Page 25 of 26
Continue To Table 4. Conversion Factors
GAS
GAS CODE
(SEMIE52-0302)
HEAT
( Cal/g
℃
)
ρ
(g/l 0
℃
)
Factors
GeH
4
043
0.1405
3.4180
0.569
H
2
007
3.4224
0.0899
1.010
HBr
010
0.0861
3.6100
1.000
HCl
011
0.1911
1.6270
1.000
HF
012
0.3482
0.8930
1.000
HI
017
0.0545
5.707
0.999
H
2
S
022
0.2278
1.5200
0.844
He
001
1.2418
0.1786
1.415
Kr
005
0.0593
3.7390
1.415
N
2
013
0.2486
1.2500
1.000
Ne
002
0.2464
0.9000
1.415
NH
3
029
0.5005
0.7600
0.719
NO
016
0.2378
1.3390
0.976
NO
2
026
0.1923
2.0520
0.741
N
2
O
027
0.2098
1.9640
0.709
O
2
015
0.2196
1.4270
0.992
PCl
3
193
0.1247
6.1270
0.358
PH
3
031
0.2610
1.5170
0.691
PF
5
143
0.1611
5.6200
0.302
POCl
3
102
0.1324
6.8450
0.302
SiCl
4
108
0.1270
7.5847
0.284
SiF
4
088
0.1692
4.6430
0.348
SiH
4
039
0.3189
1.4330
0.599
SiH
2
Cl
2
067
0.1472
4.5060
0.412
SiHCl
3
147
0.1332
6.0430
0.340
SF
6
110
0.1588
6.5160
0.264
SO
2
032
0.14890
2.8580
0.687
TiCl
4
114
0.1572
8.4650
0.206
WF
6
121
0.0956
13.2900
0.215
Xe
006
0.0379
5.8580
1.415