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6 Technische Daten
Messprinzip
Wärmeleitfähigkeit Impuls-Pirani,
gasartabhängig
Messbereich
VSP: 1000 - 1,0x10
-4
mbar (750 - 1,0x10
-4
Torr)
VCP: 1000 - 5,0x10
-4
mbar (750 - 5,0x10
-4
Torr)
Max. Überlast
10 bar abs.
Genauigkeit
VSP:
1000 ... 20 mbar: ca. 30% v. Messwert
20 ... 2,0x10
-3
mbar: 10% v. Messwert
VCP:
1000 ... 10 mbar: ca. 30% v. Messwert
10 ... 1,0x10
-2
mbar: 10% v. Messwert
Wiederholbarkeit
VSP: 20 ... 2,0x10
-3
mbar: 2% v. Messwert
VCP: 10 ... 1,0x10
-2
mbar: 5% v. Messwert
Materialien mit
Vakuumkontakt
VSP: Edelstahl 1.4307, Wolfram, Nickel, Glas
VCP: Edelstahl 1.4307, Platin/Rhodium, Nickel,
Glas
Reaktionszeit
< 200 ms
Betriebstemperatur
5 ... 60
◦
C
Lagertemperatur
-20 ... +70
◦
C
Ausheiztemperatur
max. 150
◦
C am Flansch
(Spannungsversorgung ausgeschaltet)
Spannungsversorgung
15 - 30 VDC
VSP/VCP-0-10 V-201126
Summary of Contents for VCC200MA4
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Page 17: ...17 7 Konformit tserkl rung VSP VCP 0 10 V 201126...
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