background image

INSTRU«’ES PARA O USO 

 

10 

87-900-878-01(C) 

 

 
As  bombas  turbomoleculares  da  sÈrie  Turbo-V700HT  devem 
ser  utilizadas  somente  com  um  dos  controladores  Varian 
especÌficos (sÈrie 969-9445, 969-9545, 969-9872) e devem ser 
ligadas  a  uma  bomba  prim·ria  (ver  esquema  em  "Technical 
Information"). 
A turbobomba pode ser instalada em qualquer posiÁ„o. Fixar a 
turbobomba em posiÁ„o est·vel ligando a flange de entrada da 
turbobomba  a  uma  contraflange  fixa  capaz  de  resistir  a  um 
torque de 4000 Nm ao redor do prÛprio eixo. 
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada ‡s 
c‚maras  de  v·cuo  atravÈs  de  bornes  duplos  ou  simples.  A 
tabela  a  seguir  descreve  o  n˙mero  de  bornes  necess·rios  e 
com qual torque devem ser apertados. 
 

FLANGE 

TIPO DE BORNE 

NG 

TORQUE 

ISO 200 

Borne duplo com rosca 
M10 

22 Nm 

 

Borne simples com rosca 
M10 

12 

22 Nm 

 
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada 
‡  c‚mara  de  v·cuo  atravÈs  de  parafusos  especÌficos  da 
mec‚nica  Varian.  Para  maiores  detalhes,  ver  o  apÍndice 
"Technical Information". 
Para fixar a bomba atravÈs da sua base, È necess·rio utilizar 
trÍs parafusos M6 fixados aos furos especÌficos existentes na 
base  da  bomba.  Os  parafusos  utilizados  devem  possuir  um 
limite  de  carga  de  500  N/mm

2

  e  devem  ser  fixados  com  um 

bin·rio de 3,1 Nm. 
Para  a  instalaÁ„o  dos  acessÛrios  opcionais,  ver  "Technical 
Information". 

UTILIZA«BO 

Todas  as  instruÁıes  para  o  correcto  funcionamento  da 
turbobomba est„o contidas no manual da unidade de controlo. 
Ler atentamente este manual antes da utilizaÁ„o. 
Para  atingir  melhores  pressıes  limite  È  possÌvel  aquecer  o 
invÛlucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o 
eventual  aquecimento  da  c‚mara  a  v·cuo,  a  temperatura  no 
flange  de  entrada  n„o  deve  ser  superior  a  120  VC.  Utilizar 
sempre  o  resfriamento  com  ·gua  durante  as  operaÁıes  de 
aquecimento. 

Utilizar sempre o resfriamento com ·gua durante as operaÁıes 
de aquecimento. 
 

!

!

!

!

 

PERIGO!

 

N„o  tocar  a  turbobomba  e  os  seus  eventuais  acessÛrios 
durante as operaÁıes de aquecimento. A elevada temperatura 
pode causar lesıes ‡s pessoas. 
 

!

!

!

!

 

ATEN«BO! 

Para  a  saÌda  de  ar  da  bomba  utilizar  ar  ou  g·s  inerte  sem 
poeiras  ou  partÌculas.  A  press„o  de  entrada  atravÈs  da  porta 
especÌfica  deve  ser  inferior  a  2  bar  (alÈm  da  press„o 
atmosfÈrica). 
 

!

!

!

!

 

ATEN«BO! 

Evitar  colisıes,  oscilaÁıes  ou  deslocamentos  bruscos  da 
turbobomba quando est· a funcionar. Os rolamentos poderiam 
sofrer danos. 
 

!

!

!

!

 

ATEN«BO! 

Para  bombear  gases  agressivos,  estas  bombas  est„o 
equipadas  com  uma  porta  especÌfica  atravÈs  da  qual  È 
necess·rio fornecer ‡ bomba um fluxo de g·s inerte (Azoto ou 
Argon) para proteger os rolamentos (ver o apÍndice "Technical 
Information").  
 

!

!

!

!

 

PERIGO!

 

Quando  a  bomba  È  utilizada  para  bombear  gases  tÛxicos, 
inflam·veis  ou  radioactivos,  seguir  os  procedimentos 
adequados tÌpicos para cada g·s. 
N„o usar a bomba na presenÁa de gases explosivos. 

