MKS MicroPirani 925 Series Скачать руководство пользователя страница 1

P/N: 100017410 
Short form manual 

REV: A, December 2009 
Product: 925-x1090-0051 
Connector: 6 pin Hirschmann 
Output: 19 (TPR280,TPR265) 
RoHS Compliant 

Measuring range (N

2

 and Air):  

1×10

-5

 Torr to Atmosphere 

Accuracy

(1)

 (N

2

)  

5×10

-4

 to 1x10

-3

 Torr: 

±10%  of reading 

 

1×10

-3

 to 100 Torr: 

± 5%  of reading

 

100 to Atm.: 

± 25%  of reading 

Repeatability

(1)

 (N

2

): 1×10

-3

 to 100 Torr 

± 2%   of reading 

Supply Voltage: 

 

9 – 30 VDC 

Power consumption: 

< 1.2 Watt 

Fuse (thermal recoverable): 

200 mA 

 
Analog output 1: (100 Ω impedance): 

2.199 – 8.625 VDC  

Analog output 1 resolution: 

16 bit  

 
Materials exposed to vacuum: 

304 Stainless steel, Silicon 

 

SiO

2

, Si

3

N

4

, gold, Viton

® (2)

 

 

Low out gassing Epoxy resin 

Internal volume: 

KF16 flange 

2.80 cm

3

 

 

KF16 long flange 

6.63 cm

3

 

 

KF25 flange 

3.55 cm

3

 

 

VCR4 flange 

1.84 cm

3

 

 

VCR8 flange 

3.06 cm

3

 

Housing material: 

Stainless steel 304 

Weight (925 with KF16): 

170g 

Operating temperature: 

0 to 40 

o

Bakeout temperature (Power off): 

85 

o

 

(1) Accuracy and repeatability values are typical values measure in Nitrogen atmosphere at 
ambient temperature after zero adjustment. 
(2) Transducer without Viton seal is available for use in UHV applications. 

 

 

MKS Instruments HPS Products  

www.mksinst.com

Отзывы: