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Geschäftsführer: Dr. Bernt Götz • Telefon 03641/66880 • Fax 03641/668866 • www.piezosystem.com

Bedienungsanleitung

Digitaler Piezoverstärker

Serie 30DVxxx

instruction manual

digital piezo amplifier

series 30DVxxx

Bitte lesen Sie sorgfältig die Bedienungsanleitung vor dem Einschalten des Gerätes. Beachten Sie

bitte insbesondere die Sicherheitshinweise!

Please read carefully before switching on the power! Please see safety instructions for using

piezoelectric actuators and power supplies!

Summary of Contents for 30DV300

Page 1: ... 30DVxxx instruction manual digital piezo amplifier series 30DVxxx Bitte lesen Sie sorgfältig die Bedienungsanleitung vor dem Einschalten des Gerätes Beachten Sie bitte insbesondere die Sicherheitshinweise Please read carefully before switching on the power Please see safety instructions for using piezoelectric actuators and power supplies ...

Page 2: ...Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com 2 Bedienungsanleitung Seite 3 34 deutsch instruction manual pages 35 63 english Deutsche Version Letzte Änderung 03 07 2015 von AS English version last change 2015 07 03 by AS ...

Page 3: ...mgebungsbedingungen 8 7 Kurzanleitung Funktionskontrolle 8 8 Beschreibung des digitalen Piezoverstärkers der Serie 30DVxxx 9 8 1 Allgemeines 9 8 2 Bedienelemente 9 8 2 1 Frontseite 9 8 2 2 Rückseite 10 8 3 Funktion 11 8 3 1 Technische Daten 14 8 3 2 MOD MON 15 8 3 3 Anschlussbelegungen 17 8 4 Kommunikation und Befehlssatz 18 8 4 1 Kommunikation 18 8 4 2 Befehlssatz 19 8 4 3 Statusregister 22 8 5 F...

Page 4: ...itung beschreibt die digitalen Piezoverstärker der Serie 30DVxxx von piezosystem jena Weiterhin finden Sie Sicherheitshinweise beim Umgang mit Piezoelementen Bei Problemen wenden Sie sich bitte an den Hersteller des Gerätes piezosystem jena Stockholmer Str 12 07747 Jena Tel 0 36 41 66 88 0 2 Zertifizierung von piezosystem jena Die Firma piezosystem jena GmbH arbeitet seit 1999 nach einem nach DIN ...

Page 5: ...he Gegenspannung erzeugt werden die zu Überschlägen führen kann Durch strukturbedingte Verlustprozesse innerhalb der Keramik kommt es zu einer Erwärmung beim dynamischen Betrieb Bei ungenügenden Kühlungsmaßnahmen kann es zu Ausfällen kommen Eine Erwärmung über der Curietemperatur übliche Werte ca 140 C 250 C lässt den piezoelektrischen Effekt verschwinden Piezoaktoren können elektrisch als Kondens...

Page 6: ...hlfunktionen des Gerätes führen ACHTUNG Achten Sie auf ausreichende Belüftung der Steuerelektronik Lüftungsschlitze dürfen nicht blockiert werden Die Geräte sollten nicht in unmittelbarer Nähe von Wärmequellen z B Heizung Ofen usw aufgestellt werden Betreiben Sie die Geräte von piezosystem jena nur in sauberer und trockener Umgebung Nur dafür speziell vorgesehene Geräte und Piezoelemente dürfen un...

Page 7: ...nn Stellen Sie niemals Geräte auf das Netzkabel Stellen Sie das Gerät so auf dass die Lüftungsschlitze nicht blockiert werden und eine ausreichende Belüftung der Steuerelektronik gewährleistet wird Stecken Sie den Netzstecker vollständig in die Schutzleitersteckdose damit es sich nicht versehentlich lösen kann Halten Sie den Netzstecker immer frei zugänglich damit er im Notfall gezogen werden kann...

