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図
13
電流ループ動作の上限
1
ループ供給電圧
3
動作範囲外
(
線の下の部分
)
2
許容動作範囲
(
線の上の部分
)
4
合計ループ抵抗の上限
スタートアップ
外表面の洗浄
告 知
装置に液体または過酸化水素ガス
(VHP)
を直接吹き付けないでください。溶液
がカウンターの流路や電子部品に浸入すると、センサが損傷します。
告 知
殺菌薬ガスが装置の筐体に入り込んだり、装置の電子部品に接触しないようにし
てください。
外表面は、イソプロピルアルコール
(IPA)
で湿らせた糸くずの出ないテ
ィッシュで拭いてください。サンプル
(
等速吸引
)
プローブは、加圧蒸気
滅菌器で洗浄することができます。
内表面の洗浄
ゼロカウントフィルターを使用して、装置の内表面および吸気チューブ
から粒、糸くず、埃などの異物を取り除きます。カウントがゼロになれ
ば、内表面と吸気チューブは清浄な状態になっています。
用意するもの
:
ゼロカウントフィルター
1.
ゼロカウントフィルターを吸気チューブに接続します。
ゼロカウントフィルターにより、外部粒子が装置に吸入されないよう
になります。
2.
サンプルの採取を開始し、装置を
30
分以上作動させます。
ページの
111
を参照してください。
3.
クリーンルームの空気を、粒子カウントが
0
~
1
になるまで
5
分間
隔で監視し続けます。
オプション
:
データを記録するには、
[Sample Timing: Sample (
サンプ
ルタイミング
:
サンプル
)]
設定を
5
ページの
105
を参照してください。
4.
5
分間のサンプル期間を
9
回または
10
回繰り返した後にサンプル粒
子カウントが
0
~
1
にならない場合は、装置を一晩中パージしてく
ださい。
ページの
104
を参照してください。
装置のパージ
パージを実行して、粒子カウントが
0
~
1
になるようにします。通常、パ
ージは、装置のベースライン基準が存在することを確認するためのテス
ト前に行います。
1.
吸気チューブをサンプルプローブ端から約
2.5 cm
切断して、伸びや
キズのある部分を取り除きます。
2.
ゼロカウントフィルターを吸気チューブに取り付けます。
3.
装置を
24
時間作動させます。
4.
24
時間後に粒子カウントが
0
~
1
であることが表示されない場合
は、吸気チューブから粒子を取り込んでいることを確認します。
a.
ゼロカウントフィルターを直接吸気継手に取り付けます。
b.
さらに装置を
15
分間作動させます。
104
日本語
Содержание MET ONE 6003
Страница 2: ...English 3 Fran ais 24 Espa ol 48 72 91 113 2...
Страница 13: ...Figure 9 5 pin connector wiring Figure 10 10 pin connector wiring English 13...
Страница 35: ...Figure 9 C blage du connecteur 5 broches Figure 10 C blage du connecteur 10 broches Fran ais 35...
Страница 59: ...Figura 9 Cableado del conector de 5 patillas Figura 10 Cableado del conector de 10 patillas Espa ol 59...
Страница 73: ...5 1 CE 1 ISO21501 4 2005 8 12 2002 96 EC 1 CDRH 9022243 029 2007 6 24 50 IEC EN 60825 1 21 CFR 1040 10 73...
Страница 75: ...1 3 1 1 ModBus FX 2 Status 10Base T 100Base T 2 2 1 3 2 4 3 3 75...
Страница 77: ...3 m 10 ft 3 m 10 ft 1 m 3 m 10 ft schedule 80 PVC Cobolite DIN DIN 5 77...
Страница 78: ...5 DIN 79 6 90 90 T 78...
Страница 81: ...9 5 10 10 81...
Страница 83: ...12 1 5 2 6 4 20 mA 3 24 VDC 7 24 VDC 4 8 13 1 3 2 4 VHP IPA 83...
Страница 89: ...3 PC CSV 15 1 1 7 cfm L min 2 8 cfm L min 3 9 RH 4 10 5 11 6 1 89...
Страница 90: ...9 9 1 90 X 90 X FMS 90...
Страница 92: ...6003 6005 140 000 000 m3 4 000 000 ft3 10 6013 6015 20 000 000 m3 566 000 ft3 10 5 1 CE 1 ISO21501 4 Web CD 92...
Страница 94: ...1 1 10 1 7 RH 2 8 3 9 2 2 4 1 10 RJ45 2 5 11 5 2 6 DIP 1 1 2 1 3 1 1 1 1 FX ModBus 2 10Base T 100Base T 94...
Страница 95: ...2 2 1 3 2 4 3 3 3 1 3 5 2 4 3 0 0 1 cfm 0 3 m 0 5 m F 1 1 0 cfm 0 5 m N 95...
Страница 97: ...3 m 3 m 1 m 3 m 80 PVC Cobolite DIN DIN 5 97...
Страница 98: ...5 DIN 99 6 90 90 T 98...
Страница 99: ...6 1 3 2 90 4 T 2 3 m2 1 2 2 95 30 cm 30 cm 4 4 Hytrel Bevaline Tygon Hytrel Bevaline Tygon 99...
Страница 100: ...1 3 m 2 3 4 1 2 m 10 cm 5 6 24 VDC 5 10 7 5 8 6 28 VDC 5 9 10 10 7 5 5 5 1 4 9 28 VDC 1 A 2 5 3 8 10 100...
Страница 112: ...HACH Japan 9 9 1 112 X 112 X FMS 1 112...
Страница 114: ...5 1 CE 1 ISO21501 4 CD 114...
Страница 116: ...1 1 10 1 7 RH 2 8 3 9 2 2 4 1 10 RJ45 2 5 11 5 2 6 DIP 1 1 2 1 3 1 1 1 1 1 FX ModBus 2 10Base T 100Base T 2 116...
Страница 119: ...DIN DIN 5 5 DIN 119...
Страница 120: ...120 6 90 90 T 6 1 3 2 90 4 T 2 3 m2 25 ft2 1 120...
Страница 123: ...9 5 10 10 123...
Страница 125: ...12 1 5 2 6 4 20 mA 3 24 VDC 7 24 VDC 4 8 13 1 3 2 4 VHP IPA 125...
Страница 133: ...9 9 1 133 X 133 X FMS 1 133...
Страница 134: ......
Страница 135: ......