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22

VSR-de-141106

9

9

9

9

30

69

4

8

C

VSR53

VSR54

6

Technische Daten

Messprinzip

Piezoresistiv / Wärmeleitfähigkeit Pirani

Messbereich

1200 - 1x10

-4

mbar (900 - 1x10

-4

Torr)

Max. Überlast

4 bar abs.

Genauigkeit

1200 - 10 mbar: ca. 0,3 % f.s. (v. Skalenendwert)
10 - 0,002 mbar: 10 % f.r. (v. Messwert)

Materialien mit
Vakuumkontakt

Edelstahl 1.4301, Wolfram, Nickel, Glas, Gold, SiO

2

Reaktionszeit

1200 - 10 mbar: < 30 ms (Piezo)
< 10 mbar: < 100 ms (Pirani)

Betriebstemperatur

5...60

o

C

Lagertemperatur

-40...+65

o

C

Ausheiztemperatur

max. 125°C am Flansch

Spannungsversorgung

20 - 30 VDC

Leistungsaufnahme

max. 2,5 W,
zusätzlich 0,8 W für Relais und LCD

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Содержание VSR53D

Страница 1: ...VSR53D VSR53DL VSR54D VSR54DL Vakuum Messumformer Vacuum Transducer Betriebsanleitung Operating Instructions ...

Страница 2: ...ng 8 4 Betrieb 9 4 1 Allgemeines 9 4 2 Kommunikation 10 4 2 1 Die serielle Schnittstelle des VSR 10 4 2 2 Kommunikationsprotokoll 11 4 2 3 Befehlsübersicht 11 4 3 Bedienung des VSR 13 4 4 Nachjustieren 14 4 5 Gasart Korrekturfaktoren 17 4 6 Schaltpunkte 18 4 7 Modus Wertangleichung 19 5 Wartung und Service 20 6 Technische Daten 22 Konformitätserklärung 24 Hersteller Thyracont Vacuum Instruments Gm...

Страница 3: ...aßnahmen Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen der Prozessmedien infolge der Eigener wärmung des Produkts Gerät nicht eigenmächtig umbauen oder verändern Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und...

Страница 4: ...bel 6m für Anzeigegerät VD10 VD12 W1515006 Gegenstecker SubD 15polig XB1500002 2 3 Produktbeschreibung Der Vakuum Messumformer VSR dient zur Absolutdruck Messung im Bereich 1200 1x10 4 mbar Das Gerät kann an ein Thyracont Anzeigegerät angeschlos sen oder gemäß Anschlussbelegung mit einer kundeneigenen Spannungsver sorgung betrieben werden Das analoge Mess Signal 1 5V 8 58V ist dabei über den gesam...

Страница 5: ... Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs und Gewährleistungsanspruch Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber 3 Installation 3 1 Hinweise zur Installation Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vornehmen Aufstellungsort Innenräume Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt Temperatur 5 C 60 C Rel Luftfe...

Страница 6: ...tem Flansch zu vorzeitiger Verschmutzung und Ausfall des Geräts führen Zu bevorzugen ist der Einbau von oben d h mit nach unten gerichtetem Flansch damit sich Staub und Kondensat nicht in der Messzelle ansammeln können Der Messumformer ist in dieser Lage ab Werk justiert Das Gerät beim Einbau nicht gewaltsam verdrehen dies kann zur mechanischen Beschädigung führen Bei Überdruck im Vakuumsystem 1 b...

Страница 7: ...etrieben ist ein geeignetes Messkabel zu verwenden siehe Zubehör Anschluss des Messumformers niemals mit Spannung führen dem Kabel herstellen Stecker am Messumformer einstecken und mit Schrauben sichern Gegenüber liegenden Stecker am Anzeigegerät anstecken und sichern Erst danach Spannungsversorgung am Anzeigegerät herstellen bzw einschalten ...