Page 8: ...ktors wenn vorhanden müssen parallel zueinander stehen keine Kratzer auf Grund und Deckplatte Bitte informieren Sie piezosystem jena sofort bei Beschädigungen des Systems Bitte lassen Sie sich Transportschäden vom Lieferanten Paketdienst o ä bestätigen Netzschalter ist ausgeschaltet vorhandene Betriebsspannung ist mit der am Gerät angegebenen identisch Schließen Sie die Stromversorgung an Schließe...

Page 9: ...igkeiten erzielbar Aufgrund der hohen Ausgangsleistung mit 20bit Auflösung garantiert er in Bezug auf Geschwindigkeit Anstiegszeit Einschwingoptimierung und Genauigkeit hervorragende Parameter in der Positionierung Der digitale Piezoverstärker 30DVxxx ermöglicht die getrennte Austauschbarkeit von Aktor und Steuerelektronik Alle relevanten Daten sind eigenständig auf einem ID Chip im Aktorstecker g...

Page 10: ...Geschäftsführer Dr Bernt Götz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com 10 8 2 2 Rückseite Lüfter Temperatur gesteuert RS232 Schnittstelle Versorgungs spannung ...

Page 11: ...6 bit VCC ON OL CL OVL UDL OFFSET DSP 32 bit P Term I Term Notch Low Pass Slew Rate Function Generator SPI Bus DAC 16 bit ADC 16 bit 16 16 Power Amplifier ANALOG CAN Bus I C Bus PIEZO Back Plane Modulation Monitor Aktuator Sensor ID Chip Sensor Amplifier HVout Actuator ID Position Amplifier 30DV50 VCC D Term Control Position 16 2 OL CL 165V 30V HVout Digital I O Abbildung 1 Funktionsgruppen des Ve...

Page 12: ...g eines Integral Anteiles wird diese Regelabweichung beseitigt Die charakteristische Kenngröße des I Anteiles ist die Nachstellzeit ki Das ist die Zeit die der I Anteil bei einer sprunghaften Änderung der Regelabweichung benötigt um das Stellglied in die vorgegebene Position zu bringen Die Eingabe großer Werte von ki ergeben kleine Nachstellzeiten und damit kürzere Regelzeiten yi yi ki err Ts Ts 1...

Page 13: ...gen von außen den Regelkreis nicht zum Eigenschwingen bringen können Im ungeregelten Betrieb wird die Frequenz ausgeblendet die den Aktor zum Schwingen anregen könnte Die Kerbfrequenz und die Bandbreite können frei eingestellt werden Bei Verwendung des Kerbfilters kann ein erhöhtes Positionsrauschen auftreten Die reglerspezifischen Kennwerte kp ki kd sowie die Anstiegsgeschwindigkeit und die Kerbf...

Page 14: ...0mA für nanoXTM Aktoren Ausgangsspannungsrauschen 0 3mVRMS 500Hz Aktor Messsystemstecker PIEZO 15pol D Sub Stecker Monitorausgang 0 10V Signalquelle programmierbar Ausgangsimpedanz 1kΩ Modulationseingang 0 10V abschaltbar Eingangsimpedanz 25kΩ Triggerausgang low aktiv 5V 0V mit pull up Drainwiderstand 240Ω MOD MON Buchse ANALOG 9pol D Sub Buchse Offsetspannung 20V 130V über digitalen Drehgeber Übe...

Page 15: ...r Ansteuerung empfehlenswert Bitte beachten Sie den Innenwiderstand des Monitorausgangs MON Monitorausgang default 0 0 Positionswert im geregelten Betrieb 1 Sollwert 2 Reglerausgangsspannung 3 Regelabweichung mit Vorzeichen 4 Betrag der Regelabweichung 5 Aktorspannung 6 Positionswert im ungeregelten Betrieb Tabelle 2 Monitor 0 Der Positionswert des Messsystems im geregelten Betrieb hängt vom jewei...

