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(G)

1

BS77

1. UMRISS

1-1. Merkmale

.

Dieses Produkt besitzt die für alle Magnescale-Produkte typische Bedienungsfreundlichkeit und hohe
Zuverlässigkeit.

.

Die hohe Genauigkeit und Auflösung entsprechen den Werten eines Lichtwellen-Interferometers (Laser-
Interferometersystem).

.

Die Meßstabilität wird nicht durch Temperatur, Luftturbulenz und Luftdruck beeinflußt.

.

Interpolationsgenauigkeit, Wiederholgenauigkeit und Rückstellfehler liegen ausnahmslos innerhalb von
0,01

µ

m.

1-2. Bezeichnung der Teile

Bezugsplatte

Befestigungsschraube

Maßstabsklammer

Abstandsstück

Kabelklemme

Schieber

Detektorkopf

Maßstab

Anschlußstecker

Anschlußkabel

Kopfverstärker

Kopfkabel

Kompensationswertaufkleber

Maßstab (Meßlänge: 10/30 mm)

Maßstab (Meßlänge: 70 mm oder mehr)

Kompensationswertaufkleber

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Содержание BS77 Series

Страница 1: ...取扱説明書どおりお使いくださいお読みになった後は後日お役に立つこともございますので必ず保管してください Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them Keep the manual for future references Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim Betrieb des Geräts den Anweisungen Bewahren Sie diese Bedienungsanleitung zum späferen Nachlesen griffbereit auf ...

Страница 2: ...your authority to operate this equipment For EU and EFTA countries CE Notice Making by the symbol CE indicates compliance of the EMC directive of the European Community Such marking is indicative meets of exceeds the following technical standards EN 55011 Group 1 Class A 91 L i m i t s a n d m e t h o d s o f m e a s u r e m e n t o f electromagnetic disturbance characteristics of industrial scien...

Страница 3: ...示の意味このマニュアルでは次のような表示をしています表示内容をよく理解してから本文をお読みくださいこの表示の注意事項を守らないと火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故につながることがあります注意この表示の注意事項を守らないと感電やその他事故によりケガをしたり周辺の物品に損害を与えることがあります注意警告表示された電源電圧以外での電圧で使用しないでください火災や感電の原因となる恐れがあります濡れた手による取付作業はおやめください感電の原因となる恐れがあります本体を分解や改造をしないでくださいケガの恐れや内部回路が破損することがあります作業を行なう前には装置の状況をよく確かめて作業の安全を確保してください電源などの駆動源は必ず切って作業をしてください火災や事故の原因となります電源などを入れて動かす場合は周辺機械や装置などに指を挟まれ...

Страница 4: ...ecautions may lead to fire electric shock or other accidents resulting in serious injury or death Caution Failure to observe these precautions may lead to electric shock or other accidents resulting in injury or damage to surrounding objects Warning Caution Be sure to check the machine and device conditions to ensure work safety before working on the machine Be sure to cut off the power supply and...

Страница 5: ...ON 2 933 725 DANGER INVISIBLE LASER RADIATION WHEN OPEN AVOID DIRECT EXPOSURE TO BEAM CAUTION DO NOT REMOVE COVER REFER SERVICING TO QUALIFIED PERSONNEL ATTENTION NE PAS DEMONTER LE CAPOT LAISSER REVISER A PERSONNEL DIPLOMEE CAUTION Use of controls or adjustments or perfomance of procedures other than those specified herein may result in hazardous radiation exposure LASERSCALE BS77 Ser No MADE IN ...

Страница 6: ...se kann zu Feuer elektrischen Schlägen oder anderen Unfällen führen die schwere Verletzungen oder Tod zur Folge haben können Vorsicht Eine Mißachtung dieser Hinweise kann zu elektrischen Schlägen oder anderen Unfällen führen die Verletzungen oder Sachbeschädigung der umliegenden Objekte zur Folge haben können Warnung Betreiben Sie dieses Gerät nur mit der vorgeschriebenen Versorgungsspannung da an...

Страница 7: ...SIBLE LASER RADIATION WHEN OPEN AVOID DIRECT EXPOSURE TO BEAM CAUTION DO NOT REMOVE COVER REFER SERVICING TO QUALIFIED PERSONNEL ATTENTION NE PAS DEMONTER LE CAPOT LAISSER REVISER A PERSONNEL DIPLOMEE ACHTUNG Die Betätigung von Bedien und Einstellteilen bzw die Ausführung von Verfahren die nicht in dieser Bedienungsanleitung beschrieben sind können zu gefährlicher Strahlungsbelastung führen LASERS...

Страница 8: ......

