
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ZX2 User’s Manual
INTRODUCTION
MAIN
APPLICATIONS
& SETTING
METHODS
SPECIFI-
CATIONS
INDEX
SETTING
TRANSITION
CHARTS
DETAILED
SETTINGS
FLOW OF
OPERATION
CONTENTS
PREPARATION
FOR
MEASUREMENT
BASIC
SETUP
TROUBLE-
SHOOTING
Height
Double
Sheet
Detection
Positioning
Eccentricity
and Surface
Deflection
Steps
and
Warpage
Thickness
Meanings of Signal Words. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Meanings of Alert Symbols . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Laser Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Precautions for Safe Use. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Precautions for Correct Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
How to Use This Manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
Part Names and Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Basic Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Amplifier Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Sensor Head . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Calculating Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Installing Sensor Heads. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Installing the Amplifier Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Connecting Calculating Units . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Connecting the Sensor Head to the Amplifier Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
Wiring Diagram . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Wiring Input/Output Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
I/O Circuit Diagrams . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
FLOW OF OPERATION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
BASIC SETUP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
MAIN APPLICATIONS & SETTING METHODS
Height. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
Steps and Warpage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
Double Sheet Detection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
Thickness . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57