BRUKERVEILEDNING
18
87-900-862-01(E)
Turbo-V 70LP serien turbo-molekulære pumper må kun brukes
med en av de spesielle Varian kontrollere (969-9405, 969-9505,
969-9507 eller 969-9508), og må koples til hovedpumpen (se
skjema i "Teknisk informasjon").
Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling. Fest turbopumpen
i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en koplingsflens
med et dreiemoment på 200 Nm rundt aksen, eller ved å bruke
bunnfestesettet.
Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende
tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante
strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene.
FLENS TYPE
KLEMME ANTALL STRAMME-
MOMENT
ISO 63
Dobbel klemme
gjenge M10
4 22
Nm
Enkel
klemme
gjenge M8
4 11
Nm
Turbopumpen med innløpsflens ConFlat skal festes på
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Varian.
For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”.
For å feste pumpen til fundamentet er det nødvendig å bruke tre
M4-skruer, som skrues fast i hullene på pumpens fundament.
Skruene skal klare en belastning på 500 N/mm
2
skruenes riktige
strammemoment er 0,9 Nm.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk informasjon".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i
kontrollenhetens manual.
Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk.
For å øke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en
varmer som kan fås som ekstrautstyr. Mens oppvarmingen av
kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke
overskride 120°C.
Bruk alltid vannavkjøling under oppvarmingen
!
ADVARSEL!
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader.
!
FORSIKTIG
Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av
pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar.
!
FORSIKTIG
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av
turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.
!
FORSIKTIG
Ved pumping av aggressive gasser må det brukes
spesialversjoner av Turbo - V 70LP pumpen. Disse pumpene har
en spesiell port som kan brukes til flyt av inaktive gass med trykk
mellom 0.4 og 1 mbar l/s.
VEDLIKEHOLD
Turbo-V 70LP serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på
pumpen må kun utføres av autorisert personell.
!
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples
tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og
deretter vente til rotoren har stanset og pumpens
overflatetemperatur er lavere enn 50°C.
Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som
kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte pumpen.
MERK
Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller som
innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet "Helse
og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En
kopi av dette arket må vedlegges pumpen som sendes tilbake.
Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
!
ADVARSEL!
For å unngå skader må du aldri stikke fingrer eller andre
gjenstander inn i inngangen til turbopumpen. Vi anbefaler på
det sterkeste å bruke en beskyttelsesskjerm (valgfritt
ekstrautstyr). Brukes en vibrasjonsdemper eller fleksible
metallbelger på inngangen, må du kontrollere at pumpen er
godt festet til underlaget.
NEI