MANUTEN«BO 

As  bombas  da  sÈrie  Turbo-V700HT  n„o  requerem  qualquer 
manutenÁ„o.  Qualquer  operaÁ„o  deve  ser  efectuada  por 
pessoal autorizado. 
 

!

!

!

!

 

PERIGO!

 

Antes de efectuar qualquer operaÁ„o na turbobomba desligar o 
conector  de  alimentaÁ„o,  introduzir  ar  na  bomba  abrindo  a 
v·lvula especÌfica, aguardar atÈ a completa paragem do rotor e 
atÈ  que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 
VC. 
 
Em caso de defeito È possÌvel usufruir do serviÁo de reparaÁ„o 
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite 
obter  uma  bomba  regenerada  que  substitua  a  bomba  com 
defeito. 

OBS. 

Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparaÁıes ou 
advanced  exchange  service,  È  indispens·vel  preencher  e 
enviar  ao  escritÛrio  local  de  vendas  a  ficha  "SeguranÁa  e 
Sa˙de"  anexa  ao  presente  manual  de  instruÁıes.  A  cÛpia  da 
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da 
expediÁ„o. 

 
Caso  uma  bomba  deva  ser  destruÌda,  proceder  ‡  sua 
eliminaÁ„o respeitando as normas nacionais especÌficas. 

!

!

!

!

 

PERIGO!

 

Para  evitar  lesıes  ‡  pessoa  nunca  colocar,  por  qualquer 
motivo,  os  dedos  ou  objectos  no  bocal  de  entrada  da 
turbobomba.  Aconselha-se  o  uso  da  rede  de  protecÁ„o 
(opcional). Se È utilizado um amortecedor de vibraÁıes ou 
um  respirador  met·lico  flexÌvel  no bocal de entrada, fixar 
sempre a turbobomba ‡ base. 

NBO!

 

Summary of Contents for 969-9057

Page 1: ...UALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK SIKIRJA ODHGIES C...

Page 2: ...Turbo V 700HT...

Page 3: ......

Page 4: ......

Page 5: ...RBOPUMP 25 TECHNICAL SPECIFICATION 26 INLET SCREEN INSTALLATION 28 HEATER BAND INSTALLATION 29 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 AIR COOLING KIT INSTALLATION 31 GAS PURGE VALVE INSTALLATION 32 VENT VA...

Page 6: ...seguenti condizioni ambientali temperatura da 20 QC a 70 QC umidit relativa 0 95 non condensante Se il tempo di immagazzinamento molto lungo avviare la pompa nel modo SOFT START vedere il manuale del...

Page 7: ...e aria o gas inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attra verso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar oltre la pressione atmosferica ATTENZIONE Evitare urti oscillazio...

Page 8: ...en k nnen ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden LAGERUNG Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen m ssen folgende klimatische Verh ltni...

Page 9: ...umpe noch eventuelle hei e Anschlu teile ber hrt werden denn es besteht Verbrennungsgefahr ACHTUNG F r die Bel ftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Edelgase verwenden Der Eingang...

Page 10: ...ller respecter les conditions environnementales suivantes temp rature de 20UC 70UC humidit relative 0 95 non condensante Si le temps d emmagasinage est tr s long mettre la pompe en marche en mode SOFT...

Page 11: ...sonnes ATTENTION Pour le refoulement de l air de la pompe utiliser de l air ou du gaz inerte exempt de poussi re ou de particules La pression d entr e travers la porte pr vue cet effet doit tre inf ri...

Page 12: ...ones ambientales siguientes temperatura de 20TC a 70TC humedad relativa 0 95 no condensadora Si el periodo de almacenamiento es muy largo poner en marcha la bomba en modalidad SOFT START v ase el manu...

Page 13: ...culas La presi n de entrada a trav s de la puerta apropiada deber ser inferior a 2 bar por encima de la presi n atmosf rica ATENCION Ev tense golpes oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbob...

Page 14: ...bombas n o devem ser superadas as seguintes condi es ambientais temperatura de 20VC a 70VC humidade relativa 0 95 n o condensante Se o tempo de armazenagem for muito longo accionar a bomba em SOFT STA...

Page 15: ...acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas ATEN BO Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras ou part culas A press o de e...

Page 16: ...atie die uit de tekst is gelicht OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de pompen moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn temperatuur van 20RC tot 70RC relatieve vochtigheid 0 95 ni...