Страница 8: ...ecker Pin 1 Pin 2 Pin 3 Pin 4 Pin 5 Pin 6 Pin 7 Pin 8 Pin 9 Pin 10 Pin 11 Pin 12 Pin 13 Pin 14 Pin 15 Typ SubD 15polig männlich Identifikation 22 kΩ Signal Output 0 10 VDC AGND Voltage Supply 24 VDC Supply GND Relay 1 N O Relay 1 Common Relay 1 N C RS485 RS485 Shield Relay 2 N O Relay 2 Common Relay 2 N C Wir empfehlen Abschirmung Pin 12 und Speisungserde Pin5 beim Speisegerät mit Erdung zu verbin...

Страница 9: ... logarithmisch vom Druck abhängig Die Umrechnung erfolgt gemäß folgendem Zusammenhang Serielle Schnittstelle RS485 Der gemessene Druckwert kann über die serielle RS485 Schnittstelle des Messumformers digital ausgelesen werden Darüber hinaus können verschiede ne Parameter wie Gasart Korrekturfaktoren programmiert werden Weitere Informationen hierzu finden sie im Abschnitt 4 2 Kommunikation Stabilis...

Страница 10: ...es VSR Der Messumformer VSR verfügt über eine serielle Schnittstelle RS485 Um die Kommunikation über RS485 zu aktivieren ist zunächst der Gummistopfen über dem Adress Schalter zu entfernen 1 und anschließend der Adress Schalter mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf einen Wert zwischen 1 und 16 einzustellen 2 Danach den Gummistopfen wieder einsetzen Die Kommunikation erfol...

Страница 11: ...tes Exponent Offset 20 FLOAT Werte werden in hPa mbar übertragen Beispiel Der Wert 460017 in einem Float Datenfeld steht für 4 6x10 3 mbar Schnittstellen Parameter 9 6 14 4 19 2 38 4 57 6 115 2 kBd 8 Datenbits 1 Stopbit keine Parität Nach dem Einschalten startet der Transmitter mit 9 6 kBd Emp fängt er Anfrage Telegramme mit einer anderen Baudrate so stellt sich der Transmitter automatisch darauf ...

Страница 12: ...lesen 001Te C R 001TVSR205w C R Messwert lesen 001M C R 001M260017N C R 2 6x10 3 mbar Schaltpunkt 2 lesen 001S2V C R 001S400016O C R 4 0x10 4 mbar Unlock Schaltpunkt 2 Schaltpunkt 2 auf 4 2x10 3 mbar setzen 001s2v C R 001s420017r C R 001s2v C R 001s420017r C R Unlock Gasart Korrekturfaktor 1 Gasart Korrekturfaktor 1 auf 1 20 setzen 001c1e C R 001c000120W C R 001c1e C R 001c000120W C R Unlock Justi...

Страница 13: ...delle VSR53DL und VSR54DL verfügen zudem über eine gelb hinter leuchtete LCD Anzeige Diese zeigt den aktuell gemessenen Ist Druck Liegt ein Fehler im Betrieb des Messumformers vor wird dies durch ein rot hinterleuchtetes Display signalisiert Zum Ändern der Anzeigeeinheit mbar Torr hPa während die Spannungsversorgung angeschlossen wird die Adj Taste gedrückt halten bis die Anzeige Unit erscheint Da...

Страница 14: ...t automatisch um welchen Justierpunkt es sich handelt Beim Nullabgleich sollte der Ist Druck kleiner 5 0x10 5 mbar sein Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen emp fehlen wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von min destens 10 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beach ten Zum Justieren den Gummistopfen über dem Taster ADJ entfernen 1 dann mit einem dünnen Schraubendreher o...

Страница 15: ...osphärendruck Pirani Status LED grün Normalbetrieb 10s grün Status LED grün Normalbetrieb 1s grün Status LED rot Justierfehler Status LED grün Normalbetrieb 3s Status LED schnell blinkend langsam blinkend Dauerleuchten Status LED grün Normalbetrieb Piezo Status LED grün Normalbetrieb Pirani Status LED orange Initialisiere Nachjustieren ...

