(J)
5
4. 仕様
高分解能タイプ
汎用分解能タイプ
DK812SAFR、
DK812SAFLR、
DK805SAFR、
DK805SAFLR
DK812SBFR、
DK812SBFLR、
DK805SBFR、
DK805SBFLR
DK812SAFR5、
DK812SAFLR5、
DK805SAFR5、
DK805SAFLR5
DK812SBFR5、
DK812SBFLR5、
DK805SBFR5、
DK805SBFLR5
出力
A/B/ 原点 電圧差動型ラインドライバ出力 (EIA-422 に準拠)
最小分解能
0.1 µm
0.5 µm
測定範囲
DK812S:
12 mm, DK805S:
5 mm
精度 (20℃にて)
1 µm p-p
1.5 µm p-p
測定力
(20℃にて)
下方位 : 0.6 ± 0.3 N
DK812S 横方位 : 0.5 ± 0.3 N
上方位 : 0.4 ± 0.3 N
下方位 : 0.45 ± 0.25 N
DK805S 横方位 : 0.40 ± 0.25 N
上方位 : 0.35 ± 0.25 N
原点
1 カ所 ( スピンドル移動 1 mm の位置にて)
最大応答速度
80 m/min
42 m/min
250 m/min
100 m/min
エアー駆動
真空引き込み
(DK812SAFLR / DK812SAFLR5 / DK805SAFLR /
DK805SAFLR5 /DK812SBFLR / DK812SBFLR5 /
DK805SBFLR / DK805SBFLR5)
耐振動
(20 〜 2000 Hz)
100 m/s
2
耐衝撃 (11 ms)
1000 m/s
2
保護等級
※ 1
SAFR / SBFR : IP66, SAFLR / SBFLR : IP64 (IP67
※ 2
)
使用温度範囲
0℃ 〜 50℃
保存温度範囲
‒20℃ 〜 60℃
電源電圧
DC +5 V ± 5%
消費電力
1 W
ケーブル長
2.5 m
ステム径
φ 9.5
0
‒0.009
質量
※ 3
約 30 g
測定子
超硬合金球面付 (DZ-123)
取付ねじ M2.5
スチール球面付
取付ねじ M2.5
付属品
専用スパナ、取扱説明書、補足説明書、+P M4 × 5 ねじ (2 本)、
締め付けナット、ウェーブワッシャ、回り止めピン、クランプスパナ、
ホースエルボ (SAFL と SBFL タイプのみ )、
2 mm 調整用カラー (DK812S のみ )
出力ケーブル長
(後続電子部まで)
22 m max.
寿命
※ 4
3000 万回
※ 1 インターポレーション BOX とコネクタを除く
※ 2 付属のホースエルボおよびφ 4 mm チューブを使用時
※ 3 ケーブル部とインターポレーション BOX を除く
※ 4 当社規定の評価方法による
Summary of Contents for DK812SAFR
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