Страница 9: ...ですスケールヘッドから出る光は目には見えませんが人体に有害ですので検出ヘッド部のカバーは絶対に取り外さないでください光が漏れる可能性がありますので通電時にスケール挿入部分を覗き込まないでくださいまたスケｰル以外の物を差し込むことは絶対に行なわないでくださいスケールにはそれぞれ固有のスケールピッチの補正値が記入されたラベルが貼られていますご使用前に必ずこの値を接続するデテクタに設定してください 3ページをご参照くださいスケールユニットのコネクタプラグには静電気保護用キャップが付いていますのでデテクタ接続時まで取り外さないでくださいまたコネクタプラグの静電気保護キャップ取り外し後にコネクタピンに触れないように特に注意してください故障の原因となりますスケールユニットのコネクタとデテクタのレセプタクルを完全に接続しネジで固定してから電源スイッチをO...

Страница 10: ...けにあたって 2 2 2 取付け時に準備するもの 2 2 3 取付けの前に 3 2 3 1 補正値について 3 2 3 2 補正値のセット方法 3 3 取付け調整方法 4 3 1 取付面の準備 4 3 2 スケールの取付け 6 3 2 1 BS77 10N NS 30N NS 6 3 2 2 BS77 70N NS 420N NS 6 3 3 スライダの取付け 9 3 4 信号調整 10 3 4 1 信号調整準備 10 3 4 2 アジマス調整 11 3 5 取付け調整終了 12 4 仕様 13 5 外形寸法図 14 ...

Страница 11: ...と信頼性光波干渉計レーザ測長器並みの高精度高分解能温度気圧空気の乱れに左右されない安定測長内挿精度繰返し精度戻り誤差がいずれも1 100マイクロメートルオーダの超高精度測長 1 2 各部の名称ケーブルクランプ検出ヘッド部スライダスケールコネクタプラグスペーサスケールクランプヘッドケーブル中継アンプ接続ケーブル取付ネジ基準プレートスケール有効長 70 mm以上補正値ラベルスケール有効長 10 30 mm 補正値ラベル ...

Страница 12: ...てください有効長10 30 mmの場合最大可動長有効長 2 mm 片側 1 mm 有効長70 mm以上の場合最大可動長有効長 10 mm 片側 5 mm 最大可動長を越えた場合はスケールユニットの信号が出力されずエラーが発生しますのでご注意くださいスケールユニットはその取付け後にスケール信号調整を必要とします機械への取付けにあたって調整するためのスペースを十分とれるよう考慮してください 4 12ページをご参照くださいご使用前に必ずスケールの補正値を接続するデテクタにセットしてください 2 2 取付け時に準備するもの測定器てこ式ダイヤルゲージ 1台 2 1000 mmまたは1 1000 mm目盛りのものダイヤルゲージスタンド 1台オシロスコープ 1台 2現象 X Y表示可能なもの入力感度 DC 0 1 V DIV X Y周波数帯域 1 MHz以上工具六...

Страница 13: ...さい 20 dCと異なる温度環境でご使用になる場合使用温度が20 dCと異なる場合には次のように補正値の修正を行なうことにより温度補正を行なうことができます使用温度が23 dCの場合の例を示します例補正値ラベルに示された補正値が 1 2 3 4 の場合 0 1379 1 2 3 4 x 1 23_20 x _0 7 x 10_6 0 1379 1 2 0 5 20 dCとの温度差スケールの温度膨張係数 13ページ参照温度補正後の補正値は 1 2 0 5 となりますこの値をセットしてください 2 3 2 補正値のセット方法デテクタ BDシリーズ取扱説明書の補正値の設定の項をご覧ください N デテクタ BDシリーズの補正値は出荷時オールゼロが設定されていますこの状態ではアラームが出力されご使用になれません必ずスケールの補正値を正しく設定してからご使用ください...

Страница 14: ... mm以下スライダ取付面粗さ Rmax 12 5S スケール取付面に対する平行度 0 03 mm以下 BS77 10N NS 30N NS BS77 70N NS 型名 L BS77 10N NS 21 5 BS77 30N NS 31 5 単位 mm 単位 mm スケール取付面スケール取付面スライダ取付面注 Mはマシンガイド機械の走りを示しますスライダ取付面 9 8 0 2 38 0 2 20 1 0 2 8 0 1 46 4 M3 深6 16 10 10 8 3 5 L Rmax 6 3S Rmax 12 5S 0 01 0 01 0 03 A M スケール取付面スケール取付面スライダ取付面スライダ取付面 9 8 0 2 6 M4 深6 2 M3 深6 Rmax 6 3S Rmax 12 5S 0 01 0 01 0 03 A M 25 0 2 38 0 2 46...

Страница 15: ...5S 0 01 0 01 0 03 A M 25 0 2 25 0 2 38 0 2 46 25 0 2 50 0 3 16 0 2 46 6 0 3 L1 L2 L2 7 注 Mはマシンガイド機械の走りを示します 23 10 8 スケール取付面スケール取付面スライダ取付面スライダ取付面 9 8 0 2 10 M4 深6 2 M3 深6 Rmax 6 3S Rmax 12 5S 0 01 0 01 0 03 A M 25 0 2 38 0 2 25 0 2 25 0 2 25 0 2 88 0 3 40 100 46 100 16 0 2 46 6 0 3 L1 7 注 Mはマシンガイド機械の走りを示します 23 10 8 スケール取付面スケール取付面スライダ取付面スライダ取付面 9 8 0 2 12 M4 深6 2 M3 深6 Rmax 6 3S Rmax 12 5S...