Страница 16: ...e von min destens 10 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beach ten Um unbeabsichtigtes Justieren des Messumformers zu verhindern muss der jeweilige Justierpunkt für Atmosphärendruck bzw Nulldruck zunächst freige schaltet werden danach kann die eigentliche Justierung erfolgen Beispiel für Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Messumformer Antwort Telegramm vom Messumformer Unlock Just...

Страница 17: ...S485 001 999 Code C zum Lesen c zum Schreiben des Korrekturfaktors Data Leseanfrage oder Unlock 1 Byte 1 für Korrekturfaktor Pirani Wert lesen oder schreiben 6 Byte unsigned int cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe über alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Der Wert des Datenfeldes beim Lesen oder Schreiben des Korrekturfaktors beinhaltet füh...

Страница 18: ... CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code S zum Lesen s zum Schreiben des Sollwerts Data Leseanfrage oder Unlock 1 Byte 1 für Schaltpunkt 1 Relais 1 2 für Schaltpunkt 2 Relais 2 Wert lesen oder schreiben 6 Byte float cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe über alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Beispiel für Adress Schalterste...

Страница 19: ...bar Standard Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code W zum Lesen w zum Schreiben des Parameters Data 6 Bytes 000001 Wertangleichung 000000 harte Umschaltung cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe über alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Beispiel für Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Messumfor...

Страница 20: ...ehen Defekte Sensorköpfe können vor Ort ausgetauscht werden Ersatzteile B_VSR53 bzw B_VSR54 Fehlfunktionen des Gerätes die auf Verschmutzung oder Ver schleiß zurückzuführen sind fallen nicht unter die Gewährleis tung Fehlersignal und Störungen Problem Mögliche Ursache Behebung Messwertabweichung zu groß Alterung Verschmutzung extreme Temperaturen falsche Justierung Nachjustieren 0 5V Mess Signal 1...

Страница 21: ...21 VSR de 141106 ...

Страница 22: ... 1200 10 mbar ca 0 3 f s v Skalenendwert 10 0 002 mbar 10 f r v Messwert Materialien mit Vakuumkontakt Edelstahl 1 4301 Wolfram Nickel Glas Gold SiO2 Reaktionszeit 1200 10 mbar 30 ms Piezo 10 mbar 100 ms Pirani Betriebstemperatur 5 60 o C Lagertemperatur 40 65 o C Ausheiztemperatur max 125 C am Flansch Spannungsversorgung 20 30 VDC Leistungsaufnahme max 2 5 W zusätzlich 0 8 W für Relais und LCD ...

Страница 23: ... 6 115 kBd 8 databit 1 stopbit no parity Schaltausgänge 2x Relais potentialfrei 50 VAC 2 A bzw 30 VDC 2 A max 60 VA Elektrischer Anschluss Sub D 15 polig männl verschraubbar Vakuumanschluss VSR53 Kleinflansch DN16 ISO KF VSR54 Conflat Flansch DN16 CF Abmessungen 109 x 69 x 48 mm VSR53 Schutzart IP 40 Gewicht 195 g VSR53 ...

Страница 24: ...24 VSR de 141106 Konformitätserklärung ...

Страница 25: ...ion Units 31 4 Operation 32 4 1 General 32 4 2 Communication 33 4 2 1 The Serial Interface Of The VSR 33 4 2 2 Communication Protocol 34 4 2 3 Survey of Commands 34 4 3 Operating the VSR 36 4 4 Readjustment 37 4 5 Gas Correction Factors 40 4 6 Switchpoints 41 4 7 Mode Sensor Transition 42 5 Maintenance and Service 43 6 Technical Data 45 Declaration of Conformity 47 Manufacturer Thyracont Vacuum In...

