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In diesem Fall ist es angebracht, bei einem Druck unterhalb 2,0x10
-6
mbar die
Anode des Sensors durch Ausheizen von Ablagerungen und adsorbierten Gas-
molekülen zu reinigen. Die Anode erwärmt sich dabei durch ohmsche Heizung auf
bis zu 800
◦
C.
Der Parameter dient zum Abfragen und Steuern des Ausheizvorganges.
»0«:
Degas aus
»1«:
Degas ein
Die Druckmessung läuft während des Degas-Vorgangs weiter. Die-
ser endet automatisch nach ca. 3 Minuten, kann jedoch jeder-
zeit abgebrochen werden. Während des Degas-Vorgangs blinkt die
Status-LED des VSH rot.
Modus Wertangleichung - Sensor Transition (ST)
Im VSH erfolgt standardmäßig ein kontinuierlicher Übergang zwischen Pirani- und
Heißkathodenbereich. Dabei findet eine Wertangleichung statt.
Um das Verhalten des Transmitters den Prozessanforderungen optimal anzupas-
sen, können mit dem Parameter »Sensor Transition« (ST) folgende Optionen kon-
figuriert werden:
»0«:
Keine Wertangleichung, d.h. direktes Umschalten zwischen
Pirani und Heißkathode bei 4,0x10
-4
mbar
(Heißkathode ein bei 4,0x10
-4
mbar / aus bei 6,0x10
-4
mbar)
»1«:
Kontinuierliche Wertangleichung im Bereich
1,0 ... 2,0x10
-3
mbar
(Heißkathode ein bei 3,0x10
-3
mbar / aus bei 4,0x10
-3
mbar)
(Default)
»2«:
Kontinuierliche Wertangleichung im Bereich
2,0 ... 5,0x10
-3
mbar
(Heißkathode ein bei 8,0x10
-3
mbar / aus bei 9,0x10
-3
mbar)
D[p]:
∗
Keine Wertangleichung, direktes Umschalten zwischen Pirani
und Heißkathode beim Druck p
F[p1] T[p2]:
∗
Kontinuierliche Wertangleichung im Druckbereich p1 ... p2
Wertebereich:
p, p1, p2: 4,0x10
-4
... 1,0x10
-2
mbar
∗
) Nicht über Profinet ansprechbar
Heißkathode aktivieren und deaktivieren - Cathode Control (CC)
Bei bestimmten Prozess-Schritten kann es gewünscht sein, das von der Geräte-
elektronik automatisch gesteuerte Ein- und Ausschalten des Heißkathoden-Sen-
sors zu unterdrücken.
VSH-Profinet-200116
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