TURBOVAC 1100 C
Turbo-Molekularpumpe mit fettgeschmierten Lagern
Turbomolecular pump withgrease-lubricated bearings
Kat.-Nr. / Cat. No.894 80894 83894 84
Operating instructions
Gebrauchsanleitung
Vakuum-Lösungen
Applikations-Unterstützung
Service
LEYBOLD VACUUM
GA 05.128/7
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Страница 1: ...geschmierten Lagern Turbomolecular pump with grease lubricated bearings Kat Nr Cat No 894 80 894 83 894 84 Operating instructions Gebrauchsanleitung Vakuum L sungen Applikations Unterst tzung Service...
Страница 2: ...requenzwandler TURBOTRONIK und eine Vorva kuumpumpe erforderlich Die Pumpen sind nicht geeignet zum Betrieb ohne Vor vakuumpumpe Die TURBOVAC 1100 C hat eine Rotorlager berwa chung Turbo Guard 3 mit B...
Страница 3: ...N 250 200 160 ISO K Max zul ssiger Hochvakuum Druck pHV bei Dauerbetrieb 1 10 2 mbar bei Kurzzeitbetrieb auf Anfrage Saugverm gen f r N2 bei pHV 10 3 mbar ca 1050 l s 1 bei pHV 10 3 mbar siehe Datenbl...
Страница 4: ...igen Gasen m ssen Pumpen der C Version eingesetzt und mit Sperr gas betrieben werden Beachten Sie die Hinweise zur Medien vertr glichkeit am Anfang der Ge brauchsanleitung Die Verpackung erst unmittel...
Страница 5: ...m Hochvakuumflansch abnehmen Beim Anschluss auf gr te Sauberkeit ach ten Vorsicht Der Hochvakuumflansch muss fest am Vakuumbeh lter angebaut werden Nicht ausreichende Befestigung kann bei Blockieren d...
Страница 6: ...tieren und betreiben Eine Abst tzung der Pumpe ist nicht notwen dig Die TURBOVAC ist hochgenau ausgewuchtet und wird im allgemeinen ohne Schwingungsd mpfer betrieben Zur Entkopplung h chstempfindliche...
Страница 7: ...geeignetes Sperrgasventil mit Gasfil ter am Sperrgasflansch der TURBOVAC anschlie en Das Sperrgasventil so anschlie en dass es mit dem Start der Pumpe ffnet und fr hestens mit dem Aus schalten der Pu...
Страница 8: ...0 Pumpe Fre quenzwandler und Verbindungen keinem Tropfwasser aussetzen 2 7 Rotorlager berwa chung anschlie en An die Relaiskontakte kann eine Fern berwachung angeschlossen werden Zum Anschluss der Sch...
Страница 9: ...auch Gebrauchsanleitung zur TURBOTRONIK Nach dem Einschalten der Pumpe dauert es etwa 2 Minuten bis die LEDs des Turbo Guard leuchten 3 2 Betrieb W hrend des Betriebes pl tzliche Lage nderungen der P...
Страница 10: ...rch die Lager in den noch nicht bel fteten Motorraum der Pumpe gedr ckt werden Eine schonende Bel ftung der Pumpe ist von der Hoch vakuumseite m glich da hier die geringsten Lagerkr f te auftreten Dab...
Страница 11: ...eine Pumpe an Leybold schicken beachten Sie Abschnitt 4 1 4 Wartung Nach sp testens 10 000 Betriebsstunden muss ein Standard Lagerwechsel durchgef hrt werden Weiter empfehlen wir je nach thermischer B...
Страница 12: ...equenzbereich Massen der Apparatur ndern oder Schwingungs der Apparatur d mpfer zur Schwingungsentkopplung einbauen Messger t defekt Messger t kontrollieren Messr hre verschmutzt Messr hre reinigen od...
Страница 13: ...er Flanschheizun gen und bei Betrieb der Pumpe mit dem vorgesehenen Leybold Frequenzwandler werden die Schutzziele der EMV Richtlinie eingehalten Bezeichnung Turbo Molekularpumpe Typ TURBOVAC 1100 C K...
Страница 14: ...peration of the TURBOVAC These units are not suitable for operation without a fore vacuum pump The TURBOVAC 1100 C is equipped with a type Turbo Guard 3 rotor bearing monitoring device featuring an op...
Страница 15: ...re pHV During continuous duty operation 1 10 2 mbar In intermittent operation on inquiry Pumping speed for N2 At pHV 10 3 mbar approx 1050 l sec At pHV 10 3 mbar see data sheet Forevacuum connection D...
Страница 16: ...mp only just before installing to ensure that the TURBOVAC is installed under the cleanest possible conditions When moving the heavier pumps the lower surfaces on the base flange are suitable for acce...
Страница 17: ...amber If the pump were to become blocked insufficient attachment could cause the pump to break away from its mount or allow internal pump parts to be discharged Never operate the pump in bench tests f...
Страница 18: ...flange to protect the TURBOVAC Do not remove this splinter guard Operate the pump only with this splinter guard in place as foreign objects passing through the intake port and into the pump can cause...
Страница 19: ...be used with purging gas To do so a suitable purging gas valve with a gas fil ter will have to be installed at the purging gas flange on the TURBOVAC Connect the purging gas valve in such a way that...
Страница 20: ...not expose the pump frequency converter or connectors to dripping water 2 7 Connecting the rotor bearing monitoring unit A remote monitoring can be connected to the relay contacts Please forward your...
Страница 21: ...oid severe outside vibrations and shock to the pump Observe the displays and information provided by the TURBOTRONIK and the Turbo Guard The temperature of the pump bearings is also an indicator for t...
Страница 22: ...g the pressure rise area This will prevent particles dust or aggressive gases from being forced through the bearings into the not yet vented motor chamber of the pump Cautious venting of the pump is p...
Страница 23: ...inside the PE bag This statement detailing the contamination is required to satisfy legal requirements and for the protection of our employees LEYBOLD must return to the sender any pumps which are not...
Страница 24: ...f the system causing resonance Measurement device is defective Measurement gauges are soiled Leak at the system lines or pump Grime collection at the pump Forevacuum pump with insufficient pumping spe...
Страница 25: ...g the pump with the specified Leybold frequency conver ters the protection level prescribed in the EMC Guide lines will be attained Designation Turbomolecular pump Model TURBOVAC 1100 C Catalog no 894...
Страница 26: ...ein weiter siehe Absatz 4 Mikrobiologisch explosiv oder radioaktiv kontaminierte Vakuumger te und komponenten werden nur bei Nachweis einer vorschriftsm igen Reinigung entgegengenommen Art der Schadst...
Страница 27: ...ment and components which have been contaminated by biological explosive or radioactive substances will not accepted without written evidence of decontamination Please list all substances gases and by...
Страница 28: ...asse 498 Bayenthal D 50968 K ln Tel 0221 347 0 Fax 0221 347 1250 http www leyboldvac de e mail documentation leyboldvac de AMCL_04773_2002 PG 05 02 Printed in Germany on chlorine free bleached paper T...