Page 16: ...nkt 2 Eingang Endstufe von der Dynamik der Endstufe und der Kapazität des Aktors abhängig 20V 130V entsprechen 0V 10V Monitorspannung Die Aktorspannung kann wie folgt aus der gemessenen Monitorspannung rückgerechnet werden Uaktor Umon 15 20V 6 Im Gegensatz zum geregelten Betrieb wo der Nullpunkt der Aktordehnung auf den Positionswert 0V kalibriert ist liegt die minimale Dehnung im ungeregelten Bet...

Page 17: ...9 MESS Positionssignal 8 8V 10 15V Betriebsspannung Messsystem 15V 12 SCL I C Bus SCL 13 DETECT Aktordetektor 15 Piezomasse Aktormasse Tabelle 4 Pinbelegung nicht für externen Gebrauch Über den 15pol D Sub Stecker wird der Aktor angeschlossen Es gehen gleichzeitig die Steuerspannung zum Piezoaktor das vom integrierten Messsystem generierte Positionssignal zum digitalen Regler und die im ID Chip de...

Page 18: ...rden Notwendig ist ein serielles Verbindungskabel 1 1 mitgeliefert zwischen der COM Schnittstelle des PC und der 9pol D Sub Buchse des Verstärkers Die Eigenschaften der Verbindung sind wie folgt 115200 Baud 8 bit keine Parität 1 Stoppbit Flusssteuerung Software XON XOFF Abbildung 4 Terminal Einstellungen In den Eigenschaften der Verbindung sollte noch das Häkchen bei Eingegebene Zeichen lokal ausg...

Page 19: ...eigt alle verfügbaren Befehle an stat zeigt den Inhalt des Statusregisters an siehe Seite 23 mess Positionswertabfrage µm bzw mrad 1 ktemp Temperaturabfrage Verstärker C rohm Betriebszeit des Aktors seit Auslieferung min rgver gibt die Versionsnummer des Digitalreglers aus Tabelle 6 Abfragen Befehle mit Werteingabe Befehl Wert Enter Befehl Beschreibung Wertebereich fan schaltet Lüfter ein aus 0 au...

Page 20: ...rbfilter Bandbreite 3dB 0 20000 max 2 notch_fr Hz Ipon Tiefpassfilter ein ausschalten 0 ausgeschaltet 1 eingeschaltet Ipf Tiefpass Schnittfrequenz 1 20000 Hz gfkt interner Frequenzgenerator siehe auch Tabelle 9 0 ausgeschaltet 1 Sinus 2 Dreieck 3 Rechteck 4 Rauschen 5 Wobbeln gasin Gen Amplitude Sinus 0 100 gosin Gen Offset Sinus 0 100 gfsin Gen Frequenz Sinus 0 1 9999 9 Hz gatri Gen Amplitude Dre...

Page 21: ...troller des 30DVxxx sendet zyklisch alle 500ms einen aktuellen Messwert an den Schnittstellenpuffer Dieser kann über die serielle Schnittstelle ausgelesen werden Ein häufigeres Abfragen dieses Wertes ändert die Aktualisierungsrate nicht Bei Bewegungen des Aktors über dieser Frequenz kommt es zu Alias Effekten d h die ausgegebenen Werte zeigen nicht mehr den realen Signalverlauf Beispiel Ein Aktor ...

Page 22: ...gesteckt 0 1 2 1 22 21 0 0 Aktor ohne Messsystem 0 1 Dehnmessstreifen 1 0 kapazitives Messsystem 0 2 4 3 23 4 24 0 geregeltes System 1 ungeregeltes System 0 16 5 25 6 26 0 Aktorsteuerspannung nicht freigegeben 1 Aktorsteuerspannung freigegeben 0 64 7 27 0 Regelung aus 1 Regelung ein 0 128 8 28 11 10 9 211 210 29 0 0 0 Generator aus 0 0 1 Sinus ein 0 1 0 Dreieck ein 0 1 1 Rechteck ein 1 0 0 Rausche...

