Varian TV 301 Navigator, Instruction Manual

Page: 60 / 98

P Ř ÍRU Č KA K POUŽITÍ
55 87-900-946-01(F)
Za provozu je t ř eba dodržovat následující podmínky dané
prost ř edím:
−
maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
−
teplota: od +5 °C do +35 °C (viz diagram tlak-teplota v
p
ř íloze “Technické informace”)
−
relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
V p
ř ítomnosti magnetických polí se výv ě va musí chránit
feromagnetickým stín ě ním. Viz podrobné informace v p ř íloze
"Technické informace".
Výv
ě va TV 301 Navigator se musí p ř ipojit k primárnímu
č erpadlu (viz "Technické informace").
Výv ě vu TV 301 Navigator lze instalovat v libovolné poloze.
Výv ě vu TV 301 Navigator upevn ě te v n ě jaké stabilní poloze a
p ř ívodní p ř írubu turbovýv ě vy p ř ipojte k pevné protip ř írub ě , která
snese torzní moment 1000 Nm kolem své osy.
Nap
ř . p ř írubu ISO-K lze p ř ipevnit p ř íchytkami z vysoce pevné
oceli (jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Varian). Následující
tabulka uvádí nezbytný po
č et p ř íchytek IC 63250 DCMZ pro
každou p ř írubu a p ř íslušný utahovací moment.
P Ř ÍRUBA P Ř ÍCHYTNÉ
ZA Ř ÍZENÍ
PO Č ET UTAHOVACÍ
MOMENT
ISO 100 K Spony M10 4 22 Nm
ISO 160 K Spony M10 4 22 Nm
Turbomolekulární výv
ě va se vstupní p ř írubou ConFlat se musí
p ř ipevnit k vakuové komo ř e použitím p ř íslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v p ř íloze "Technické
informace".
POZNÁMKA
Výv ě vu TV 301 Navigator nelze p ř ipevnit pomocí její podstavy.
VAROVÁNÍ
Podle sm ě rnice EN 61010-1 pat ř í výv ě va TV 301 Navigator do
druhé elektroinstala č ní (nebo p ř ep ěť ové) t ř ídy. Za ř ízení p ř ipojte
do napájecí sít ě , která spl ň uje uvedenou t ř ídu.
Výv ě va TV 301 Navigator je vybavena vstupními a výstupními
konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí
p
ř ipojit k externím obvod ů m tak, aby žádná elektrická sou č ást
nebyla p ř ístupná.
Zajist ě te, aby izolace za ř ízení p ř ipojeného k výv ě v ě TV 301
Navigator byla p ř im ěř ená i v p ř ípad ě jediné poruchy podle
sm ě rnice EN 61010-1.
Chcete-li informace o dopl
ň kovém p ř íslušenství, viz "Technické
informace".
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postup
ů .
P ř ed použitím systému prove ď te všechna elektrická a
pneumatická p ř ipojení.
P ř i zah ř ívání vakuové komory teplota p ř ívodní p ř íruby nesmí
p ř ekro č it 120 °C.
,
VÝSTRAHA!
Turbovýv ě vu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní p ř íruba
p ř ipojená k vakuové komo ř e.
B ě hem zah ř ívání se turbovýv ě vy ani jejího p ř íslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota m ů že zp ů sobit popáleniny.
VAROVÁNÍ
B ě hem chodu chra ň te výv ě vu p ř ed nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplyn
ě ní výv ě vy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak p ř i odv ě trávacím otvoru musí
být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
Pro
č erpání agresivních plyn ů jsou tyto výv ě vy vybaveny
speciálním otvorem, který umož ň uje plynulý p ř ítok inertního
plynu (nap ř . N
2
, Ar) pro ochranu ložisek výv ě vy (viz p ř ílohu
"Technické informace").
,
VÝSTRAHA!
Pokud používáte výv ě vu pro č erpání toxických, ho ř lavých nebo
radioaktivních plyn ů , dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Výv
ě vu nepoužívejte v p ř ítomnosti výbušných plyn ů .
Zapnutí a používání výv ě vy TV 301 Navigator
Pro uvedení výv ě vy TV 301 Navigator do provozu je nutné
p ř ivést sí ť ové nap ě tí. Integrovaný regulátor automaticky zjiš ť uje
blokování, p ř ítomnost spoušt ě cích signál ů a uvede výv ě vu do
provozu.
První spušt
ě ní výv ě vy je v režimu “pozvolného rozb ě hu”.
Jakmile bude rozb ě hový cyklus dokon č en, režim “pozvolného
rozb ě hu” se automaticky vypne a další starty již budou probíhat
bez “pozvolného rozb ě hu”. Chcete-li op ě t zapnout režim
“pozvolného rozb ě hu”, musíte jej aktivovat pat ř i č ným
programovým p ř íkazem (viz odstavec “POPIS KOMUNIKACE
RS 232/485” v p ř íloze “Technické informace”).
Zelená kontrolka umíst ě ná na č elním panelu základny výv ě vy
TV 301 Navigator indikuje provozní stavy systému blikáním:
•
bez blikání: výv ě va se otá č í normáln ě ;
•
pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “
č ekání na
blokování”;
•
rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Vypnutí výv ě vy TV 301 Navigator
Pro vypnutí výv ě vy TV 301 Navigator je nutné p ř erušit sí ť ové
nap ě tí. Vestav ě ný regulátor výv ě vu okamžit ě zastaví.
,
VÝSTRAHA!
Pro zajišt ě ní bezpe č nosti obsluhy musí být controller č erpadla
Turbo-V napájený trojžilovým p ř ívodním kabelem (viz tabulka
díl ů , které lze doobjednat) se zástr č kou (mezinárodn ě
schválenou). Používejte tento kabel se zástr č kou a pat ř i č n ě
uzemn ě nou zásuvku, abyste p ř edešli úrazu elektrickým
proudem a aby byly zaru č ené požadavky norem ES.
Vysoké nap ě tí, které vzniká v controlleru m ů že zp ů sobit vážné
zran ě ní, i smrtelné. P ř ed provád ě ním zásah ů údržby uvnit ř
jednotky p ř ívodní kabel odpojte.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení výv ě vy TV 301 Navigator v nouzové
situaci je t ř eba odpojit napájecí kabel ze sí ť ové zásuvky.