Страница 16: ...ください 3 2 2 BS77 70N NS 420N NS 1 用意された取付面にほこり等が無いことを確認後基準プレートを下図のようにマシンガイドに対し平行に取付けます締め付けトルク 1 4 N m 14 kgf cm 図中左側が基準穴となっていますてこ式ダイヤルゲージで平行度の確認を行ないながら右側で調整してください N 基準プレートはスケールを取付ける際の突き当て基準となりスケール精度を再現する上で重要なものです必ず仕様通り取付けてください BS77 70N NS 270N NS 320N NS BS77 120N NS 170N NS 220N NS 370N NS 420N NS 0 01 M 0 01 M 基準 M4 x 8 2本突き当て基準面 M4 x 8 2本突き当て基準面 M3 x 8 2本ワッシャ ...

Страница 17: ...め付けていきます最終締付けトルク 1 4 N m 14 kgf cm N スケールを基準面に突き当てるときは下図左のように基準面に対向するスケール端面を指で軽く 9 8 N 1 kgf 以下の力押さえてください下図右のようにスケールの中央部を押さえる 4 9 N 0 5 kgf 以上の力などスケールに変形を加えたまま固定しますと所定の精度を得ることができません以下の手順でもこの点に十分ご注意ください万一強い曲げ力が加わったと思われる場合はスケールクランプを緩め再度正しく取付けてください BS77 70N NS 270N NS 320N NS BS77 120N NS 170N NS 220N NS 370N NS 420N NS BS77 70N NS 270N NS 320N NS BS77 120N NS 170N NS 220N NS 370N NS 420...

Страница 18: ...4 kgf cm 7 両端にスケールクランプを同様に締め付けます最終締め付けトルク 1 4 N m 14 kgf cm 8 スケール面に油や塵挨の付着がないことを確認します汚れがある場合はアルコールを含ませたガーゼで拭き取りますこのときスケールの表面に拭きムラが無いことを確認してください BS77 70N NS 270N NS 320N NS BSS77 120N NS 170 N NS 220N NS 370N NS 420N NS BS77 270N NS 320N NS BS77 370N NS 420N NS B A A B スペーサ B A A B スペーサ B A B A B A ...

Страница 19: ... J 9 BS77 3 3 スライダの取付け 1 取付ける機械のテーブルを移動させスケールのほぼ中央位置にスライダの取付け中央位置を合わせます 2 スライダとスケールの隙間が均等であることを確認し付属の取付ネジでスライダを仮止めしますスケールスケールクランプ基準プレートスライダスライダ取付ネジ六角付ボルトM3 x 12 スライダスケールワッシャ呼び 3 ...

Страница 20: ...スコープのCH1プローブをS SIN とG GND に接続します 3 オシロスコープのCH2プローブをC COS とG GND に接続します 4 オシロスコープのCH1 CH2のINPUT COUPLINGスイッチをGNDに合わせ信号がスクリーン中央にくるようにオシロスコープのPOSITIONを調整します 5 オシロスコープのCH1およびCH2のINPUT COUPLINGスイッチをDCにします 6 TIME DIVスイッチをX Y MODEにします 7 CH1 CH2の偏向感度 VOLTS DIV を0 5 V DIVにします 8 デテクタの電源をONにします BS77とデテクタユニットBDシリーズの接続 LASER SCALE RESET REF LALM SALM HEAD IN CHECK SIG OUT S C G S C G CH1 CH2 CH1 CH2 オシロスコープ...

Страница 21: ...とができます 1 スライダ取付ネジをゆるめます 2 スライダを図のように回転させリサージュの振幅が最大となる場所をみつけます 3 リサージュの振幅が最大となるスライダ位置でスライダ取付ネジを2本交互に徐々に締め付けます締付トルク0 8 N m 8 kgf cm 4 スケールを移動させて全長に渡りリサージュの振幅A B 下図参照が1 6 V p p以上であることを確認します N 調整を繰返しても1 6 V p pの出力が得られない場合はスケールとスライダの取付面精度参照 4 5ページおよびスケール面上にゴミの付着がないか再度ご確認くださいアジマス方向アジマス方向 B A ...

Страница 22: ... 取付け調整終了ケーブルを付属のケーブルクランプと小ネジ M4 x 8 で固定します中継アンプを付属のネジ六角穴付ボルトM3 x 18 で固定します N 検出ヘッドと中継アンプは同電位にしてください所定の性能が得られない場合があります締付け部の安定化とスケール周辺の熱的安定化をはかるため取付け後3時間程度放置してからご使用くださいスケールケーブルクランプ六角穴付ボルト M3 x 18 小ネジ M4 x 8 ...

