Edwards nXL110i, Instruction Manual

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Contents
1. Safety and compliance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.1 Definition of Warnings and Cautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.2 Safety symbols. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2. General description. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.1 Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.2 Pump controller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.3 Interface control panel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.4 Logic interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.5 Auto-run. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.6 Auxiliary connector socket. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.7 Pump controller configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
3. Technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.1 Operating and storage conditions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.2 Performance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3.3 Materials exposed to gases. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3.4 Purge gas specification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.5 Electrical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4. Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
4.1 Installation safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
4.2 Unpack and inspect. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
4.3 Mechanical installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4.4 Leak test the system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
4.5 Electrical installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
4.5.1 Connect the electrical supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.6 Connect the system. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.6.1 Purge gas connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.6.2 Connection for remote control and monitoring. . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.6.3 Connect the logic interface to the control equipment. . . . . . . . . . . . 21
4.7 Additional safety equipment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
5. Commission the pump. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
6. Operation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.1 Operation safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6.2 Operational modes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.2.1 Manual control mode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.2.2 Parallel and serial control mode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
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