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문제점
원인
해결방안
옵
션
진공 펌프 작동되지
않음
.
Vacuum pump does not
work.
진공 펌프가 켜져 있지 않음
.
스위치를 켭니다
.
제어용 리드선 플러그가 연결되어 있지
않음
.
본체의 진공 펌프를 제어하기 위한
커넥터에 플러그를 연결합니다
.
진공 펌프 작동 후 약
1
분 동안 배기음이
변하지 않음
(
압력이
상승하지 않음
).
진공 펌프 및 본체의 연결 호스가
연결되어 있지 않음
.
호스를 노즐에 단단히 연결합니다
.
드레인 밸브 열려 있음
.
밸브를 닫습니다
.
먼지가 노즐이 있는 덮개와 패킹 사이의
공간에 붙음
.
먼지를 제거한다
.
진공 펌프를 정지한
후에도 대기압으로
되돌아 가지 않음
.
리크 밸브가 손상됨
.
장비의 운전을 멈추고
,
제품 구입처에
연락하시기 바랍니다
.
리크용 필터가 막힘
.
필터를 교체합니다
.
옵
션
트랩 모니터가 작동되지
않음
.
Trap monitor does not
work.
기판 박스의 커넥터
(
암
)
이 본체측
커넥터
(
수
)
에 연결되어 있지 않음
.
커넥터를 제대로 연결합니다
.
센서 케이블의 플러그가 기판 박스의
커넥터에 연결되어 있지 않음
.
케이블을 제대로 연결합니다
.
투명 커버가 더러움
.
커버를 청소합니다
.
※
1
UT-3000L
을 사용할 때
,
주변 온도가 낮아서 발생하는 과냉을 방지하기 위해서 표시된 트랩 온도
「
-65
℃
」
부근에서
컨센트레이터의 팬을 켜고 끕니다
.
이 현상은 기기의 오작동으로 간주하지 마십시오
.