Страница 23: ...20 mm 0 65 um以下もどり誤差 0 02 um 繰返し精度 0 01 um 温度係数 _0 7 x 10_6 dC 光源半導体レーザ検出方式回析格子走査式使用温度範囲 10 30 dC 結露不可保存温度範囲 _10 50 dC 付属品スケール有効長 10 30 70 120 170 220 270 320 370 420 取扱説明書 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 六角穴付ボルト M3 x 8 2 2 _ _ _ _ _ _ _ _ 六角穴付ボルト M3 x 12 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 六角穴付ボルト M3 x 18 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 六角穴付ボルト M4 x 8 _ _ 6 8 8 8 10 10 12 12 ワッシャ呼び3 4 4 2 2 2 2 2 2 2 2 ワッシャ呼び4 _ _ 6 8 8 8 10 1...

Страница 24: ...47 53 2 5 8 1 高さ21 ケーブル長3000 ケーブル長1000 2 Ø3 4 2 Ø3 6 6 6 2 Ø3 5ザグリ深さ10 26 5 3 5 27 5 高さ21 64 29 96 20 20 25 25 9 8 38 44 6 32 45 9 25 12 38 98 88 25 15 42 60 5 Ø5 4 6 6 6 2 3 9 8 2 25 スケールクランプ 5 0 4 1 4 16 40 5 13 8 21 16 9 14 9 5 47 53 9 7 1 7 5 6 14 5 23 46 6 56 24 5 基準プレートt 2 ケーブル長3000 スケール信号検出位置 4 M4スケールクランプ取付ネジ 2 M4基準プレート取付ネジ Ø4 0 0 05 Ø4 0 0 05 4 0 0 05 基準穴 2 Ø3 5ザグリ深さ10 27 5 26 5 3 5 2 Ø3 ...

Страница 25: ...5 38 10 14 16 21 13 8 40 5 14 23 56 5 46 6 9 ケーブル長3000 ケーブル長1000 mm Ø4 0 0 05 Ø4 0 0 05 4 0 0 05 9 8 2 3 6 6 4 6 2 9 1 7 7 5 9 5 64 32 47 53 高さ21 6 6 2 Ø3 5ザグリ深さ10 9 8 24 5 27 5 26 5 3 5 2 Ø3 6 スケールクランプ基準プレートt 2 基準穴スペーサt 2 38 25 98 29 45 9 38 12 5 25 1 4 0 4 25 L1 40 25 9 8 2 3 6 6 4 6 2 25 25 100 100 16 38 44 88 25 25 15 42 9 14 16 21 13 8 40 5 46 6 56 5 23 14 9 1 7 7 5 60 10 2 Ø5 5 Ø5 Ø4 0 0 0...

Страница 26: ...0 9 8 2 29 38 44 25 25 5 42 60 2 Ø5 Ø4 0 3 Ø5 12 0 4 1 4 45 9 16 38 0 05 Ø4 0 0 05 4 0 0 05 10 9 14 16 21 13 8 40 5 14 23 46 6 56 5 ケーブル長3000 ケーブル長1000 mm 2 3 6 6 4 6 9 1 7 7 5 25 25 L1 25 25 25 50 60 L2 L2 L2 L2 10 M4 スケールクランプ取付ネジ 2 M4 基準プレート取付ネジ 9 5 64 32 47 53 高さ21 6 6 2 Ø3 5ザグリ深さ10 2 Ø3 6 9 8 24 5 スケール信号検出位置 27 5 26 5 3 5 ...

Страница 27: ...ssembly As there is a danger of light leakage do not look into the scale insertion openings while the power is on and never try to insert objects other than the scale through the scale insertion openings Each scale bears a label showing a scale pitch compensation value proper to the scale Before operation be sure to set the detector to this value See page 3 A static electricity proof cap is attach...

Страница 28: ...alue 3 2 3 2 Compensation Value Setting 3 3 Mounting and Adjustment 4 3 1 Mounting Surface Preparations 4 3 2 Scale Mounting 6 3 2 1 BS77 10N NS and 30N NS 6 3 2 2 BS77 70N NS to 420N NS 6 3 3 Slider Mounting 9 3 4 Signal Adjustment 10 3 4 1 Signal Adjustment Preparations 10 3 4 2 Azimuth Adjustment 11 3 5 Completion of Mounting and Adjustment 12 4 Spcifications 13 5 Dimensions 14 ...

Страница 29: ...ture disturbed air and air pressure Interpolation accuracy repeatability and return error are all held to within 0 01 µm 0 39 µinch 1 2 Names of Parts Mounting screw Scale clamp Spacer Cable clamp Slider Detector head assembly Scale Connector plug Connector cable Head amplifier Head cable Reference plate Compensation value label Scale measuring length 10 30 mm Compensation value label Scale measur...

Страница 30: ...m 0 04 per each side Measuring length 70 mm or more Scale s max travel measuring length 10 mm 0 39 5 mm 0 20 per each side If the scale s max travel is exceeded the scale unit signals will not be output and an error will occur For the scale unit scale signal adjustment is necessary after mounting When mounting the scale to the machine make sure that there is enough space for the adjustment See pag...

Страница 31: ...mpensation value as shown below to make a temperature adjustment The following example shows the adjustment method for an operating temperature of 23 dC 73 dF Example The compensation value shown on the compensation value label is 1 2 3 4 0 1379 1 2 3 4 x 1 23_20 x _0 7 x 10_6 0 1379 1 2 0 5 Temperature difference from 20 dC 68 dF Coefficient of thermal expansion of the scale See page 13 The compe...

Страница 32: ... mm 0 00118 or less BS77 10N NS 30N NS BS77 70N NS Model L BS77 10N NS 21 5 0 846 BS77 30N NS 31 5 1 24 Unit mm inch Unit mm inch 9 8 0 2 0 386 0 008 38 0 2 20 1 0 2 0 791 0 008 8 0 1 0 315 0 004 46 1 811 16 0 63 10 10 8 0 425 3 5 L Rmax 6 3S 250 µinch Rmax 12 5S 500 µinch 0 01 0 00039 0 01 0 00039 0 03 0 00118 A M Scale mounting surface Slider mounting surface Slider mounting surface 4 M3 depth 6...

Страница 33: ... 496 0 008 Rmax 6 3S 250 µinch Rmax 12 5S 500 µinch 38 0 2 40 1 575 100 3 94 100 3 94 16 0 2 L1 Scale mounting surface Slider mounting surface 10 M4 depth 6 0 24 Scale mounting surface Slider mounting surface 2 M3 depth 6 0 24 Note M refers to the machine guide 0 01 0 00039 0 01 0 00039 M A 0 03 0 00118 9 8 0 2 0 386 0 008 23 0 91 88 0 3 3 465 0 011 25 0 2 0 984 0 008 25 0 2 0 984 0 008 25 0 2 0 9...

Страница 34: ...ount the reference plate parallel to the machine guide as shown in the figure Fastening torque 1 4 N m 14 kgf cm The reference hole is located on the left as shown in the figure Adjust at the right side while observing the parallelism with the lever type dial gauge n The scale is pressed against the reference plate for parallelism when mounting The reference plate is vital to accurate scale mounti...

Страница 35: ...e scale against the reference surface lightly press two points on the edge of the scale surface opposite the reference surface with your fingers with a force of 9 8 N 1 kgf or less as shown in Figure 1 below If the middle part of the scale is pressed with a force of 4 9 N 0 5 kgf or more as shown in Fig 2 below or if the scale is installed with deformation the specified accuracy cannot be achieved...

Страница 36: ...le clamps on both ends of the scale with the same torque Final fastening torque 1 4 N m 14 kgf cm 8 Check the surface of the scale for oil and dust If the surface is dirty wipe it clean with gauze moistened with alcohol Be sure to wipe off oil and dust on the surface thoroughly BS77 70N NS 270N NS 320N NS BSS77 120N NS 170 N NS 220N NS 370N NS 420N NS BS77 270N NS 320N NS BS77 370N NS 420N NS B A ...

Страница 37: ...der to roughly the center of the scale 2 Check that the gap between the slider and the scale is even then semi tighten the slider with the sup plied mounting screws Scale Scale clamp Reference plate Slider Slider mounting screw M3 x 12 hex socket head cap screw Plain washer nominal 3 Scale Slider ...

Страница 38: ...illoscope to S SIN and G GND of the signal adjustment section of the detector 3 Connect the CH2 probe of the oscilloscope to C COS and G GND of the signal adjustment section of the detector 4 Set the input coupling switches of CH1 and CH2 of the oscilloscope to GND and adjust the oscilloscope to locate the signal in the center of the screen 5 Set the input coupling switches of CH1 and CH2 of the o...

Страница 39: ...the two slider mounting screws little by little at the slider position with the maxi mum amplitude of the Lissajous figure Fastening torque 0 8 N m 8 kgf cm 4 Move the scale and make sure that the amplitudes A and B of the Lissajous figure see the figure below are 1 6 V p p or greater over the entire length n If output of 1 6 V p p cannot be obtained even through repeated adjustment recheck the mo...

Страница 40: ...ith the supplied M3 x 18 hex socket head cap screw n Set the detector and the head amplifier to the same electric potential Otherwise the specified performance may not be attained Leave the scale for about three hours after mounting for the tightened parts to thermally stabilize Scale M4 x 8 small screw Cable clamp M3 x 18 hex socket head cap screw ...

Страница 41: ...0 µm or less Measuring length 420 mm 0 65 µm or less Return error µm µinch 0 02 0 78 Repeatability µm µinch 0 01 0 39 Temperature coefficient dC_1 dF_1 _0 7 x 10_6 0 39 x 10_6 Light source Semiconductor laser Detecting mode Diffraction grating scanning Operating temperature dC dF 10 to 30 50 to 86 no moisture condensation Storage temperature dC dF _10 to 50 14 to 122 Supplied accessories Scale mea...