Page 23: ...Hz 1 3Tsw 2Tsw 1Tsw sweep s Achtung Während des Wobbelns dürfen keine Triggersignale ausgegeben werden trgedge 0 t1 T Ampl 0 100 20 t2 z B 90 t t1 T Ampl 0 100 20 t2 t 50 Dreieckfunktion Rechteckfunktion Die eingegebene Amplitude ist die Spitze Spitze Amplitude Die Wobbeltiefe ist fest auf 1Hz 10kHz 4 Dekaden eingestellt Dabei erhöht sich die Frequenz logarithmisch In diesem Fall repräsentiert der...

Page 24: ...d die Verfahrgeschwindigkeit des Aktors zu verringern Weiterhin muss sichergestellt werden dass der von trgss und trgse eingegrenzte Bereich vollständig durchlaufen wird zuzüglich 0 2 des Gesamthubes andernfalls werden keine Triggerpunkte generiert da kein Flankenwechsel erkannt wird Achtung Während der Betriebsart Wobbeln sweep keine Ausgabe von Triggersignale einstellen trgedge 0 Beispiel trgedg...

Page 25: ...gse n trgsi trgse Endpunkt trgse Endpunkt Trigger bei trgss n trgsi n 2 Trigger bei trgss n trgsi n 1 Startpunkt trgss Funktionsprinzip der Flankenerkennung Die Flankenerkennung funktioniert wie folgt Bei steigender Flanke wird immer der höchste Messwert Weg gemerkt Sinkt der Messwert um mehr als 0 2 des Weges unter den gemerkten Weg so wird eine fallende Flanke erkannt Danach wird immer der klein...

Page 26: ...rsignal ausgelöst wird µm bzw mrad trgedge Triggerflanke Dieser Wert gibt an in welcher Richtung eine Triggerschwelle passiert werden muss um ein Triggersignal auszulösen 0 aus 1 steigend 2 fallend 3 beide Flanken 4 steigende Halbwelle 5 fallende Halbwelle 6 Wandertrigger trglen Triggerlänge Dieser Wert bestimmt die zeitliche Länge des Triggersignales n 20µs n 1 255 Tabelle 10 Parameter Triggerung...

Page 27: ...braucht jedoch nicht aktiviert zu werden gfkt 0 Um einen Scan auszuwählen wird der Scantyp auf Sinus sct 1 oder Dreieck sct 2 gesetzt Der Scan wird mit ss 1 gestartet Während eines Scans kann der Status abgefragt werden mit ss CR Die Antwort ss 2 bedeutet der Scan läuft noch ss 0 bedeutet der Scan ist abgeschlossen Ein laufender Scan kann mit ss 0 CR abgebrochen werden Beispiel Sinusscan mit 100 A...

Page 28: ...enaue Abrasterung einer Probe Durch die Verwendung einer Sinusfunktion werden Beschleunigungskräfte und damit Schwingungen minimiert durch die Triggererzeugung können Aktionen in genau definierten Aktorpositionen ausgelöst werden Abbildung 8 Sinusscan mit Triggerimpulsen auf der steigenden bzw auf beiden Flanken Abbildung 9 Dreieckscan mit Triggerimpulsen auf der steigenden Flanke ...

Page 29: ...t sich der Aktor unterhalb des Regelbereiches am negativsten Punkt Pos 1 des Gesamtstellbereiches Pos 1 bis Pos 4 s Abbildung 3 Wird anschließend in den geregelten Betriebsmodus durch Druck auf den digitalen Drehgeber Offset umgeschaltet bewegt sich der Aktor auf die Nullposition des Regelbereiches Pos 2 Wird nun der Sollwert mittels Drehgeber Modulationssignal oder mit dem set Befehl über RS232 a...

Page 30: ...tchon notchf und notchb veränderbar Die Wobbelfunktion des internen Funktionsgenerators kann zur Ermittlung der Hauptresonanz genutzt werden Dazu stellt man mit den Befehlen gaswe goswe und gtswe die Amplitude des Wobbelgenerators auf 5 die Offset auf 0 und die Wobbelzeit auf 1 1 s Dekade Den Piezoverstärker stellt man durch Druck auf den Drehgeber auf ungeregelt OL CL LED am Verstärker leuchtet g...