Страница 26: ... media used Consider possible reactions between materials and process media Consider possible reactions of the process media due to the heat generated by the product Do not carry out any unauthorized conversions or modifications on the unit Before you start working find out whether any of the vacuum components are contaminated Adhere to the relevant regulations and take the necessary precautions w...

Страница 27: ...easurement cable 2m for VD10 VD12 display unit W1515002 Measurement cable 6m for VD10 VD12 display unit W1515006 Counterplug 15pole XB1500002 2 3 Product Description The VSR vacuum transducer is measuring total pressure in the range of 1200 1x10 4 mbar The transducer can be connected to Thyracont display and control units or to customer related power supply and evaluation units in compliance with ...

Страница 28: ...r claims arising from improper use The user bears the responsibility with respect to the used process media 3 Installation 3 1 Notes for Installation Unauthorized modifications or conversions of the instrument are not allowed Installation location Indoor For not fully air conditioned open buildings and operation rooms Temperature 5 C 60 C Rel Humidity max 80 up to 30 C max 50 at 40 C not condensin...

Страница 29: ...rly contamination and damage of the sensor An upright orientation with flange to the bottom is to be preferred in order to keep particles and condensates out of the sensor cell The transducer is adjusted in the upright position ex works When mounting the transducer avoid forced twisting or violent opening This can damage the VSR Overpressure in the vacuum system 1 bar Accidental or unintended open...

Страница 30: ...nit a suitable measurement cable must be used see accessories Do not connect or disconnect the transducer when the cable is on circuit Connect the cables plug to the transducer and secure it with the screw Connect the other end of the cable to the display unit and secure the plug Only now connect your display unit to mains power or switch it on respectively ...

Страница 31: ...tion shown below 1 8 15 9 Socket Pin 1 Pin 2 Pin 3 Pin 4 Pin 5 Pin 6 Pin 7 Pin 8 Pin 9 Pin 10 Pin 11 Pin 12 Pin 13 Pin 14 Pin 15 Type SubD 15pole male Identification 22 kΩ Signal Output 0 10VDC AGND Voltage Supply 24VDC Supply GND Relay 1 N O Relay 1 Common Relay 1 N C RS485 RS485 Shield Relay 2 N O Relay 2 Common Relay 2 N C We recommend to have Shield Pin 12 and supply common Pin5 grounded in th...

Страница 32: ...00 mbar Conversion of voltage signal and pressure is done according to the following formula Serial Interface RS485 The measured absolute pressure can be read out digitally via the transducers serial RS485 interface Additionally you can set various parameters like gas correction factors or setpoints For further information see chapter 4 2 communi cation Warm Up Time The signal output of VSR is ava...

Страница 33: ...ication 4 2 1 The Serial Interface Of The VSR The VSR transducer is equipped with a serial RS485 interface To enable communication via RS485 please remove the rubber cap over the address switch 1 and then set the address switch to a value between 1 and 15 using a small screw driver or a similar tool 2 Afterwards insert the rubber cap again Communication is carried out according to the Thyracont pr...

Страница 34: ...mantissa means mantissa value x 1000 2 Bytes exponent offset 20 FLOAT values are transmitted in hPa mbar Example Value 460016 in a float type data field means 4 6x10 4 mbar Interface Parameter 9 6 14 4 19 2 38 4 57 6 115 2 kBd 8 data bits 1 Stopbit no parity When powered on the transducer starts with 9 6 kBd If a tele gram with different baud rate is received the transducer will au tomatically ada...

Страница 35: ... type 001Te C R 001TVSR205w C R Read pressure measurement 001M C R 001M260017N C R 2 6x10 3 mbar Read setpoint 2 001S2V C R 001S400016O C R 4 0x10 4 mbar Unlock setpoint 2 Set setpoint 2 to 4 2x10 3 mbar 001s2v C R 001s420017r C R 001s2v C R 001s420017r C R Unlock gas correction factor 1 Set gas correction factor 1 to 1 20 001c1e C R 001c000120W C R 001c1e C R 001c000120W C R Unlock adjustment for...