Страница 42: ... 0 787 20 0 787 25 0 984 25 0 984 9 8 0 386 45 9 1 81 25 0 984 38 1 5 98 3 86 88 3 465 25 15 0 591 42 1 654 60 2 362 5 Ø5 0 197 25 5 0 4 1 4 0 055 16 0 63 40 5 1 59 16 0 63 9 14 53 2 09 14 5 0 197 23 0 906 46 6 1 835 56 2 205 Ø4 0 0 05 0 157 0 0 002 0 157 0 0 002 0 157 0 0 002 Ø4 0 0 05 4 0 0 05 4 M4 scale clamp mounting screw 2 M4 reference plate mounting screw Scale signal detection position 2 Ø...

Страница 43: ... clamp 12 0 47 0 016 21 0 83 0 197 13 8 0 54 9 5 0 38 1 2 3 0 0906 9 8 0 386 2 0 079 9 0 354 7 0 276 7 5 0 295 6 6 0 26 4 6 0 04 0 181 Height 21 0 827 2 Ø3 6 0 142 9 8 0 386 3 5 0 138 24 5 0 965 26 5 1 043 27 5 1 083 45 9 1 81 L1 40 1 575 25 0 984 25 0 984 25 0 984 25 0 984 100 3 94 100 3 94 16 0 63 40 5 1 59 23 14 8 M4 scale clamp mounting screw 2 M4 reference plate mounting screw 2 Ø3 4 0 134 co...

Страница 44: ...4 25 0 984 25 0 984 25 0 984 25 0 984 25 0 984 2 M4 reference plate mounting screw 38 1 496 44 1 732 29 1 142 64 2 52 32 1 26 0 236 6 0 236 6 53 2 09 47 1 85 2 Ø5 0 197 3 Ø5 0 197 42 1 654 25 0 984 50 1 969 60 2 362 38 1 5 10 14 9 Reference hole Spacer t 2 0 08 Reference plate t 2 0 08 Ø4 0 0 05 0 157 0 0 002 0 394 25 0 984 0 354 0 551 25 0 984 38 1 5 5 0 4 1 4 0 055 16 0 63 0 157 0 0 002 0 157 0 ...

Страница 45: ...besteht blicken Sie bei eingeschalteter Stromversorgung nicht in die Maßstabs Einschuböffnungen und versuchen Sie niemals irgendwelche anderen Gegenstände außer dem Maßstab in die Maßstabs Einschuböffnungen einzuführen An jedem Maßstab ist ein Aufkleber mit dem jeweiligen Skalenteilungs Kompensationswert angebracht Der Detektor muß vor dem Betrieb auf diesen Wert eingestellt werden Siehe Seite 3 D...

Страница 46: ... 2 3 2 Kompensationswert Einstellung 3 3 MONTAGE UND EINSTELLUNGEN 4 3 1 Vorbereitung der Montagefläche 4 3 2 Montage des Maßstabs 6 3 2 1 BS77 10N NS und 30N NS 6 3 2 2 BS77 70N NS bis 420N NS 6 3 3 Montage des Schiebers 10 3 4 Signaleinstellung 11 3 4 1 Vorbereitung zur Signaleinstellung 11 3 4 2 Azimuteinstellung 12 3 5 Abschluß von Montage und Einstellung 13 4 TECHNISCHE DATEN 14 5 AUSSENABMES...

Страница 47: ...lität wird nicht durch Temperatur Luftturbulenz und Luftdruck beeinflußt Interpolationsgenauigkeit Wiederholgenauigkeit und Rückstellfehler liegen ausnahmslos innerhalb von 0 01 µm 1 2 Bezeichnung der Teile Bezugsplatte Befestigungsschraube Maßstabsklammer Abstandsstück Kabelklemme Schieber Detektorkopf Maßstab Anschlußstecker Anschlußkabel Kopfverstärker Kopfkabel Kompensationswertaufkleber Maßst...

Страница 48: ...e 10 oder 30 mm Max Verfahrweg des Maßstabs Meßlänge 2 mm 1 mm auf jeder Seite Meßlänge 70 mm oder mehr Max Verfahrweg des Maßstabs Meßlänge 10 mm 5 mm auf jeder Seite Bei Überschreitung des max Maßstab Verfahrwegs werden die Signale der Maßstabseinheit nicht ausgegeben so daß ein Fehler auftritt Nach der Montage ist eine Signaleinstellung der Maßstabseinheit erforderlich Achten Sie bei der Montag...

Страница 49: ...ellt werden Das folgende Beispiel zeigt die Einstellung für eine Betriebstemperatur von 23 dC Beispiel Der auf dem Kompensationswertaufkleber angegebene Kompensationswert beträgt 1 2 3 4 0 1379 1 2 3 4 x 1 23_20 x _0 7 x 10_6 0 1379 1 2 0 5 Temperaturdifferenz zu 20 dC Wärmeausdehnungskoeffizient des Maßstabs Siehe Seite 14 Der Kompensationswert nach der Temperaturanpassung beträgt 1 2 0 5 Stellen...