Page 17: ...ijk letsel veroorzaken ATTENTIE Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar boven de a...

Page 18: ...skade p udstyret BEM7RK Bem rkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger OPLAGRING Under transport og oplagring af pumpene skal f lgende omgivelsesbetingelser v re overholdt temperatur fra 20R...

Page 19: ...nvendes luft eller en inaktiv luftart der er fri for st v og partikler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar PAS P Undg sammenst d vibrationer eller bratte bev gelser i forbin...

Page 20: ...maskinskada skall uppst OBSERVERA Detta visar p viktig information i texten F RVARING F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid transport och f rvaring av pumpen temperatur fr n 20QC till 70Q...

Page 21: ...pumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador VIKTIGT Anv nd luft eller delgas fri fr n damm och partiklar f r luftning av pumpen Trycket vid inloppet f r vara h gst 2 b...

Page 22: ...t skades MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten LAGRING N r pumpene transporteres eller lagres m f lgende milj messige krav oppfylles temperatur fra 20MC til 70MC rela...

Page 23: ...til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar over atmosf risk trykk FORSIKTIG Unng st t svingnin...

Page 24: ...mi tekstiss k sitellyt t rke t tiedot VARASTOINTI Pumppujen kuljetuksen ja varastoinnin aikana t ytyy seuraavien ymp rist a koskevien ehtojen olla t ytettyin l mp tila 20PC 70PC suhteellinen kosteus 0...

Page 25: ...in kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkasia Sis njohtavan...

Page 26: ...keu SHMEIWSH SHMEIWSH SHMEIWSH SHMEIWSH Oi shmei seij peri coun shmantik j plhrofor ej pou coun apospaste ap to ke meno APOQHKEUSH APOQHKEUSH APOQHKEUSH APOQHKEUSH Kat th di rkeia thj metafor j kai th...

Page 27: ...a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH PROSOCH PROSOCH PROSOCH Gia na diocete sete me a ra thn antl a crhsimopoie ste a ra adran j a rio kaqar ap sk nh lla stoice a H p esh eis dou diam sou...

Page 28: ...ollowing envi ronmental requirements should not be exceeded temperature from 20M to 70 MC relative humidity 0 95 non condensing If the storage time is long start the pump using the SOFT START mode see...

Page 29: ...articles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pressure CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump when in operation The b...

Page 30: ...gs The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding ro tor discs These are made of aluminium alloy During n...

Page 31: ...60 Operating position any Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional Operating ambient temperature 5q C to 35q C Coolant water flow 200 l h 0 89 GPM temperature 10q C to...

Page 32: ...TION 27 87 900 878 01 C Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanica...

Page 33: ...e inlet screen however does reduce the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on each pump The inlet scree...

Page 34: ...tact with the pump wall to ob tain fast and efficient heating Switch on the heater while the turbopump is in op eration In the event of turbopump overheat the heater will be automatically cut out by t...

Page 35: ...Two 6 mm 1 4 internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles NOTE These hoses must be held on the respective noz zles using hose clips to avoid that t...

Page 36: ...specification air flow 25 l s 51 CFM input voltage 120 Vac 50 60 Hz maximum power 17 W dimensions 119 x 119 mm 4 69 x 4 79 inches Position the fan on the pump ensuring that the holes in the plate line...

Page 37: ...ge port cover as shown in the follow ing figure and then screw the gas purge valve with a torque of 2 5 Nm as shown in the following figure VENT VALVE INSTALLATION The vent valve mod 969 9833 allows t...

Page 38: ...INSTALLATION The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure adjustable time up to 36 min and enables an automatic vent operation Unscrew an...

Page 39: ...LANGE To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the f...

Page 40: ...mechanical oil sealed pump it is advisable to in stall a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil backstreaming Connection C ELECTRICAL The turbopump is con...

Page 41: ...pheric pressure in the system 4 Turn off the Turbopump 5 When the Turbo V pump and the backing pump are stopped and the system is at at mospheric pressure for a better bearing pro tection it is advisa...

Page 42: ...ime 969 9833 Vent device with adjustable delay time 969 9831 Forepump DS 402 with 1 ph 3 ph universal motor 949 9382 Dry forevaccum pump MD 60 120 V 949 9411 Dry forevacuum pump MD 60 220 V 949 9412 T...

Page 43: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Page 44: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Page 45: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

Reviews: