Varian Turbo-V300HT Скачать руководство пользователя страница 13

INSTRUÇÕES PARA O USO 

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87-900-875-01(C) 

 

 
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V300HT devem 
ser utilizadas somente com um dos controladores Varian 
específicos (série 969-9424, 969-9524, 969-9870) e devem ser 
ligadas a uma bomba primária (ver esquema em "Technical 
Information"). 
A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição. Fixar a 
turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da 
turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um 
torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo. 
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada às 
câmaras de vácuo através de bornes duplos ou simples. A 
tabela a seguir descreve o número de bornes necessários e 
com qual torque devem ser apertados. 
 

FLANGE 

TIPO DE BORNE 

N° 

TORQUE 

ISO 100 

Borne duplo com rosca 
M10 

4 22 

Nm 

 

Borne simples com rosca 
M8 

8 11 

Nm 

ISO 160 

Borne duplo com rosca 
M10 

4 22 

Nm 

 

Borne simples com rosca 
M10 

8 22 

Nm 

 
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada 
à câmara de vácuo através de parafusos específicos da 
mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice 
"Technical Information". 
Para fixar a bomba através da sua base, é necessário utilizar 
três parafusos M6 fixados aos furos específicos existentes na 
base da bomba. Os parafusos utilizados devem possuir um 
limite de carga de 500 N/mm

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 e devem ser fixados com um 

binário de 3,1 Nm. 
Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical 
Information". 

UTILIZAÇÃO 

Todas as instruções para o correcto funcionamento da 
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. 
Ler atentamente este manual antes da utilização. 
Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o 
invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante o 
eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no 
flange de entrada não deve ser superior a 120 ºC. Utilizar 
sempre o resfriamento com água durante as operações de 
aquecimento. 
Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações 
de aquecimento. 

 

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PERIGO!

 

Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios 
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura 
pode causar lesões às pessoas. 
 

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ATENÇÃO! 

Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem 
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta 
específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão 
atmosférica). 
 

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ATENÇÃO! 

Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da 
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam 
sofrer danos. 
 

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ATENÇÃO! 

Para bombear gases agressivos, estas bombas estão 
equipadas com uma porta específica através da qual é 
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou 
Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical 
Information").  
 

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PERIGO!

 

Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, 
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos 
adequados típicos para cada gás. 
Não usar a bomba na presença de gases explosivos. 

MANUTENÇÃO 

As bombas da série Turbo-V300HT não requerem qualquer 
manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por 
pessoal autorizado. 
 

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PERIGO!

 

Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o 
conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a 
válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e 
até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC. 
 
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação 
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite 
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com 
defeito. 

OBS. 

Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou 
advanced exchange service, é indispensável preencher e 
enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e 
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da 
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da 
expedição. 

 
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua 
eliminação respeitando as normas nacionais específicas. 

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PERIGO!

 

Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer 
motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da 
turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção 
(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou 
um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar 
sempre a turbobomba à base. 

NÃO!

 

Содержание Turbo-V300HT

Страница 1: ...9 9040 series MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK...

Страница 2: ...Turbo V 300HT...

Страница 3: ...CAL SPECIFICATION 26 INLET SCREEN INSTALLATION 28 HEATER BAND INSTALLATION 29 WATER COOLING KIT INSTALLATION 29 AIR COOLING KIT INSTALLATION 31 GAS PURGE VALVE INSTALLATION 31 VENT VALVE INSTALLATION...

Страница 4: ...e seguenti condizioni ambientali temperatura da 20 C a 70 C umidit relativa 0 95 non condensante Se il tempo di immagazzinamento molto lungo avviare la pompa nel modo SOFT START vedere il manuale del...

Страница 5: ...E Per la mandata all aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attra verso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar oltre la pressione...

Страница 6: ...en k nnen ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden LAGERUNG Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen m ssen folgende klimatische Verh ltni...

Страница 7: ...W hrend des Ausheizens d rfen weder die Pumpe noch eventuelle hei e Anschlu teile ber hrt werden denn es besteht Verbrennungsgefahr ACHTUNG F r die Bel ftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie...

Страница 8: ...s renseignements importants isol s du texte EMMAGASINAGE Pendant le transport et l emmagasinage des pompes il faudra veiller respecter les conditions environnementales suivantes temp rature de 20 C 70...

Страница 9: ...ER Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut causer des l sions aux personnes ATTENTION Pour le refoulement de l...

Страница 10: ...car da os al equipo NOTA Las notas contienen informaci n importante extra da del texto ALMACENAMIENTO Durante el transporte y el almacenamiento de las bombas se deber cumplir con las condiciones ambie...

Страница 11: ...ocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCION Para el env o de aire de la bomba utilizar air...

