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10.
트랩 모니터
Trap monitor unit
Model
Catalog No.
UT-M
216400
이 장치는 콜드 트랩에서 제습된 수분 함량을 감지
하고 트랩 모니터 램프를 깜박인다
.
※
Amount of dehumidified moisture content
UT-3000A,4000A
1
±
0.6ℓ
UT-3000L,4000L
4
±
1ℓ
11.
진공펌프 컨트롤 유닛
Control unit for vacuum pump
Model
Catalog No.
UT-C
216230
진공 펌프는 조작 패널의 진공 펌프 스위치로 켜고 끌
수 있다
.
이 유닛은 정전이 발생하면 진공 펌프의 작동을
중지하고 자동 누출 밸브를 통해 본체에서 공기를 방출한다
.
또한 진공 펌프의 총 운전 시간을 표시한다
.
Substrate plate box
Main unit of sensor
Swivel plate for sensor
Clamp for substrate
plate box
Supplied screws
M3 screw
（×
2
）
M3 flat surface screw
（×
2
）
Control unit for vacuum pump
Connector unit
Clamp
（
top
）
Clamp
（
bottom
）
Φ20.5 Hose joint
（
2 pieces
）
Φ16 Hose joint
（
2 pieces
）
Hose band
（
2 piece each
）
（Large）
（Small）
※ 이 장치에서 표시할 수 있는 최대 총 시간은
999.9
시간입니다
.