Page 31: ...dies durch Erhöhung des kd Wertes erreicht werden Das Überschwingen nach dem Anstieg der Kurve sollte auf 1 des Gesamtsprunges eingestellt werden Bei diesen Einstellungen kann es zum Aufschwingen des gesamten Systems kommen Sofort ist die Regelung durch Druck auf den digitalen Drehgeber auszuschalten und die Werteänderung rückgängig zu machen Im Zweifelsfall sind die Standardwerte neu zu laden Län...

Page 32: ...nicht erreicht Lösen Sie den Aktor von der Peripherie Sind die LED s erloschen lag einer der o g Fehler vor Hinweis Einbaulage Hängenden Aufbauten bzw Aktoren upside down können ebenfalls Probleme verursachen Aktor schwingt bei closed loop in Resonanzfrequenz Reglereinstellungen überprüfen ki reduzieren kd reduzieren zurückgelesene Messwerte differieren um festen Betrag von digitaler Sollwertvorga...

Page 33: ...n an den jeweiligen Verstärker übergeben plug play Zur Durchführung hochgenauer Verstellungen im sub μm Bereich ist es sinnvoll das Gerät ca 2 Stunden vor der Messung in Betrieb zu nehmen Erst nach dieser Zeit haben sich stabile Temperaturverhältnisse eingestellt Die höchste Auflösung und Genauigkeit ist mit der digitalen Sollwertvorgabe erreichbar Aus diesem Grund sollte der analoge Modulationsei...

Page 34: ...Geschäftsführer Dr Bernt Götz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com 34 12 Ihre Notizen ...

Page 35: ...ronmental conditions 40 7 instructions for checking the function of the system quick start 40 8 how to operate the digital amplifier series 30DVxxx 41 8 1 common introduction 41 8 2 user elements connections 41 8 2 1 front panel 41 8 2 2 back panel 42 8 3 function 43 8 3 1 technical data 46 8 3 2 MOD MON 47 8 3 3 pinning 48 8 4 communication commands 49 8 4 1 communication via RS232 49 8 4 2 comma...

Page 36: ...ezosystem jena You will also find additional information regarding piezoelectric products Definition All systems from piezosystem jena such as electronics actuators and optical systems are called units If you have any problems please contact the manufacturer of the system piezosystem jena Stockholmer Str 12 07747 Jena Phone 49 36 41 66 88 0 2 certification of piezosystem jena The company piezosyst...

Page 37: ...down discharging or high dynamic application will occur After excitation of the actuators by a voltage in the upper control range the ceramic will move and generate an opposite high voltage after disconnection Heating of the ceramic material will occur during dynamic operation and is caused by structure conditional loss processes This may cause failure if the temperature exceeds specified values c...

Page 38: ...its except those that are designed for that purpose e g actuators Only work with the units in a clean and dry environment Only specially prepared units e g actuators can work under other conditions Please only use original parts from piezosystem jena piezosystem jena does not give any warranty for damages or malfunction caused by additional parts not supplied by piezosystem jena Additional cables ...

Page 39: ...s Do not place heavy objects on any cables e g power cords sensor cables actuator cables optical cables Do not block ventilated openings or place the units near a radiator oven or other heat sources Plug in the power cord completely so that it cannot loosen inadvertently Leave sufficient space around the power plug so that it can be unplugged easily If objects are placed around the power plug you ...

Page 40: ...s of the actuator if it does not have another shape should be parallel each to each other and not have any scratches If there is any damage to the system please contact our local representative immediately If the packaging material is damaged please confirm this with the shipping company Ensure that the main voltage supplied in your country is the same as the one installed in the system Check the ...

Page 41: ...sitioning with the highest accuracy available It includes rise time optimization and an active oscillation damping for every special application The 30DVxxx comes with an auto calibration routine and automatic sensor identification ASI All values of the actuating system like capacitance measurement system resonant frequency and motion are automatically stored in the amplifier An automatic amplifie...