Страница 12: ...s destacadas do texto ARMAZENAGEM Durante o transporte e a armazenagem das bombas n o devem ser superadas as seguintes condi es ambientais temperatura de 20 C a 70 C humidade relativa 0 95 n o condens...

Страница 13: ...tocar a turbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas ATEN O Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte se...

Страница 14: ...anwezig zijn temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid 0 95 niet condenserend Als de opslagperiode van lange duur is de pomp met de SOFT START wijze opstarten zie handleiding regeleenheid UI...

Страница 15: ...f inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar boven de atmsoferische druk bedragen ATTENTIE Vermijd schokken trillingen of bruuske verpla...

Страница 16: ...ansport og oplagring af pumpene skal f lgende omgivelsesbetingelser v re overholdt temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed 0 95 ikke kondenserende Hvis pumperne oplagres gennem lang tid skal de...

Страница 17: ...kler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar PAS P Undg sammenst d vibrationer eller bratte bev gelser i forbindelse med brug af turbopumpen Der er risiko for beskadigelse af le...

Страница 18: ...e krav p omgivningsf rh llanden g ller vid transport och f rvaring av pumpen temperatur fr n 20 C till 70 C relativ luftfuktighet 0 95 utan kondens Efter l ng f rvaring skall pumpen startas med MJUKST...

Страница 19: ...undvika br nnskador VIKTIGT Anv nd luft eller delgas fri fr n damm och partiklar f r luftning av pumpen Trycket vid inloppet f r vara h gst 2 bar ver atmosf riskt tryck VIKTIGT Undvik sammanst tninga...

Страница 20: ...pene transporteres eller lagres m f lgende milj messige krav oppfylles temperatur fra 20 C til 70 C relativ fuktighet 0 95 uten kondens Skal utstyret lagres lengre m pumpen MYKSTARTES se kontrollenhet...

Страница 21: ...er inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar over atmosf risk trykk FORSIKTIG Unng st t svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen n r den er i...

Страница 22: ...ymp rist a koskevien ehtojen olla t ytettyin l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Jos varastointiaika on hyvin pitk tulee pumppu k ynnist SOFT START tavalla katso valvojan k ytt...

Страница 23: ...den loukkaantumisia HUOMIO P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkasia Sis njohtavan paineen siihen sopivan aukon l pi t ytyy olla alle 2 bar ia paitsi...

Страница 24: ...skeu SHMEIWSH SHMEIWSH SHMEIWSH SHMEIWSH Oi shmei seij peri coun shmantik j plhrofor ej pou coun apospaste ap to ke meno APOQHKEUSH APOQHKEUSH APOQHKEUSH APOQHKEUSH Kat th di rkeia thj metafor j kai t...

Страница 25: ...tij ergas ej q rmanshj H uyhl qermokras a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH PROSOCH PROSOCH PROSOCH Gia na diocete sete me a ra thn antl a crhsimopoie ste a ra adran j a rio kaqar ap sk n...

Страница 26: ...following envi ronmental requirements should not be exceeded temperature from 20 to 70 C relative humidity 0 95 non condensing If the storage time is long start the pump using the SOFT START mode see...

Страница 27: ...as free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pressure CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump w...

Страница 28: ...inless steel These are supported and accu rately positioned by spacer rings The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by...

Страница 29: ...ical Varian SD 300 diaphragm Varian MD 60 Operating position any Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional Operating ambient temperature 5 C to 35 C Coolant water flow 2...

Страница 30: ...TION 27 87 900 875 01 C Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanica...

Страница 31: ...the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on each pump model and is supplied with a small tab for easy r...

Страница 32: ...d only when operat ing with an inlet pressure less than 10 4 mbar and with water cooling CAUTION If the chamber of the system is baked at a high temperature a shield should be installed to prevent the...

Страница 33: ...ed into the suit able holes of the pump Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or us ing a closed circuit cooling system The water temperature m...

Страница 34: ...in the plate line up with those in the pump base Insert the respective washers and screws and tighten with a screwdriver Connect the fan to the controller GAS PURGE VALVE INSTALLATION A gas purge valv...

Страница 35: ...ower failure 5 sec maximum and enables an automatic vent operation Unscrew the threaded plug see figure below Screw the vent valve into the pump inserting the supplied adapter between the valve and th...

Страница 36: ...ring right position Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Four vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps a...

Страница 37: ...o connect the Turbo V300HT pump to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the f...

Страница 38: ...s When using a mechanical oil sealed pump it is advisable to in stall a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil back streaming Connection C ELECTRICAL The...

Страница 39: ...pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is descr...

Страница 40: ...ion no particular problem should be expected However if the effect is grater than the case should be carefully reviewed by Varian s specialist As a matter of fact in case of high magnetic fields also...

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