The supp...

Page 92: ...e jumper on the interlock signal to start the pump MOUNTING 1 Side mounting NOTE The L shaped bracket P N 969 9970 is available as an option See the following figure 1 Screw the 4 fixing studs provided with the ac cessories bag in the holes on the L shaped bracket 2 Place the controller on the studs aligning the 4 rubber holes on the top of the controller 3 Press the controller towards the bracket...

Page 93: ...ing apply Fel pro C 100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Attach the units and tighten each one in turn Re peat the sequential tightening until the flange faces meet CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock Then fix the two flanges wi...

Page 94: ...Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0 1 to 0 8 mbar l s CAUTION To prevent bearing damage Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 10 sccm 0 17 mbar l s This value can be exceeded according to the process requirements Please contact Var ian for specific applications The purge gas throughput with the recommended forepump of 15 m3 h 11 CFM allows to achieve a hi...

Page 95: ...nd ap plied to the rotor ACCESSORIES AND SPARE PARTS DESCRIPTION PART NUMBER Mains cable NEMA Plug 3m long 969 9958 Mains cable European Plug 3m long 969 9957 Serial cable and Navigator Software 969 9883 Inlet screen ISO 100 969 9302 Inlet screen ISO 160 969 9303 Heater band 120 V 969 9804 Heater band 220 V 969 9803 Water cooling kit 969 9337 Plastic water cooling kit 969 9347 Air cooling kit for ...

Page 96: ...NTIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping Error Evaluation Return Calibration Other HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY Call Varian Custome...

Page 97: ...ate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Other Customer application Customer application PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS Pump doesn t start Noisy pump describe Heater failure Electrical problem Doesn t reach vacuum Over temperature Doesn t reach v...

Page 98: ...2 1263 Toll Free 0120 655 040 Korea Varian Technologies Korea Ltd Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Toll Free 080 222 2452 Mexico Varian S de R L de C V Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd 14F 6 No 77 Hsin Tai Wu Rd Sec 1 Hsi chi...

Reviews:

No comments

Brands by name

Popular brands

Load more brands