Page 42: ...Geschäftsführer Dr Bernt Götz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com 42 8 2 2 back panel fan temperature controlled RS232 interface Main supply voltage ...

Page 43: ...e amplifiers Processor Mitsubishi 16 bit VCC ON OL CL OVL UDL OFFSET DSP 32 bit P Term I Term Notch Low Pass Slew Rate Function Generator SPI Bus DAC 16 bit ADC 16 bit 16 16 Power Amplifier ANALOG CAN Bus I C Bus PIEZO Back Plane Modulation Monitor Aktuator Sensor ID Chip Sensor Amplifier HVout Actuator ID Position Amplifier 30DV50 VCC D Term Control Position 16 2 OL CL 165V 30V HVout Digital I O ...

Page 44: ... is the time constant governing the time it takes for the output to get a certain value For a step input it is the time taken for the output to equal the input yi yi ki err Ts Ts 1 sample frequency 50 kHz 1 ki time constant yi output of i term In general the differential term combats oscillation it adds damping and increases the reaction speed of the PI controller yd kd 1 Ts err err n 1 err n 1 co...

Page 45: ...frequency will be damped by another order of magnitude While using open loop you can also switch on the notch filter to reduce stimulation of the resonant frequency Using the notch filter might increase noise The PID specific parameters kp ki and kd are stored in the actuator s ID chip by default These parameters will work for most applications Depending on your special application and load the me...

Page 46: ...r nanoXTM actuators Output noise 0 3mVRMS 500Hz Actuator measurement connector PIEZO 15pin D Sub plug Monitor output 0 10V programmable signal source Monitor output impedance 1kΩ Modulation input 0 10V disconnectable Modulation input impedance 25kΩ Trigger output low active 5V 0V with pull up drain resistor 240Ω MOD MON connector ANALOG 9pin D Sub socket Offset voltage 20V 130V via encoder Safety ...

Page 47: ...ommand description value monsrc value monitor output default 0 0 position value in closed loop 1 reference input 2 PID command voltage 3 closed loop deviation incl sign 4 closed loop deviation absolute 5 actuator voltage 6 position value in open loop table 2 monitor 0 position voltage in closed loop it means an actuator with 80 μm in closed loop generates 0 10V 8 μm V or 0 125 V μm 1 the reference...

Page 48: ...The value gets adjusted To calculate the open loop position voltage back from the measured monitor voltage use the following formula Umes OL Umon 2 5V 2 The default setting is the position value in closed loop see No 0 actuator displacement 10V 0V closed loop Upos 0 Umon open loop Upos source Umon 10V 0V actuator displacement actuator displacement open loop Upos fitted 6 open loop closed loop fitt...

Page 49: ...nal use table 4 pinning The actuator is connected to this plug The actuator voltage goes to the piezo the position signal from the measurement system goes to the DSP and the integrated actuator information is stored on an ID chip which goes to the main controller It is important that the locking screws are screwed into the front panel 8 4 communication commands 8 4 1 communication via RS232 The 30...

Page 50: ...uest µm or mrad 1 ktemp amplifier temperature value degree Celsius rohm operation time of actuator since shipping minutes rgver version number of loop controller request table 6 commands without values commands with values command value Enter command description value fan switches the fan on off 0 off 1 on setf set the output format of measurement value mess 0 three decimal places 1 scientific for...

Page 51: ...ator see table 12 0 off 1 sine 2 triangle 3 rectangle 4 noise 5 sweep gasin generator amplitude sine 0 to 100 gosin amplitude offset sine 0 to 100 gfsin generator frequency sine 0 1 to 9999 9 Hz gatri generator amplitude triangle 0 to 100 gotri amplitude offset triangle 0 to 100 gftri generator frequency triangle 0 1 to 9999 9 Hz gstri symmetry of triangle 0 1 to 99 9 default 50 garec generator am...