Страница 50: ...eit 0 01 mm oder weniger Parallelität zum Maschinen Verfahrweg 0 01 mm oder weniger Schieber Montagefläche Rauheit Rmax 12 5S Parallelität zum Maschinen Verfahrweg 0 03 mm oder weniger BS77 10N NS 30N NS BS77 70N NS Modell L BS77 10N NS 21 5 BS77 30N NS 31 5 Einheit mm Einheit mm 9 8 0 2 38 0 2 20 1 0 2 8 0 1 46 16 10 10 8 3 5 L Rmax 6 3S Rmax 12 5S 0 01 0 01 0 03 A M Hinweis M bezieht sich auf di...

Страница 51: ... Maßstab Montagefläche Maßstab Montagefläche Schieber Montagefläche 2 M3 Tiefe 6 9 8 0 2 Rmax 6 3S Rmax 12 5S 0 01 0 01 0 03 A M 25 0 2 38 0 2 25 0 2 25 0 2 25 0 2 88 0 3 40 100 46 100 16 0 2 46 6 0 3 L1 7 23 10 8 Hinweis M bezieht sich auf die Maschinenführungsbahn Maßstab Montagefläche Schieber Montagefläche 10 M4 Tiefe 6 Maßstab Montagefläche Schieber Montagefläche 2 M3 Tiefe 6 9 8 0 2 Rmax 6 3...

Страница 52: ...ontieren Sie die Bezugszplatte parallel zur Maschinenführungsbahn wie in der Abbildung gezeigt Anzugsmoment 1 4 N m 14 kgf cm Die Bezugsbohrung befindet sich auf der linken Seite wie in der Abbildung gezeigt Nehmen Sie die Einstellung auf der rechten Seite vor während Sie die Parallelität mit der Hebel Meßuhr überwachen Hinweis Hinweis Hinweis Hinweis Hinweis Der Maßstab wird bei der Montage zur E...

Страница 53: ...Sie den Maßstab zwischen Maßstabsklammer und Montagefläche ein während Sie seine Bezugsfläche leicht gegen die Stoßgrundfläche drücken Hinweis Ziehen Sie die in derAbbildung mit A und B gekennzeichneten Schrauben der Maßstabsklammer schrittweise und abwechselnd an Endanzugsmoment 1 4 N m 14 kgf cm BS77 70N NS 270N NS 320N NS BS77 120N NS 170N NS 220N NS 370N NS 420N NS BS77 70N NS 270N NS 320N NS ...

Страница 54: ...Maßstab mit Verzug montiert kann die angegebene Genauigkeit nicht erzielt werden Dies gilt auch für die folgenden Verfahren Falls der Verdacht auf Verzug des Maßstabs durch übermäßige Kraftanwendung besteht lösen Sie die Maßstabsklammer um den Maßstab korrekt zu montieren 5 Lassen Sie den Maßstab für etwa eine Stunde oder länger in dem in Abb 1 gezeigten Zustand bis sich seine Temperatur stabilisi...

Страница 55: ...s mit dem gleichen Anzugsmoment an Endanzugsmoment 1 4 N m 14 kgf cm 8 Überprüfen Sie die Oberfläche des Maßstabs auf Öl und Staub Falls die Oberfläche verschmutzt ist wischen Sie sie mit alkoholgetränkter Gaze ab Wischen Sie Öl und Staub gründlich von der Oberfläche ab B A A B Abstandsstück B A A B Abstandsstück ...

Страница 56: ...tte des Maßstabs aus 2 Vergewissern Sie sich daß derAbstand zwischen Schieber und Maßstab gleichmäßig ist und befestigen Sie dann den Schieber provisorisch mit den mitgelieferten Befestigungsschrauben Maßstab Maßstabsklammer Bezugsplatte Schieber Schieber Befestigungsschraube Inbusschraube M3 x 12 Unterlegscheibe Nennmaß 3 Maßstab Schieber ...

Страница 57: ...n Sie die Sonde CH1 des Oszilloskops mit S SIN und G GND des Signaleinstellteils des Detektors 3 Verbinden Sie die Sonde CH2 des Oszilloskops mit C COS und G GND des Signaleinstellteils des Detektors 4 Stellen Sie die Eingangskopplungsschalter von CH1 und CH2 am Oszilloskop auf GND und stellen Sie das Oszilloskop so ein daß das Signal in Bildschirmmitte angezeigt wird 5 Stellen Sie die Eingangskop...

Страница 58: ... und schrittweise in der Schieberstellung mit der größtenAmplitude der Lissajous Figur an Anzugsmoment 0 8N m 8kgf cm 4 Verschieben Sie den Maßstab und vergewissern Sie sich daß die Amplituden A und B der Lissajous Figur siehe Abbildung unten einen Wert von 1 6 Vs s oder größer über die gesamte Maßstabslänge haben Hinweis Hinweis Hinweis Hinweis Hinweis Falls trotz wiederholter Einstellung keine A...

Страница 59: ...usschraube M3 x 18 Hinweis Hinweis Hinweis Hinweis Hinweis Stellen Sie Detektor und Kopfverstärker auf die gleiche elektrische Spannung ein Anderenfalls wird die angegebene Leistung möglicherweise nicht erzielt Lassen Sie den Maßstab nach der Montage etwa drei Stunden ruhen damit sich die Temperatur der montierten Teile stabilisiert Maßstab Kleine Schraube M4 x 8 Kabelklemme Inbusschraube M3 x 18 ...

