Varian Turbo-V300HT Instruction Manual Download Page 6

GEBRAUCHSANLEITUNG 

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87-900-875-01(C) 

ALLGEMEINES 

Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch 
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren 
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei 
Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise, 
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, 
nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der 
einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen 
übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. 
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V300HT handelt es sich um 
Turbomolekularpumpen für Hoch- und 
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich für jede Art 
von Gas oder gashaltige Gemische, nicht jedoch zur Förderung 
von Flüssigstoffen oder Festpartikel. 
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine 
(max. 56000 Upm) erzielt, die von einem 
Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-
V300HT-Pumpen enthalten keinerlei unweltschädliche 
Substanzen und eignen sich deshalb auch für 
Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben. 
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen 
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der 
Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische 
Informationen sind im Anhang "Technical Information" 
enthalten.  

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise 
folgendermaßen hervorgehoben:

 

 

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GEFAHR!

 

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des 
Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei 
unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen 
können. 

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ACHTUNG! 

Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den 
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung 
Schäden an der Anlage entstehen können. 

ANMERKUNG

 

Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus 
dem Text hervorgehoben werden. 

LAGERUNG 

Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen 
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen: 

− 

Temperatur:  von -20°C bis +70°C 

− 

Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% 

Nach extrem langer Lagerung muß die Pumpe bei 
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden 
(siehe Handbuch der Steuereinheit). 

VOR DER INSTALLATION 

Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung 
geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der 
zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden. 
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht 
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.  
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist 
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 
für Umweltschutz. 

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ACHTUNG! 

Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die 
Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen, 
nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe 
oder einen anderen geeigneten Schutz tragen. 

 
 
 
 

 

ANMERKUNG

 

Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre 
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis 
zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um 
Staubverschmutzungen zu vermeiden. 

INSTALLATION 

Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die 
ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und 
aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte 
Brandgefahr besteht. 
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen 
eingehalten werden: 

− 

Maximaldruck

: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck 

− 

Temperatur: von +5°C bis +35°C 

− 

Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend). 

 
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über 
Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms 
geschützt werden. 
 

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ACHTUNG!

 

Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim 
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage. 
 
 

 

 

Summary of Contents for Turbo-V300HT

Page 1: ...9 9040 series MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK...

Page 2: ...Turbo V 300HT...

Page 3: ...CAL SPECIFICATION 26 INLET SCREEN INSTALLATION 28 HEATER BAND INSTALLATION 29 WATER COOLING KIT INSTALLATION 29 AIR COOLING KIT INSTALLATION 31 GAS PURGE VALVE INSTALLATION 31 VENT VALVE INSTALLATION...

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Page 9: ...ER Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut causer des l sions aux personnes ATTENTION Pour le refoulement de l...

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Page 11: ...ocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCION Para el env o de aire de la bomba utilizar air...

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Page 13: ...tocar a turbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas ATEN O Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte se...

Page 14: ...anwezig zijn temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid 0 95 niet condenserend Als de opslagperiode van lange duur is de pomp met de SOFT START wijze opstarten zie handleiding regeleenheid UI...

Page 15: ...f inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar boven de atmsoferische druk bedragen ATTENTIE Vermijd schokken trillingen of bruuske verpla...

Page 16: ...ansport og oplagring af pumpene skal f lgende omgivelsesbetingelser v re overholdt temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed 0 95 ikke kondenserende Hvis pumperne oplagres gennem lang tid skal de...

Page 17: ...kler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar PAS P Undg sammenst d vibrationer eller bratte bev gelser i forbindelse med brug af turbopumpen Der er risiko for beskadigelse af le...

Page 18: ...e krav p omgivningsf rh llanden g ller vid transport och f rvaring av pumpen temperatur fr n 20 C till 70 C relativ luftfuktighet 0 95 utan kondens Efter l ng f rvaring skall pumpen startas med MJUKST...

Page 19: ...undvika br nnskador VIKTIGT Anv nd luft eller delgas fri fr n damm och partiklar f r luftning av pumpen Trycket vid inloppet f r vara h gst 2 bar ver atmosf riskt tryck VIKTIGT Undvik sammanst tninga...

Page 20: ...pene transporteres eller lagres m f lgende milj messige krav oppfylles temperatur fra 20 C til 70 C relativ fuktighet 0 95 uten kondens Skal utstyret lagres lengre m pumpen MYKSTARTES se kontrollenhet...

Page 21: ...er inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar over atmosf risk trykk FORSIKTIG Unng st t svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen n r den er i...

Page 22: ...ymp rist a koskevien ehtojen olla t ytettyin l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Jos varastointiaika on hyvin pitk tulee pumppu k ynnist SOFT START tavalla katso valvojan k ytt...

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Page 26: ...following envi ronmental requirements should not be exceeded temperature from 20 to 70 C relative humidity 0 95 non condensing If the storage time is long start the pump using the SOFT START mode see...

Page 27: ...as free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pressure CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump w...

Page 28: ...inless steel These are supported and accu rately positioned by spacer rings The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by...

Page 29: ...ical Varian SD 300 diaphragm Varian MD 60 Operating position any Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional Operating ambient temperature 5 C to 35 C Coolant water flow 2...

Page 30: ...TION 27 87 900 875 01 C Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanica...

Page 31: ...the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on each pump model and is supplied with a small tab for easy r...

Page 32: ...d only when operat ing with an inlet pressure less than 10 4 mbar and with water cooling CAUTION If the chamber of the system is baked at a high temperature a shield should be installed to prevent the...

Page 33: ...ed into the suit able holes of the pump Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or us ing a closed circuit cooling system The water temperature m...

Page 34: ...in the plate line up with those in the pump base Insert the respective washers and screws and tighten with a screwdriver Connect the fan to the controller GAS PURGE VALVE INSTALLATION A gas purge valv...

Page 35: ...ower failure 5 sec maximum and enables an automatic vent operation Unscrew the threaded plug see figure below Screw the vent valve into the pump inserting the supplied adapter between the valve and th...

Page 36: ...ring right position Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Four vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps a...

Page 37: ...o connect the Turbo V300HT pump to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the f...

Page 38: ...s When using a mechanical oil sealed pump it is advisable to in stall a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil back streaming Connection C ELECTRICAL The...

Page 39: ...pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is descr...

Page 40: ...ion no particular problem should be expected However if the effect is grater than the case should be carefully reviewed by Varian s specialist As a matter of fact in case of high magnetic fields also...

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