Page 52: ... value to the signal buffer of the interface every 500 milliseconds This value can then be read out via the interface Subsequent increasing of the query sequence for this value does not increase the refreshing rate If the piezoelectric actuator moves with higher frequencies aliasing occurs In this case the displayed values no longer correspond with the actual motion value Example An actuator with ...

Page 53: ... 0 open loop 1 closed loop 0 128 8 28 11 10 9 211 210 29 0 0 0 generator off 0 0 1 sine on 0 1 0 triangle on 0 1 1 rectangle on 1 0 0 noise on 1 0 1 sweep on 0 512 1024 1536 2048 2560 12 212 0 notch filter off 1 notch filter on 0 4096 13 213 0 low pass filter off 1 low pass filter on 0 8192 14 214 15 215 0 fan off 1 fan on 0 32768 table 8 status register 8 5 function generator The 30DVxxx amplifie...

Page 54: ... or mrad the length of a trigger signal can be set to multiples of 20µs standard is 1 20µs Take care that is there no overlap between two trigger impulses In this case you must minimize the length of the impulses trglen 1 or decrease the movement speed of the actuator Furthermore you must be sure that the trigger range between trgss and trgse passes through plus 0 2 of the total stroke otherwise n...

Page 55: ...fter reaching the 30µm position the next Trigger position is set to 10µm the trigger impulse will be generated when the 10µm position is reached from a lower position than 10µm rising edge Extended trigger functions trgedge 4 5 7 The function trgedge 4 triggers at any change of moving direction with trgedge 5 the output is inverted to trgdge 4 No parameters will needed Abb trgedge 4 Abb trgedge 5 ...

Page 56: ...stored value a rising edge will be recognized This principle depends on whether or not trgss and trgse are bordered by a working area that crosses at least 0 2 of total stroke out of the borders trgss lower trigger position this is the lowest value where a trigger signal is generated unit µm or mrad trgse upper trigger position this is the highest value where a trigger signal is generated unit µm ...

Page 57: ...d of the function generator sine or triangle This will require that the relevant functional parameters be set frequency amplitude offset or symmetry The function generator does not need to be activated gfkt 0 To select a scan set the scan type to sine sct 1 or triangle sct 2 The scan starts with ss 1 During a scan the status can be requested with ss CR The answer ss 2 means the scan is still runni...

Page 58: ...ge of a sine scan open loop Application The combined use of trigger generation and scan function permits a highly exact scan of a probe Acceleration forces and with it oscillations are minimized by using a sine function and actions can be initiated by the trigger generation at exactly defined actuator positions sketch 6 sine scan with trigger impulses at rising both edges sketch 7 triangle scan wi...

Page 59: ...external voltage is applied to the MOD input the actuator is in the most negative position pos 1 of its deviation pos 1 to pos 4 see sketch 2 By pressing the knob in the operation mode changes to closed loop and the OL CL LED changes to yellow When closed loop is turned on the actuator moves to the start position of the closed loop range pos 2 Turning the encoder to the right will increase the dev...

Page 60: ...ator can be used to determine the resonant frequency Use function generator in the choose menu of the actuator Set the amplitude to 5 the offset to 0 and the sweep time to 1 1sec decade Set the amplifier to open loop OL CL LED lights green With the MOD MON cable MON plug you can connect the oscilloscope to the ANALOG socket of the amplifier The following adjustments on the oscilloscope are require...

Page 61: ...sed loop Check the PID controller adjustments reduce the ki value Reduce the kd value Check whether the function generator is still working read back parameters always deviate at the same level from the digital target value Please switch off the analog modulation input when it s not used Command modon 0 see 8 4 2 commands External signals can cause an interference or a command value offset actuato...

Page 62: ...3 error register For high precision positioning in nm resolution you must warm up the amplifier 2 hours before use A constant temperature is beneficial Consider that a variation of 5 Kelvin results in elongation by 13μm in steel with a length of 200mm The best results for resolution and accuracy can only be achieved by setting the digital target values Therefore please switch off the analog modula...

Page 63: ...Geschäftsführer Dr Bernt Götz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com 63 12 your notes ...

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