Страница 60: ...oder weniger Meßlänge 420 mm 0 65 µm oder weniger Rückführungsfehler µm 0 02 Wiederholgenauigkeit µm 0 01 Temperaturkoeffizient dC_1 _0 7 x 10_6 Lichtquelle Halbleiterlaser Erfassungsart Beugungsgitterabtastung Betriebstemperatur dC 10 bis 30 keine Kondensation Lagertemperatur dC _10 bis 50 Mitgeliefertes Zubehör Maßstab Meßlänge 10 30 70 120 170 220 270 320 370 420 Bedienungsanleitung 1 1 1 1 1 1...

Страница 61: ...öhe 21 2 Ø3 4 Senkungstiefe 5 Kabellänge 3000 24 5 26 5 3 5 27 5 64 29 96 20 20 25 25 38 44 6 32 45 9 25 12 38 98 88 25 15 42 60 5 Ø5 4 6 6 6 2 3 9 8 2 25 5 0 4 1 4 16 40 5 13 8 21 16 9 14 9 5 47 53 9 7 1 7 5 6 14 5 23 46 6 56 Ø4 0 0 05 Ø4 0 0 05 4 0 0 05 4 M4 Maßstabsklammer Befestigungsschraube 2 M4 Bezugsplatten Befestigungsschraube Erfassungsposition für Maßstabsignal Höhe 21 2 Ø3 4 Senkungsti...

Страница 62: ...schraube Erfassungsposition für Maßstabsignal Kabellänge 1000 Höhe 21 2 Ø3 4 Senkungstiefe 5 Kabellänge 3000 Bezugsbohrung Abstandsstück t 2 Bezugsplatte t 2 Maßstabsklammer 9 8 24 5 27 5 26 5 3 5 2 Ø3 6 38 25 98 29 45 9 38 12 5 25 1 4 0 4 25 L1 40 25 9 8 2 3 6 6 4 6 2 25 25 100 100 16 38 44 88 25 25 15 42 9 14 16 21 13 8 40 5 46 6 56 5 23 14 9 1 7 7 5 60 10 2 Ø5 5 Ø5 Ø4 0 0 05 Ø4 0 0 05 4 0 0 05 ...

Страница 63: ... 10 9 14 16 21 13 8 40 5 14 23 46 6 56 5 2 3 6 6 4 6 9 1 7 7 5 25 25 L1 25 25 25 50 60 L2 L2 L2 L2 9 5 64 32 47 53 6 6 10 M4 Maßstabsklammer Befestigungsschraube 2 M4 Bezugsplatten Befestigungsschraube Erfassungsposition für Maßstabsignal Kabellänge 1000 Höhe 21 2 Ø3 4 Senkungstiefe 5 Bezugsbohrung Kabellänge 3000 Abstandsstück t 2 Bezugsplatte t 2 Maßstabsklammer 9 8 24 5 27 5 26 5 3 5 2 Ø3 6 ...

Страница 64: ......

Страница 65: ......

Страница 66: ...stems Corporation et sont destinées exclusivement à l usage des acquéreurs de l équipement décrit dans ce manuel Sony Manufacturing Systems Corporation interdit formellement la copie de quelque partie que ce soit de ce manuel ou son emploi pour tout autre but que des opérations ou entretiens de l équipement à moins d une permission écrite de Sony Manufacturing Systems Corporation Die in dieser Anl...

Страница 67: ...るものとしそれ以外についての保証はいたしかねます 2 保証期間内でも次の場合は有償修理となります 1 火災地震水害落雷およびその他天災地変による故障 2 使用上の誤りおよび不当な修理や改造による故障 3 消耗品および付属品の交換 4 本書の提示が無い場合 5 本書にお買い上げ日お客様名販売店名等の記入が無い場合ただし納品書や工事完了報告書がある場合にはその限りではありません 3 離島遠隔地への出張修理および持込修理品の出張修理については出張に要する実費を別途申し受けます 4 本書は日本国内においてのみ有効です 5 本書の再発行はいたしませんので紛失しないよう大切に保管してください本書はお買上げ日から保証期間中に故障が発生した場合には右記保証規定内容により無償修理を行うことをお約束するものです BS77 ...

Страница 68: ...1 横浜株ファーストビデオ TEL 045 582 8649 東海北陸地区岐阜カトー商事株 TEL 0583 83 6234 愛知有カメテック TEL 0568 72 1435 近畿中国四国地区大阪有宮下電機サービス TEL 06 6724 7005 広島株三田電子 TEL 082 831 5261 九州地区福岡三伸エンジニアリング株 TEL 092 963 1296 Sony Manufacturing Systems Corporation Isehara Plant 45 Suzukawa Isehara shi Kanagawa 259 1146 Japan TEL 81 463 92 7971 FAX 81 463 92 7978 Sony Precision Technology America Inc 20381 Hermana Circl...

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