Страница 36: ...ge LED flashing quickly Initializing Adjustment In addition models VSR53DL and VSR54DL have an LCD with yellow backlight that displays the measured actual pressure In case of an operation error or malfunction the display is illuminated by a red background color In order to change the display unit mbar Torr hPa hold the Adj key pressed while connecting power supply until the display shows Unit Then...

Страница 37: ...ucer will notice automatically which adjustment point is relevant For zero adjustment actual pressure should be less than 5 0x10 5 mbar To achieve optimum results of the adjustment we recommend to consider a warm up of at least 10 minutes at the appropriate calibration pressure before any adjustment For adjustment first remove the rubber cap above the ADJ button 1 then press the pushbutton several...

Страница 38: ... Adjustment of zero or atmosphere pressure Pirani Status LED green Normal Operation 10s orange Status LED green Normal Operation 1s green Status LED red Adjustment Error Status LED green Normal Operation 3s Status LED flashing quickly flashing slowly continuously on Status LED green Normal Operation Piezo Status LED Normal Operation Pirani green ...

Страница 39: ...e For zero adjustment actual pressure should be less than 5 0x10 5 mbar To achieve optimum results of the adjustment we recommend to consider a warm up of at least 10 minutes at the appropriate calibration pressure before any adjustment Example for address switch in position 1 Action Telegram to transducer Answer telegram from transducer Unlock adjustment point for atmosphere pressure Adjustment o...

Страница 40: ...s decimal address space RS485 001 999 Code C for reading c for writing a correction factor Data Query to read or unlock 1 Byte 1 for correction factor Pirani read or write 6 Byte unsigned int cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d The value in the data field when reading or writing correction factors contai...

Страница 41: ...ess 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code S for reading s for writing setpoints Data Query to read or unlock 1 Byte 1 for setpoint 1 relay 1 2 for setpoint 2 relay 2 Read or write setpoint 6 Byte float cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Example for address switch in position 1 Action Telegram...

Страница 42: ... 5 0 15 mbar standard Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code W for reading w for writing the parameter Data 6 Bytes 000001 transition 000000 direct switch over cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Example for address switch in position 1 Action Telegram to transd...

Страница 43: ... repair Defective sensor heads can be exchanged on site spare parts B_VSR53 or B_VSR54 Malfunction of the unit which is caused by contamination or wear and tear is not covered by warranty Error messages and malfunction Problem Possible Cause Correction high measurement error contamination ageing extreme temperature maladjustment readjustment 0 5V output signal 1 3V 000000 via RS485 pressure under ...

Страница 44: ...44 VSR de 141106 ...

Страница 45: ...cy 1200 10 mbar ca 0 3 f s f scale end 10 0 002 mbar 10 f r f reading Materials with vacuum contact stainl steel 1 4301 tungsten nickel glass gold SiO2 Reaction Time 1200 10 mbar 30 ms Piezo 10 mbar 100 ms Pirani Operating Temperature 5 60 C Storage Temperature 40 65 C Bake Out temperature max 125 C at the flange Voltage Supply 20 30 VDC Power Consumption max 2 5 W additionally 0 8 W for relays an...

Страница 46: ... 6 115 kBd 8 databit 1 stopbit no parity Switchpoints 2x relay potential free 50 VAC 2 A or 30 VDC 2 A max 60 VA Electrical Connection Sub D 15 pole male lockable Vacuum Connection VSR53 small flange DN16 ISO KF VSR54 conflat flange DN16 CF Dimensions 109 x 69 x 48 mm VSR53 Protection Class IP 40 Weight 195 g VSR53 ...

Страница 47: ...47 VSR de 141106 Declaration of Conformity ...

Страница 48: ...VSR de 141106 ...

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