Varian Turbo-V300HT Instruction Manual Download Page 4

ISTRUZIONI PER L’USO 

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87-900-875-01(C) 

INFORMAZIONI GENERALI 

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti-
lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di i-
struzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla 
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ri-
tiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosser-
vanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da 
parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati 
o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. 
Le pompe della serie Turbo-V300HT sono pompe turbomoleco-
lari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare 
qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte 
per il pompaggio di liquidi o di particelle solide. 
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad 
elevata velocità (56000 giri/min. max) mossa da un motore e-
lettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V300HT 
sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi 
adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". 
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne-
cessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo 
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nel-
l'appendice “Technical information”. 

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: 

 

 

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PERICOLO!

 

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su 
una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in 
modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. 

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   ATTENZIONE! 

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure 
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-
chiatura. 

NOTA 

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal te-
sto. 

IMMAGAZZINAMENTO 

Durante il trasporto e l'immagazzinamento delle pompe non 
devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: 

− 

temperatura: da -20 °C a +70 °C 

− 

umidità relativa: 0 - 95% (non condensante) 

Se il tempo di immagazzinamento è molto lungo, avviare la 
pompa nel modo SOFT START (vedere il manuale del control-
ler). 

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE 

La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si 
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati 
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. 
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare at-
tenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad 
urti o vibrazioni. 
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è comple-
tamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la 
tutela dell'ambiente. 

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ATTENZIONE! 

Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le 
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. 
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. 

 

NOTA 

La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplice-
mente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mante-
nerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde 
evitare eventuale inquinamento da polvere. 

INSTALLAZIONE 

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad 
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, 
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. 
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le 
seguenti condizioni ambientali: 

− 

pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica 

− 

temperatura: da + 5 °C a +35 °C 

− 

umidità relativa: 0 - 95% (non condensante). 

In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere 
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Te-
chnical Information" per ulteriori dettagli. 
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V300HT devono 
essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian 
(serie 969-9424, 969-9524, 969-9870) e devono essere colle-
gate ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical In-
formation"). 

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ATTENZIONE!

 

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al mo-
mento del collegamento della turbopompa al sistema. 
 

 

 

Summary of Contents for Turbo-V300HT

Page 1: ...9 9040 series MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK...

Page 2: ...Turbo V 300HT...

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Page 9: ...ER Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut causer des l sions aux personnes ATTENTION Pour le refoulement de l...

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Page 16: ...ansport og oplagring af pumpene skal f lgende omgivelsesbetingelser v re overholdt temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed 0 95 ikke kondenserende Hvis pumperne oplagres gennem lang tid skal de...

Page 17: ...kler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar PAS P Undg sammenst d vibrationer eller bratte bev gelser i forbindelse med brug af turbopumpen Der er risiko for beskadigelse af le...

Page 18: ...e krav p omgivningsf rh llanden g ller vid transport och f rvaring av pumpen temperatur fr n 20 C till 70 C relativ luftfuktighet 0 95 utan kondens Efter l ng f rvaring skall pumpen startas med MJUKST...

Page 19: ...undvika br nnskador VIKTIGT Anv nd luft eller delgas fri fr n damm och partiklar f r luftning av pumpen Trycket vid inloppet f r vara h gst 2 bar ver atmosf riskt tryck VIKTIGT Undvik sammanst tninga...

Page 20: ...pene transporteres eller lagres m f lgende milj messige krav oppfylles temperatur fra 20 C til 70 C relativ fuktighet 0 95 uten kondens Skal utstyret lagres lengre m pumpen MYKSTARTES se kontrollenhet...

Page 21: ...er inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar over atmosf risk trykk FORSIKTIG Unng st t svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen n r den er i...

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Page 27: ...as free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pressure CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump w...

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Page 29: ...ical Varian SD 300 diaphragm Varian MD 60 Operating position any Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional Operating ambient temperature 5 C to 35 C Coolant water flow 2...

Page 30: ...TION 27 87 900 875 01 C Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanica...

Page 31: ...the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on each pump model and is supplied with a small tab for easy r...

Page 32: ...d only when operat ing with an inlet pressure less than 10 4 mbar and with water cooling CAUTION If the chamber of the system is baked at a high temperature a shield should be installed to prevent the...

Page 33: ...ed into the suit able holes of the pump Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or us ing a closed circuit cooling system The water temperature m...

Page 34: ...in the plate line up with those in the pump base Insert the respective washers and screws and tighten with a screwdriver Connect the fan to the controller GAS PURGE VALVE INSTALLATION A gas purge valv...

Page 35: ...ower failure 5 sec maximum and enables an automatic vent operation Unscrew the threaded plug see figure below Screw the vent valve into the pump inserting the supplied adapter between the valve and th...

Page 36: ...ring right position Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Four vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps a...

Page 37: ...o connect the Turbo V300HT pump to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the f...

Page 38: ...s When using a mechanical oil sealed pump it is advisable to in stall a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil back streaming Connection C ELECTRICAL The...

Page 39: ...pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is descr...

Page 40: ...ion no particular problem should be expected However if the effect is grater than the case should be carefully reviewed by Varian s specialist As a matter of fact in case of high magnetic fields also...

Reviews: